클린룸 공정 장비 설치 요구사항

클린룸 내 공정 장비 설치는 클린룸의 설계 및 기능에 따라 이루어져야 합니다. 자세한 내용은 아래에서 설명합니다.

1. 장비 설치 방법: 이상적인 방법은 장비 설치 기간 동안 클린룸을 밀폐하는 것입니다. 장비의 시야각에 맞는 출입문을 설치하거나, ​​새 장비가 클린룸으로 진입하여 장비를 볼 수 있도록 통로를 확보해야 합니다. 설치 기간 동안 클린룸이 오염되는 것을 방지하기 위해, 클린룸이 청결도 요건을 충족하고 이후 작업에 필요한 조건을 충족할 수 있도록 보호 조치를 취해야 합니다.

2. 각 설치 기간 동안 클린룸 작업을 중단할 수 없거나 해체해야 할 구조물이 있는 경우, 가동 중인 클린룸은 작업 영역과 효과적으로 격리되어야 합니다. 임시 격리벽이나 칸막이를 사용할 수 있습니다. 설치 작업을 방해하지 않도록 장비 주변에 충분한 공간을 확보해야 합니다. 여건이 허락한다면, 격리 구역으로의 접근은 서비스 채널이나 기타 중요하지 않은 구역을 통해 이루어질 수 있습니다. 이것이 불가능한 경우에는 설치 작업으로 인한 오염 영향을 최소화하는 조치를 취해야 합니다. 격리 구역은 평형 압력 또는 음압을 유지해야 합니다. 주변 클린룸에 양압이 발생하는 것을 방지하기 위해 고층 구역에서는 청정 공기 공급을 차단해야 합니다. 격리 구역으로의 접근이 인접한 클린룸을 통해서만 가능한 경우, 신발에 묻은 먼지를 제거하기 위해 접착 패드를 사용해야 합니다.

3. 고고도 구역 진입 후에는 클린룸 오염 방지를 위해 일회용 부츠 또는 덧신과 일체형 작업복을 착용해야 합니다. 이러한 일회용품은 격리 구역을 벗어나기 전에 제거해야 합니다. 장비 설치 과정 중 격리 구역 주변을 모니터링하는 방법을 개발하고, 인접한 클린룸으로 오염 물질이 누출될 가능성을 감지할 수 있도록 모니터링 빈도를 결정해야 합니다. 격리 조치가 완료되면 전기, 수도, 가스, 진공, 압축 공기 및 폐수 배관과 같은 필요한 공용 설비를 설치할 수 있으며, 작업으로 발생하는 연기와 잔해가 주변 클린룸으로 확산되지 않도록 최대한 제어하고 차단해야 합니다. 또한 격리 장벽을 제거하기 전에 효과적인 청소가 가능하도록 해야 합니다. 공용 설비가 사용 요건을 충족하면 규정된 청소 절차에 따라 전체 격리 구역을 청소하고 소독해야 합니다. 모든 벽면, 장비(고정식 및 이동식), 바닥을 포함한 모든 표면은 진공청소기, 물걸레질, 걸레질을 통해 청소해야 하며, 특히 장비 보호대 뒤쪽과 장비 아래쪽을 꼼꼼하게 청소해야 합니다.

4. 장비 성능에 대한 예비 테스트는 클린룸 및 설치된 장비의 실제 조건에 따라 수행할 수 있지만, 후속 인수 테스트는 클린 환경 조건이 완전히 충족된 후에 수행해야 합니다. 설치 현장의 조건에 따라 격리벽을 조심스럽게 해체하는 작업을 시작할 수 있습니다. 클린 공기 공급이 차단된 경우 다시 가동해야 합니다. 이 작업 단계는 클린룸의 정상적인 작업에 지장을 최소화하도록 시간을 신중하게 선택해야 합니다. 이때 공기 중 미립자 농도가 규정된 요구 사항을 충족하는지 측정해야 할 수도 있습니다.

5. 장비 내부 및 주요 공정 챔버의 세척 및 준비는 일반적인 클린룸 조건에서 수행해야 합니다. 모든 내부 챔버와 제품과 접촉하거나 제품 운송에 관여하는 모든 표면은 요구되는 청결도 수준에 도달할 때까지 닦아내야 합니다. 장비 세척 순서는 위에서 아래로 진행해야 합니다. 입자가 퍼져 있는 경우, 큰 입자는 중력에 의해 장비 바닥이나 지면으로 떨어집니다. 장비의 외부 표면도 위에서 아래로 세척하십시오. 필요한 경우, 제품 또는 생산 공정 요구 사항이 중요한 영역에서는 표면 입자 검출을 수행해야 합니다.

6. 첨단 클린룸의 경우, 특히 넓은 면적, 높은 투자 비용, 높은 생산량, 그리고 매우 엄격한 청결 요구 사항 등의 특성을 고려할 때, 이러한 유형의 클린룸에 생산 공정 장비를 설치하는 것은 일반 클린룸과 유사하며, 특별한 요구 사항은 없습니다. 이를 위해 국가 표준 "클린룸 시공 및 품질 검사 기준"에서는 클린룸에 생산 공정 장비를 설치하는 것과 관련하여 다음과 같은 몇 가지 규정을 마련했습니다.

A. 생산 공정 장비 설치 과정에서 "빈 공간"으로 인수된 클린룸(구역)의 오염이나 손상을 방지하기 위해, 장비 설치 과정에서 과도한 진동이나 기울어짐이 발생해서는 안 되며, 장비 표면을 분리하거나 오염시켜서도 안 됩니다.

B. 클린룸(구역) 내 생산 공정 설비 설치를 질서정연하게 진행하고, 작업자의 착석을 최소화하거나 없애며, 클린룸 내 청정 생산 관리 시스템을 준수하기 위해, 다양한 완제품 및 반제품이 빈 상태로 반입되는 점을 고려하여 생산 설비 설치 과정이 보호되도록 해야 합니다. 설치 과정에 사용되는 자재, 기계 등은 (클린룸의 정상 가동 중 장시간 사용 시를 포함하여) 생산 제품에 유해한 오염 물질을 배출하거나 발생시키지 않아야 합니다. 먼지, 녹, 기름이 없고 사용 중 분진이 발생하지 않는 클린룸 자재를 사용해야 합니다.

C. 클린룸(구역)의 건물 표면은 클린룸 패널, 필름 등의 재료로 보호해야 하며, 장비 지지판은 설계 또는 장비 기술 문서의 요구 사항에 따라 제작해야 합니다. 요구 사항이 없는 경우 스테인리스강판 또는 플라스틱판을 사용해야 합니다. 독립 기초 및 바닥 보강재로 사용되는 탄소강 프로파일은 부식 방지 처리를 하고 표면은 평평하고 매끄러워야 하며, 탄성 밀봉재를 사용하여 틈새를 메워야 합니다.

D. 자재에는 성분, 종류, 제조일자, 보관유효기간, 시공 방법 및 제품 인증서가 표시되어야 합니다. 클린룸(구역)에서 사용되는 기계 및 공구는 비클린룸(구역)으로 옮겨 사용할 수 없습니다. 또한, 기계 및 공구를 클린룸(구역)으로 옮겨 사용할 수도 없습니다. 클린 구역에서 사용되는 기계 및 공구는 노출된 부분에서 먼지가 발생하지 않도록 하거나 먼지로 인한 환경 오염을 방지하기 위한 조치를 취해야 합니다. 공용으로 사용되는 기계 및 공구는 클린 구역으로 옮기기 전에 에어록에서 세척해야 하며, 오일, 먼지, 분진 및 녹이 없어야 합니다. 세척 후 검사를 통과하고 "클린" 또는 "클린 구역 전용" 표지판을 부착한 후에 이동해야 합니다.

E. 클린룸(구역) 내 생산 공정 장비는 이중 바닥과 같은 "특정 바닥"에 설치해야 합니다. 장비 기초는 일반적으로 하부 기술 메자닌 바닥이나 시멘트 다공성 판에 설치해야 하며, 기초 설치를 위해 기존 구조물을 해체해야 합니다. 전동톱으로 절단한 바닥 구조물은 보강해야 하며, 하중 지지력은 기존 하중 지지력보다 낮아서는 안 됩니다. 철골 구조의 독립 기초를 사용하는 경우 아연 도금 재질이나 스테인리스강으로 제작해야 하며, 노출면은 평평하고 매끄러워야 합니다.

F. 클린룸(구역) 내 생산 설비 설치 과정에서 벽 패널, 천장 및 바닥 패널에 구멍을 뚫어야 하는 경우, 드릴링 작업은 보존해야 하는 벽 패널 및 천장 패널의 표면을 손상시키거나 오염시키지 않아야 합니다. 기초 공사가 제때 이루어지지 않아 바닥 패널을 뚫어야 하는 경우, 안전 난간과 위험 표지판을 설치해야 합니다. 생산 설비 설치 후에는 구멍 주변의 틈새를 밀봉해야 하며, 설비와 밀봉재는 유연하게 접촉해야 하고, 밀봉재와 벽 패널 사이의 연결은 견고하고 단단해야 합니다. 작업실 한쪽 면의 밀봉면은 평평하고 매끄러워야 합니다.