클린룸 공정 장비 설치 요구사항

클린룸의 공정 장비 설치는 클린룸의 설계와 기능에 따라 이루어져야 합니다. 다음 세부 사항을 소개합니다.

1. 장비 설치 방법 : 장비 설치 기간 동안 클린룸을 폐쇄하고 장비의 시야각에 맞출 수 있는 문을 설치하거나 새로운 장비가 순차적으로 클린룸으로 진입할 수 있도록 통로를 확보하는 것이 가장 이상적인 방법입니다. 설치 기간에 가까운 클린룸이 오염되는 것을 방지하려면 클린룸이 여전히 청결 요구 사항과 필요한 후속 작업을 충족하는지 확인하기 위한 보호 조치를 취해야 합니다.

2. 각 설치 기간 동안 클린룸 작업을 중단할 수 없거나 해체해야 하는 구조물이 있는 경우, 운영 중인 클린룸을 작업 영역으로부터 효과적으로 격리해야 합니다. 임시 격리 벽이나 칸막이를 사용할 수 있습니다. 설치 작업에 방해가 되지 않도록 장비 주변에 충분한 공간이 있어야 합니다. 조건이 허락한다면 서비스 채널이나 기타 중요하지 않은 구역을 통해 격리 구역에 접근할 수 있습니다. 이것이 불가능할 경우 설치 작업으로 인한 오염 영향을 최소화하기 위한 조치를 취해야 합니다. 격리 구역은 동일한 압력 또는 음압을 유지해야 합니다. 주변 클린룸에 양압이 가해지지 않도록 고층 지역에서는 깨끗한 공기 공급을 차단해야 합니다. 격리 구역에 인접한 클린룸을 통해서만 접근할 수 있는 경우 신발에 묻은 먼지를 제거하기 위해 끈적이는 패드를 사용해야 합니다.

3. 고지대 진입 후 클린룸 오염을 방지하기 위해 일회용 부츠나 덧신, 일체형 작업복을 착용하시기 바랍니다. 이러한 일회용품은 격리 구역을 떠나기 전에 제거해야 합니다. 장비 설치 과정에서 격리 구역 주변 지역을 모니터링하는 방법을 개발하고 모니터링 빈도를 결정하여 인접한 청정실로 누출될 수 있는 오염 물질이 감지되는지 확인해야 합니다. 격리 조치가 설정된 후에는 전기, 물, 가스, 진공, 압축 공기 및 폐수 파이프라인과 같은 다양한 필수 공공 서비스 시설을 설치할 수 있으며, 다음과 같이 작업에서 생성되는 연기 및 잔해를 제어하고 격리하는 데 주의를 기울여야 합니다. 주변 클린룸으로의 부주의한 확산을 방지하기 위해 가능한 한 많이 사용합니다. 또한 격리 장벽을 제거하기 전에 효과적인 청소를 촉진해야 합니다. 공공 서비스 시설이 사용 요구 사항을 충족한 후에는 규정된 청소 절차에 따라 격리 구역 전체를 청소하고 오염을 제거해야 합니다. 모든 벽, 장비(고정 및 이동식), 바닥을 포함한 모든 표면을 진공 청소하고 닦고 걸레질해야 하며, 장비 가드 뒤와 장비 아래 청소 구역에 특별한 주의를 기울여야 합니다.

4. 장비 성능에 대한 사전 테스트는 클린룸 및 설치된 장비의 실제 조건을 바탕으로 실시할 수 있으나, 후속 인수 테스트는 클린 환경 조건이 완전히 충족된 후에 실시해야 합니다. 설치 현장의 조건에 따라 격리벽을 조심스럽게 분해할 수 있습니다. 깨끗한 공기 공급이 꺼진 경우 다시 시작하십시오. 이 작업 단계의 시간은 클린룸의 정상적인 작업에 대한 방해를 최소화하도록 신중하게 선택해야 합니다. 이때 공기 중 입자의 농도가 지정된 요구 사항을 충족하는지 여부를 측정해야 할 수도 있습니다.

5. 장비 내부 및 주요 공정 챔버의 청소 및 준비는 일반적인 클린룸 조건에서 수행되어야 합니다. 모든 내부 챔버와 제품과 접촉하거나 제품 운송과 관련된 모든 표면을 필요한 청결도 수준까지 닦아야 합니다. 장비 청소 순서는 위에서 아래로 이루어져야 합니다. 입자가 퍼지면 중력에 의해 더 큰 입자가 장비 바닥이나 땅으로 떨어지게 됩니다. 장비의 외부 표면을 위에서 아래로 청소하십시오. 필요한 경우 제품 또는 생산 공정 요구 사항이 중요한 영역에서 표면 입자 탐지를 수행해야 합니다.

6. 클린룸의 특성, 특히 하이테크 클린룸의 넓은 면적, 높은 투자, 높은 생산량 및 매우 엄격한 청결 요구 사항을 고려할 때 이러한 유형의 클린룸에 생산 공정 장비를 설치하는 것은 다음과 더 유사합니다. 보통의 클린룸. 특별한 요구 사항은 없습니다. 이를 위해 발표된 국가 표준 "클린룸 건설 및 품질 승인에 대한 코드"에서는 주로 다음을 포함하여 클린룸에 생산 공정 장비를 설치하는 것에 대한 몇 가지 조항을 마련했습니다.

A. 생산 공정 장비의 설치 과정에서 "비어 있는" 수용을 거친 클린룸(영역)의 오염이나 심지어 손상을 방지하기 위해 장비의 설치 과정에서 과도한 진동이나 기울어짐이 있어서는 안 되며, 기울어져서도 안 됩니다. 장비 표면을 나누어 오염시킵니다.

나. 클린룸(구역)에 생산공정설비를 질서있게 설치하거나 착석을 적게 하고 클린룸 내 청정생산관리체계를 준수하기 위하여 생산설비의 설치과정이 규정에 따라 보호되도록 하여야 한다. "빈 상태"로 인정되는 각종 "완제품" 및 "반제품"에 이르기까지 설치 과정에서 반드시 사용되어야 하는 자재, 기계 등은 방출하거나 생성할 수 있는 것(세척의 정상적인 작동을 포함한다) 오랜 시간 동안 방) 오염 물질 생산된 제품에 유해한 것. 먼지가 없고, 녹이 없고, 그리스가 없고, 사용 중에 먼지가 발생하지 않는 클린룸 재료를 사용해야 합니다.

다. 클린룸(구역)의 건물 장식 표면은 클린룸 패널, 필름 및 기타 재료로 보호해야 합니다. 장비 백플레이트는 설계 또는 장비 기술 문서 요구 사항에 따라 제작되어야 합니다. 요구 사항이 없으면 스테인레스 강판이나 플라스틱 판을 사용해야 합니다. 독립 기초 및 바닥 보강재로 사용되는 탄소강 프로파일은 부식 방지 처리가 되어 있어야 하며, 표면은 평평하고 매끄러워야 합니다. 코킹에는 탄성 밀봉 재료를 사용해야 합니다.

라. 자재에는 원재료명, 품종, 제조일자, 보관유효기간, 공법설명서, 제품인증서 등을 표시하여야 한다. 크린룸(구역)에서 사용하는 기계, 공구 등을 비클린룸(구역)으로 옮겨 사용해서는 안 됩니다. 기계, 공구 등을 클린룸(구역)으로 이동하여 사용해서는 안 됩니다. 청정지역에서 사용되는 기계 및 공구는 기계의 노출된 부분에서 먼지가 발생하지 않도록 하거나 먼지가 환경을 오염시키지 않도록 조치를 취해야 합니다. 일반적으로 사용되는 기계 및 도구는 청정 구역으로 이동하기 전에 에어록에서 청소해야 하며, 기름, 오물, 먼지, 녹이 없어야 하며 검사 및 부착을 통과한 후 이동해야 합니다. "청결" 또는 "청정 구역만" 표시.

마. 클린룸(구역) 내 생산공정 장비는 이중마루 등 '특정층'에 설치해야 한다. 장비 기초는 일반적으로 낮은 기술 메자닌 바닥이나 시멘트 다공성 판에 설치해야 합니다. 기초를 설치하기 위해 해체해야 하는 활동. 휴대용 전기톱으로 절단한 후 바닥의 구조를 보강해야 하며, 내하중 용량이 원래 내하중 용량보다 낮아서는 안 됩니다. 철골구조의 독립기초를 사용하는 경우에는 아연도금재 또는 스테인리스강으로 하고, 노출면은 평탄하고 매끄러워야 한다.

F. 클린룸(지역)에 생산 공정 장비를 설치하는 과정에서 벽면 패널, 달천장 및 이중 바닥에 구멍을 뚫어야 하는 경우, 드릴링 작업으로 인해 벽 패널 및 달천장 패널의 표면이 분할되거나 오염되어서는 안 됩니다. 유지됩니다. 기초를 제때 설치할 수 없는 경우 이중마루를 개방한 후 안전 난간과 위험 표지판을 설치해야 합니다. 생산 장비를 설치한 후 구멍 주위의 틈을 밀봉해야 하며 장비와 밀봉 구성 요소는 유연하게 접촉해야 하며 밀봉 구성 요소와 벽면 패널 사이의 연결이 단단하고 견고해야 합니다. 작업실 한쪽의 밀봉 표면은 평평하고 매끄러워야 합니다.