클린룸 설계는 국제 표준을 구현하고 첨단 기술, 경제적 합리성, 안전성 및 적용성을 달성하고 품질을 보장하며 에너지 절약 및 환경 보호 요구 사항을 충족해야 합니다. 청정 기술 개조를 위해 기존 건물을 사용할 경우 청정실 설계는 생산 공정 요구 사항을 기반으로 하고 현지 조건에 맞춰 다르게 처리되어야 하며 기존 기술 시설을 완전히 활용해야 합니다. 클린룸 설계는 건설, 설치, 유지 관리, 테스트 및 안전한 작동에 필요한 조건을 조성해야 합니다.
각 클린룸의 공기 청정도 수준 결정은 다음 요구 사항을 충족해야 합니다.
- 클린룸에 여러 공정이 있는 경우 각 공정의 다양한 요구 사항에 따라 다양한 공기 청정도 수준을 채택해야 합니다.
- 생산 공정 요구 사항을 충족한다는 전제 하에 클린룸의 공기 분배 및 청정도 수준은 국부적인 작업 공간 공기 정화와 실내 전체 공기 정화를 결합하여 채택해야 합니다.
(1). 층류 클린룸, 난류 클린룸, 작동 교대 및 사용 시간이 다른 클린룸에는 별도의 정화된 공조 시스템이 있어야 합니다.
(2). 클린룸의 계산된 온도와 상대습도는 다음 규정을 준수해야 합니다.
①생산 공정 요구 사항을 충족합니다.
②생산 공정에 온도나 습도 요구 사항이 없을 때 클린룸 온도는 20-26℃이고 상대 습도는 70%입니다.
- 클린룸에는 일정량의 신선한 공기가 확보되어야 하며, 그 값은 다음 공기량의 최대값으로 취해야 합니다.
(1). 난류 클린룸에서는 총 공기 공급량의 10~30%, 층류 클린룸에서는 총 공기 공급량의 2~4%입니다.
(2). 실내 배기 공기를 보충하고 실내 양압 값을 유지하려면 신선한 공기의 양이 필요합니다.
(3). 1인당 시간당 실내의 신선한 공기량이 40입방미터 이상인지 확인하십시오.
- 클린룸 양압 제어
클린룸은 일정한 양압을 유지해야 합니다. 서로 다른 레벨의 청정실 간, 청정 구역과 비청정 구역 간의 정압차는 5Pa 이상이어야 하며, 청정 구역과 실외 간의 정압차는 10Pa 이상이어야 합니다.
게시 시간: 2023년 5월 22일