클린룸 설계는 국제 표준을 준수하고, 선진 기술, 경제적 합리성, 안전성 및 적용성을 확보하며, 품질을 보장하고, 에너지 절약 및 환경 보호 요건을 충족해야 합니다. 기존 건물을 클린 기술 혁신에 활용하는 경우, 클린룸 설계는 생산 공정 요건을 기반으로 하고, 현지 상황에 맞춰 차별화된 방식으로 처리하며, 기존 기술 시설을 최대한 활용해야 합니다. 클린룸 설계는 시공, 설치, 유지보수, 시험 및 안전 운영에 필요한 조건을 조성해야 합니다.
각 청정실의 공기 청정도 수준을 결정할 때는 다음 요구 사항을 충족해야 합니다.
- 클린룸에 여러 공정이 있는 경우, 각 공정의 다양한 요구 사항에 맞게 서로 다른 공기 청정도 수준을 채택해야 합니다.
- 생산 공정의 요구사항을 충족한다는 전제 하에, 클린룸의 공기 분배와 청정도는 국부 작업 구역 공기 정화와 전체 실내 공기 정화를 결합한 방식을 채택해야 합니다.
(1) 층류 청정실, 난류 청정실, 그리고 운영 교대 및 사용 시간이 다른 청정실은 분리된 정화형 공기조화 시스템을 갖추어야 한다.
(2) 청정실의 계산된 온도 및 상대 습도는 다음 규정을 준수해야 합니다.
① 생산공정 요구사항을 충족합니다.
② 생산공정에 온도나 습도에 대한 요구조건이 없는 경우, 클린룸 온도는 20~26℃, 상대습도는 70%입니다.
- 청정실에는 일정량의 신선한 공기가 확보되어야 하며, 그 값은 다음 공기량 중 최대값으로 취해야 합니다.
(1) 난류형 청정실에서는 총 공기 공급량의 10~30%, 층류형 청정실에서는 총 공기 공급량의 2~4%를 차지한다.
(2) 실내 배기공기를 보충하고 실내 양압값을 유지하기 위해서는 신선한 공기의 양이 필요하다.
(3) 1인당 1시간 실내 신선공기량이 40㎥ 이상 되도록 하여야 한다.
- 클린룸 양압 제어
클린룸은 일정한 양압을 유지해야 합니다. 각 층의 클린룸 간, 그리고 클린 구역과 비클린 구역 간의 정압 차이는 5Pa 이상, 클린 구역과 실외 간의 정압 차이는 10Pa 이상이어야 합니다.
게시 시간: 2023년 5월 22일