클래스 10000 기준으로 현장 시운전을 진행한 결과, 풍량(공기 교환 횟수), 압력차, 침전 박테리아 등의 항목은 모두 설계(GMP) 요건을 충족했으며, 분진 입자 검출 항목 중 1개 항목(클래스 100000)만 불합격 판정을 받았습니다. 카운터 측정 결과, 5μm와 10μm 크기의 입자가 기준치를 초과하는 것으로 나타났습니다.
1. 고장 분석
기준을 초과하는 큰 입자는 일반적으로 고청정 클린룸에서 발생합니다. 클린룸의 정화 효과가 좋지 않으면 시험 결과에 직접적인 영향을 미칩니다. 풍량 데이터와 이전 엔지니어링 경험 분석을 통해 일부 클린룸의 이론 시험 결과는 Class 1000이어야 합니다. 예비 분석은 다음과 같습니다.
① 청소 작업이 기준에 미달합니다.
② HEPA필터 프레임에서 공기 누출이 발생합니다.
③ 헤파필터에 누출이 있습니다.
④. 클린룸 내부의 음압.
⑤ 공기량이 부족합니다.
⑥. 에어컨 필터가 막혔습니다.
⑦. 신선한 공기 필터가 막혔습니다.
위 분석을 바탕으로, 해당 기관은 인력을 투입하여 클린룸 상태를 재검사한 결과, 풍량, 압력차 등이 설계 요건을 충족하는 것으로 확인되었습니다. 모든 클린룸의 청정도는 Class 100000이었으며, 5μm 및 10μm 크기의 먼지 입자는 기준을 초과하여 Class 10000 설계 요건을 충족하지 못했습니다.
2. 발생 가능한 결함을 하나하나 분석하여 제거한다.
이전 프로젝트에서는 신선 공기 필터 또는 유닛의 1차 또는 중간 효율 막힘으로 인해 압력 차이가 충분하지 않고 공기 공급량이 감소하는 상황이 있었습니다.유닛을 검사하고 실내 공기량을 측정하여 항목 ④⑤⑥⑦이 사실이 아니라고 판단했습니다.나머지 다음은 실내 청결 및 효율 문제입니다.실제로 현장에서 청소가 이루어지지 않았습니다.문제를 검사하고 분석할 때 작업자들은 특별히 클린룸을 청소했습니다.측정 결과는 여전히 큰 입자가 기준을 초과했음을 보여주었고, 그런 다음 HEPA 박스를 하나씩 열어 스캔하고 필터링했습니다.스캔 결과는 HEPA 필터 하나가 중간에서 손상되었고 다른 모든 필터와 HEPA 박스 사이의 프레임의 입자 수 측정 값이 특히 5μm 및 10μm 입자에서 갑자기 증가했음을 보여주었습니다.
3. 해결책
문제의 원인이 발견되었으므로 쉽게 해결할 수 있습니다. 이 프로젝트에 사용된 HEPA 박스는 모두 볼트로 압착 및 고정된 필터 구조입니다. 필터 프레임과 HEPA 박스 내벽 사이에 1~2cm의 간격이 있습니다. 틈을 밀봉 스트립으로 메우고 중성 실란트로 밀봉한 후에도 실내 청정도는 여전히 100000등급입니다.
4. 결함 재분석
이제 HEPA 상자의 프레임이 밀봉되었고 필터가 스캔되었으므로 필터에 누출 지점이 없으므로 문제는 여전히 통풍구 내벽 프레임에서 발생합니다.그런 다음 프레임을 다시 스캔했습니다.HEPA 상자의 내벽 프레임의 검출 결과입니다.씰을 통과한 후 HEPA 상자 내벽의 틈새를 다시 검사하여 큰 입자가 여전히 표준을 초과하는 것을 발견했습니다.처음에는 필터와 내벽 사이의 각도에서 와전류 현상이라고 생각했습니다.HEPA 필터 프레임을 따라 1m 필름을 걸 준비를 했습니다.좌우 필름을 차폐로 사용한 다음 HEPA 필터 아래에서 청결도 테스트를 수행합니다.필름을 붙일 준비를 할 때 내벽에 페인트가 벗겨지는 현상이 있고 내벽에 전체 틈새가 있는 것을 발견했습니다.
5. HEPA 박스의 먼지를 처리하세요
헤파 박스 내벽에 알루미늄 호일 테이프를 붙여 공기 포트 내벽의 먼지를 줄입니다. 알루미늄 호일 테이프를 붙인 후 헤파 필터 프레임을 따라 먼지 입자 수를 측정합니다. 프레임 측정 후, 측정 전후의 입자 계수기 측정 결과를 비교함으로써, 기준을 초과하는 큰 입자의 원인은 헤파 박스 자체에서 비산된 먼지임을 명확히 알 수 있습니다. 디퓨저 커버를 설치한 후 클린룸을 다시 테스트했습니다.
6. 요약
기준을 초과하는 큰 입자는 클린룸 프로젝트에서 드물며 완전히 피할 수 있습니다.이 클린룸 프로젝트의 문제점을 요약하면 향후 프로젝트 관리를 강화해야 합니다.이 문제는 원자재 조달에 대한 느슨한 관리로 인해 HEPA 박스에 먼지가 흩어지는 데 기인합니다.또한 설치 과정에서 HEPA 박스에 틈새가 생기거나 페인트가 벗겨지는 일이 없었습니다.또한 필터를 설치하기 전에 육안 검사가 없었고 필터를 설치할 때 일부 볼트가 단단히 고정되지 않았으며 이는 모두 관리의 취약점을 보여주었습니다.주요 원인은 HEPA 박스에서 나오는 먼지이지만 클린룸의 시공은 엉성할 수 없습니다.공사 시작부터 완공까지 전체 프로세스에 걸쳐 품질 관리 및 관리를 수행해야만 시운전 단계에서 기대하는 결과를 얻을 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 9월 1일