ISO 6 클린룸을 어떻게 구축할까요? 오늘은 ISO 6 클린룸을 위한 4가지 설계 옵션에 대해 알아보겠습니다.
옵션 1: AHU(공기 처리 장치) + HEPA 박스.
옵션 2: MAU(신선한 공기 장치) + RCU(순환 장치) + HEPA 박스.
옵션 3: AHU(공기 취급 장치) + FFU(팬 필터 장치) + 기술적 중간층은 합리적인 열 부하가 있는 소규모 클린룸 작업장에 적합합니다.
옵션 4: MAU(신선한 공기 장치) + DC(건식 코일) + FFU(팬 필터 장치) + 기술적 중간층은 전자 클린룸과 같이 현열 부하가 큰 클린룸 작업장에 적합합니다.
4가지 솔루션의 설계 방법은 다음과 같습니다.
옵션 1: AHU + HEPA 박스
AHU의 기능 부분은 새로운 환기 혼합 필터부, 표면 냉각부, 가열부, 가습부, 팬부, 그리고 중간 필터 공기 배출부로 구성됩니다. AHU에서 외부 신선 공기와 환기 공기가 혼합 및 처리되어 실내 온도 및 습도 요건을 충족한 후, HEPA 박스를 통해 클린룸으로 보내집니다. 공기 흐름 패턴은 상단 공급 및 측면 회수입니다.
옵션 2: MAU+ RAU + HEPA 박스
신선 공기 유닛의 기능 영역은 신선 공기 여과 영역, 중간 여과 영역, 예열 영역, 표면 냉각 영역, 재가열 영역, 가습 영역, 팬 배출 영역으로 구성됩니다. 순환 유닛의 기능 영역은 신규 환풍 혼합 영역, 표면 냉각 영역, 팬 영역, 그리고 중간 여과된 공기 배출 영역으로 구성됩니다. 외기 신선 공기는 신선 공기 유닛을 통해 처리되어 실내 습도 요구 사항과 설정된 급기 온도를 충족합니다. 환풍과 혼합된 후, 순환 유닛을 통해 처리되어 실내 온도에 도달합니다. 실내 온도에 도달하면 끝부분의 헤파 박스를 통해 클린룸으로 보내집니다. 공기 흐름 패턴은 상단 공급 및 측면 환류입니다.
옵션 3: AHU + FFU + 기술 중간층(감각적 열 부하가 있는 소규모 클린룸 작업장에 적합)
AHU의 기능 구역은 새로운 환기 혼합 필터 구역, 표면 냉각 구역, 난방 구역, 가습 구역, 팬 구역, 중간 필터 구역, 그리고 서브헤파 박스 구역으로 구성됩니다. 실외 신선 공기와 환기 일부 공기가 AHU에서 혼합 및 처리되어 실내 온도 및 습도 요건을 충족한 후, 기술 중이층으로 보내집니다. 대량의 FFU 순환 공기와 혼합된 후, 팬 필터 유닛(FFU)에 의해 가압되어 클린룸으로 보내집니다. 공기 흐름 패턴은 상부 공급 및 측면 회수입니다.
옵션 4: MAU + DC + FFU + 기술 중간층(전자 클린룸과 같이 현열 부하가 큰 클린룸 작업장에 적합)
본 장치의 기능부는 신규 환풍 여과부, 표면 냉각부, 가열부, 가습부, 팬부, 그리고 중간 여과부로 구성됩니다. 외기 신선 공기와 환풍 공기는 AHU에서 혼합 및 처리되어 실내 온도 및 습도 요건을 충족합니다. 이후, 급기 덕트의 기술적인 중간층에서 건식 코일로 처리된 다량의 순환 공기와 혼합된 후, 팬 필터 유닛(FFU)에서 가압되어 클린룸으로 보내집니다. 공기 흐름 패턴은 상부 공급 및 측면 환류입니다.
ISO 6 공기 청정도를 달성하기 위한 다양한 설계 옵션이 있으며, 구체적인 설계는 실제 상황에 따라 달라야 합니다.
게시 시간: 2024년 3월 5일