클린룸 공정 장비 설치 요구 사항

클린룸 내 공정 장비 설치는 클린룸의 설계 및 기능을 기반으로 이루어져야 합니다. 다음은 세부 사항입니다.

1. 장비 설치 방법: 이상적인 방법은 장비 설치 기간 동안 클린룸을 닫고 장비의 시야각을 충족할 수 있는 문을 설치하거나 새로운 장비가 통과하여 클린룸에 들어갈 수 있는 통로를 확보하여 설치 기간 근처의 클린룸이 오염되는 것을 방지하는 것입니다. 클린룸이 여전히 청결 요구 사항과 그에 따른 필요한 작업을 충족하도록 보호 조치를 취해야 합니다.

2. 각 설치 기간 동안 클린룸 작업을 중단할 수 없거나 해체해야 할 구조물이 있는 경우, 가동 중인 클린룸은 작업 구역과 효과적으로 격리되어야 합니다. 임시 격리벽이나 칸막이를 사용할 수 있습니다. 설치 작업에 지장을 주지 않도록 장비 주변에 충분한 공간을 확보해야 합니다. 여건이 허락하는 경우, 서비스 채널이나 기타 비위험 구역을 통해 격리 구역에 접근할 수 있습니다. 만약 이것이 불가능하다면, 설치 작업으로 인한 오염 영향을 최소화하기 위한 조치를 취해야 합니다. 격리 구역은 등압 또는 음압을 유지해야 합니다. 고층 건물 구역에서는 주변 클린룸에 양압이 가해지는 것을 방지하기 위해 청정 공기 공급을 차단해야 합니다. 인접한 클린룸을 통해서만 격리 구역에 접근할 수 있는 경우, 신발에 묻은 먼지를 제거하기 위해 점착 패드를 사용해야 합니다.

3. 고지대 진입 후에는 클린룸 오염 방지를 위해 일회용 부츠나 덧신, 그리고 일체형 작업복을 착용할 수 있습니다. 이러한 일회용품은 격리 구역을 떠나기 전에 제거해야 합니다. 장비 설치 과정에서 격리 구역 주변 지역을 모니터링하는 방법을 개발하고, 인접한 클린룸으로 누출될 수 있는 오염을 감지할 수 있도록 모니터링 빈도를 결정해야 합니다. 격리 조치가 수립된 후에는 전기, 수도, 가스, 진공, 압축 공기, 폐수 파이프라인 등 다양한 필수 공공 서비스 시설을 설치할 수 있습니다. 작업 중 발생하는 연기와 잔여물이 주변 클린룸으로 우발적으로 확산되는 것을 방지하기 위해 최대한 통제하고 격리하는 데 주의를 기울여야 합니다. 또한 격리 장벽을 제거하기 전에 효과적인 청소를 실시해야 합니다. 공공 서비스 시설이 사용 요건을 충족한 후에는 규정된 청소 절차에 따라 격리 구역 전체를 청소하고 오염을 제거해야 합니다. 모든 벽, 장비(고정형 및 이동형), 바닥 등 모든 표면은 진공 청소, 닦기, 걸레질해야 하며, 특히 장비 보호대 뒤쪽과 장비 아래쪽을 청소하는 데 특히 주의해야 합니다.

4. 장비 성능에 대한 예비 시험은 클린룸 및 설치 장비의 실제 조건을 기반으로 수행할 수 있지만, 이후 승인 시험은 클린 환경 조건이 완전히 충족될 때 수행해야 합니다. 설치 현장의 조건에 따라 격리벽을 조심스럽게 해체할 수 있습니다. 청정 공기 공급이 중단된 경우 재가동해야 합니다. 이 작업 단계의 시간은 클린룸의 정상적인 작업에 지장을 최소화하도록 신중하게 선택해야 합니다. 이 단계에서 공기 중 입자 농도가 지정된 요구 사항을 충족하는지 측정해야 할 수도 있습니다.

5. 장비 내부 및 주요 공정 챔버의 청소 및 준비는 일반적인 클린룸 조건에서 수행해야 합니다. 모든 내부 챔버와 제품과 접촉하거나 제품 운송과 관련된 모든 표면은 요구되는 청결도 수준으로 닦아내야 합니다. 장비 청소 순서는 위에서 아래로 진행해야 합니다. 입자가 분산되면 큰 입자는 중력에 의해 장비 바닥이나 바닥으로 떨어집니다. 장비 외부 표면은 위에서 아래로 청소해야 합니다. 필요한 경우 제품 또는 생산 공정 요건이 중요한 구역에서는 표면 입자 검출을 수행해야 합니다.

6. 클린룸의 특성, 특히 넓은 면적, 높은 투자, 높은 생산량, 그리고 매우 엄격한 청정도 요건을 고려할 때, 이러한 유형의 클린룸에 생산 공정 장비를 설치하는 것은 일반 클린룸과 유사하며, 특별한 요건은 없습니다. 이를 위해 발표된 국가 표준 "클린룸 시공 및 품질 승인 기준"은 클린룸 내 생산 공정 장비 설치에 대한 몇 가지 규정을 제시하고 있으며, 주요 내용은 다음과 같습니다.

가. 생산공정 장비의 설치과정에서 "빈" 수용을 거친 클린룸(구역)에 오염이나 손상이 발생하지 않도록, 장비의 설치과정은 과도한 진동이나 기울기가 없어야 하며, 장비 표면을 갈라 오염시켜서는 안 된다.

B. 클린룸(구역) 내 생산 공정 장비 설치를 질서 있게, 그리고 앉거나 앉은 자세를 최소화하며, 클린룸의 클린 생산 관리 시스템을 준수하기 위해, 생산 장비 설치 공정은 "빈 상태"로 취급되는 다양한 "완제품" 및 "반제품", 설치 공정에 사용되는 재료, 기계 등에 따라 보호되어야 합니다. 이러한 재료는 생산된 제품에 유해한 오염 물질을 배출하거나 생성할 수 없어야 하며(클린룸의 정상 작동 기간 동안 장기간 포함), 클린룸에서 먼지, 녹, 기름때가 없고 사용 중 먼지가 발생하지 않는 클린룸 재료를 사용해야 합니다.

C. 클린룸(구역)의 건물 장식 표면은 클린룸 패널, 필름 및 기타 자재로 보호해야 합니다. 장비 백킹 플레이트는 설계 또는 장비 기술 문서 요건에 따라 제작해야 합니다. 요건이 없는 경우 스테인리스 강판 또는 플라스틱 판을 사용해야 합니다. 독립 기초 및 바닥 보강재에 사용되는 탄소강 프로파일은 방식 처리를 해야 하며, 표면은 평평하고 매끄러워야 합니다. 코킹에는 탄성 실링재를 사용해야 합니다.

D. 자재에는 성분, 품종, 제조일자, 보관 유효기간, 시공 방법 지침 및 제품 인증서가 표시되어야 합니다. 클린룸(구역)에서 사용되는 기계 및 공구는 사용을 위해 비클린룸(구역)으로 이동해서는 안 됩니다. 기계 및 공구는 사용을 위해 클린룸(구역)으로 이동해서는 안 됩니다. 클린룸에서 사용되는 기계 및 공구는 기계의 노출된 부분에서 분진이 발생하지 않도록 해야 하며, 분진으로 인한 환경 오염을 방지하기 위한 조치를 취해야 합니다. 일반적으로 사용되는 기계 및 공구는 클린룸으로 이동하기 전에 에어록에서 세척해야 하며, 오일, 먼지, 녹이 없는 요건을 충족해야 합니다. 검사를 통과하고 "클린" 또는 "클린룸 전용" 표지판을 부착한 후 이동해야 합니다.

E. 클린룸(구역) 내 생산 공정 장비는 이중 바닥과 같은 "특정 바닥"에 설치해야 합니다. 장비 기초는 일반적으로 하부 기술 메자닌 층 또는 시멘트 다공성 판에 설치해야 합니다. 기초 설치를 위해서는 해체 작업이 필요합니다. 휴대용 전기톱으로 절단한 바닥은 보강해야 하며, 그 지지력은 원래의 지지력보다 낮아서는 안 됩니다. 철골 구조의 독립 기초를 사용하는 경우, 아연 도금재 또는 스테인리스강으로 제작해야 하며, 노출된 표면은 평평하고 매끄러워야 합니다.

F. 클린룸(구역) 내 생산 공정 장비 설치 과정에서 벽면 패널, 천장, 이중 바닥에 구멍을 뚫어야 하는 경우, 드릴링 작업으로 인해 고정해야 하는 벽면 패널과 천장 패널의 표면이 갈라지거나 오염되어서는 안 됩니다. 이중 바닥을 뚫은 후 기초 공사가 제때 완료되지 않을 경우, 안전 난간과 위험 표지판을 설치해야 합니다. 생산 장비 설치 후에는 구멍 주변의 틈새를 메우고 장비와 밀봉 부품이 유연하게 접촉하도록 해야 하며, 밀봉 부품과 벽면 패널 사이의 연결은 견고하고 단단해야 합니다. 작업실 한쪽 면의 밀봉 표면은 평평하고 매끄러워야 합니다.