클린룸 설계는 국제 표준을 준수하고, 첨단 기술, 경제적 합리성, 안전성 및 적용성을 확보하며, 품질을 보장하고, 에너지 절약 및 환경 보호 요건을 충족해야 합니다. 기존 건물을 클린 기술 개조에 활용할 경우, 클린룸 설계는 생산 공정 요건을 기반으로 현지 상황에 맞게 조정하고, 기존 기술 설비를 최대한 활용해야 합니다. 또한, 클린룸 설계는 시공, 설치, 유지 관리, 시험 및 안전 운영에 필요한 조건을 조성해야 합니다.
각 클린룸의 공기 청정도 수준 측정은 다음 요건을 충족해야 합니다.
- 클린룸 내에 여러 공정이 있을 경우, 각 공정의 요구 사항에 따라 서로 다른 공기 청정도 수준을 적용해야 합니다.
- 생산 공정의 요구 사항을 충족한다는 전제 하에, 클린룸의 공기 분배 및 청정도는 작업 구역의 국소 공기 정화와 전체 공간 공기 정화를 결합한 방식을 채택해야 합니다.
(1) 층류 클린룸, 난류 클린룸, 그리고 작동 교대 및 사용 시간이 다른 클린룸은 분리된 정화 공기 시스템을 갖추어야 합니다.
(2) 클린룸의 계산된 온도 및 상대 습도는 다음 규정을 준수해야 합니다.
①생산 공정 요구사항을 충족합니다.
②생산 공정에 온도나 습도 요구 사항이 없는 경우, 클린룸 온도는 20~26℃이고 상대 습도는 70%입니다.
- 청정실에는 일정량의 신선한 공기가 유입되도록 해야 하며, 그 값은 다음 공기량 중 최대값으로 정해야 합니다.
(1) 난류 흐름 클린룸의 총 공기 공급량의 10%~30%, 층류 흐름 클린룸의 총 공기 공급량의 2~4%.
(2) 실내 배기 공기량을 보상하고 실내 양압 값을 유지하기 위해 신선한 공기량이 필요합니다.
(3) 1인당 시간당 실내 신선 공기량이 40세제곱미터 이상이 되도록 하십시오.
- 클린룸 양압 제어
클린룸은 일정 수준의 양압을 유지해야 합니다. 서로 다른 층의 클린룸 간, 그리고 클린 구역과 비클린 구역 간의 정압 차이는 5Pa 이상이어야 하며, 클린 구역과 실외 간의 정압 차이는 10Pa 이상이어야 합니다.
게시 시간: 2023년 5월 22일