일반적으로 클린룸 테스트 범위에는 클린룸 환경 등급 평가, 엔지니어링 승인 테스트가 포함되며, 식품, 건강 제품, 화장품, 생수, 유제품 생산 작업장, 전자 제품 생산 작업장, GMP 작업장, 병원 수술실, 동물 실험실, 생물안전 실험실, 생물안전 캐비닛, 클린 벤치, 무진 작업장, 멸균 작업장 등이 해당됩니다.
클린룸 시험 내용: 풍속 및 풍량, 공기 교환 횟수, 온도 및 습도, 압력 차이, 부유 먼지, 부유 세균, 침적 세균, 소음, 조명 등. 자세한 내용은 클린룸 시험 관련 표준을 참조하십시오.
클린룸 감지 시에는 클린룸의 점유 상태를 명확하게 식별해야 합니다. 점유 상태에 따라 테스트 결과가 달라지기 때문입니다. "클린룸 설계 기준"(GB 50073-2001)에 따르면, 클린룸 테스트는 빈 상태, 정적 상태, 동적 상태의 세 가지로 구분됩니다.
(1) 빈 상태: 시설이 건설되었고 모든 전력이 연결되어 작동 중이지만 생산 설비, 자재 및 직원이 없습니다.
(2) 정적 상태는 구축되었고, 생산 설비가 설치되었으며, 소유자와 공급자가 합의한 대로 운영되고 있지만 생산 직원은 없습니다.
(3) 동적 상태는 지정된 상태에서 작동하고 지정된 직원이 존재하며 합의된 상태에서 작업을 수행합니다.
1. 공기 속도, 공기량 및 공기 교환 횟수
클린룸 및 클린 구역의 청결도는 주로 실내에서 발생하는 미립자 오염물질을 제거하고 희석시키기 위해 충분한 양의 청정 공기를 유입함으로써 달성됩니다. 따라서 클린룸 또는 클린 시설의 공기 공급량, 평균 풍속, 공기 공급 균일도, 공기 흐름 방향 및 흐름 패턴을 측정하는 것이 매우 중요합니다.
우리나라의 "클린룸 시공 및 인수 시방서"(JGJ 71-1990)에서는 클린룸 프로젝트의 준공 인수 시 시험 및 조정을 반드시 빈 상태 또는 정적 상태에서 수행하도록 규정하고 있습니다. 이러한 규정은 프로젝트 품질을 보다 신속하고 객관적으로 평가할 수 있게 하며, 예정된 동적 결과 달성 실패로 인한 프로젝트 폐쇄 관련 분쟁을 방지할 수 있습니다.
실제 준공 검사에서는 정적인 상태가 일반적이며, 빈 상태는 드뭅니다. 클린룸 내 일부 공정 장비는 사전에 설치되어 있어야 하기 때문입니다. 청정도 시험 전에는 시험 데이터에 영향을 주지 않도록 공정 장비를 꼼꼼하게 닦아내야 합니다. 2011년 2월 1일 시행된 "클린룸 시공 및 인수 시방서"(GB50591-2010)에서는 다음과 같이 구체적으로 규정하고 있습니다. "16.1.2 검사 시 클린룸의 점유 상태는 다음과 같이 구분한다. 엔지니어링 조정 시험은 빈 상태여야 한다. 프로젝트 인수를 위한 검사 및 일상 검사는 빈 상태 또는 정적인 상태여야 한다. 사용 인수를 위한 검사 및 모니터링은 동적인 상태여야 한다. 필요한 경우, 시공사(사용자)와 검사 기관 간의 협의를 통해 검사 상태를 결정할 수도 있다."
방향성 공기 흐름은 주로 깨끗한 공기 흐름을 이용하여 실내 및 주변 지역의 오염된 공기를 밀어내고 배출함으로써 실내 및 주변 지역의 청결도를 유지하는 데 의존합니다. 따라서 공기 공급부의 풍속과 균일성은 청결도에 영향을 미치는 중요한 매개변수입니다. 단면 풍속이 높고 균일할수록 실내 공정에서 발생하는 오염 물질을 더 빠르고 효과적으로 제거할 수 있으므로, 이는 우리가 클린룸 테스트에서 주로 중점적으로 살펴보는 항목입니다.
비단상 유동은 주로 유입되는 깨끗한 공기를 이용하여 실내 및 구역의 오염 물질을 희석하고 청정도를 유지하는 방식입니다. 연구 결과에 따르면 공기 교환 횟수가 많고 공기 흐름 패턴이 적절할수록 희석 효과가 뛰어납니다. 따라서 비단상 유동 클린룸 및 클린 구역에서 공기 공급량과 그에 따른 공기 교환 횟수는 공기 흐름 시험 항목으로서 많은 관심을 받고 있습니다.
2. 온도 및 습도
클린룸 또는 클린워크장의 온도 및 습도 측정은 일반적으로 일반 테스트와 종합 테스트의 두 단계로 나눌 수 있습니다. 일반 테스트에서 빈 상태에서의 완성도 테스트는 다음 등급에 더 적합하고, 그 다음 등급에서는 정적 또는 동적 상태에서의 종합 성능 테스트가 더 적합합니다. 이러한 유형의 테스트는 온도 및 습도에 대한 요구 사항이 매우 엄격한 경우에 적합합니다.
본 시험은 기류 균일성 시험 및 공조 시스템 조정 후 실시합니다. 시험 기간 동안 공조 시스템은 정상적으로 작동했으며, 각종 조건은 안정화되었습니다. 각 습도 조절 구역에는 습도 센서를 설치하고, 센서가 충분히 안정화될 수 있도록 시간을 확보해야 합니다. 측정은 센서가 안정화된 후에 시작해야 하며, 실제 사용 환경에 적합하도록 측정 시간을 5분 이상으로 설정해야 합니다.
3. 압력 차이
이러한 시험은 완공된 시설과 주변 환경 사이, 그리고 시설 내 각 공간 사이의 압력 차이를 일정하게 유지할 수 있는지 검증하기 위한 것입니다. 이 검사는 모든 3가지 점유 상태에 적용되며, 필수적입니다. 압력 차이 검사는 모든 문을 닫은 상태에서 고압에서 저압 순으로, 배치상 외부에서 가장 멀리 떨어진 내부 공간부터 시작하여 바깥쪽으로 순차적으로 진행해야 합니다. 서로 연결된 구멍이 있는 여러 등급의 클린룸은 입구에서만 적절한 공기 흐름 방향을 가집니다.
압력차 시험 요구사항:
(1) 클린 구역의 모든 문이 닫혀 있어야 할 때 정압 차이를 측정합니다.
(2) 클린룸에서는 외부로 직접 연결되는 방이 발견될 때까지 청결도가 높은 순서에서 낮은 순서로 진행합니다.
(3) 실내에 공기 흐름이 없을 때는 측정관 입구를 임의의 위치에 설치하고 측정관 입구 표면이 공기 흐름의 유선과 평행하도록 해야 합니다.
(4) 측정 및 기록된 데이터는 1.0Pa까지 정확해야 합니다.
압력차 감지 단계:
(1) 모든 문을 닫으세요.
(2) 차압계를 사용하여 각 클린룸 간, 클린룸 복도 간, 복도와 외부 세계 간 압력 차이를 측정합니다.
(3) 모든 데이터는 기록되어야 합니다.
압력차 표준 요구사항:
(1) 서로 다른 층의 클린룸 또는 클린 구역과 비클린룸(구역) 사이의 정압차는 5Pa 이상이어야 합니다.
(2) 클린룸(구역)과 실외 사이의 정압차는 10Pa 이상이어야 합니다.
(3) ISO 5(Class100)보다 공기 청정 수준이 엄격한 단방향 흐름 클린룸의 경우, 문을 열었을 때 문 안쪽 0.6m의 실내 작업 표면의 먼지 농도는 해당 수준의 먼지 농도 제한보다 낮아야 합니다.
(4) 위의 표준 요구사항이 충족되지 않으면 적합할 때까지 신선 공기량과 배기 공기량을 재조정해야 합니다.
4. 부유 입자
(1) 실내 시험자는 깨끗한 옷을 입고 있어야 하며 두 사람보다 작아야 합니다. 시험자는 시험 지점의 바람이 불어오는 쪽에 위치해야 하며 시험 지점에서 떨어져 있어야 합니다. 실내 청결에 대한 직원의 간섭을 늘리지 않도록 지점을 이동할 때 가볍게 움직여야 합니다.
(2) 장비는 교정 기간 내에 사용해야 합니다.
(3) 장비는 시험 전후에 정리되어야 합니다.
(4) 단방향 흐름 영역에서 선택된 샘플링 프로브는 동적 샘플링에 가까워야 하며 샘플링 프로브로 들어오는 공기 속도와 샘플링되는 공기 속도의 편차는 20% 미만이어야 합니다. 그렇지 않은 경우 샘플링 포트는 공기 흐름의 주 방향을 향해야 합니다. 비단방향 흐름 샘플링 지점의 경우 샘플링 포트는 수직 위쪽을 향해야 합니다.
(5) 샘플링 포트에서 먼지 입자 계수 센서까지의 연결 파이프는 가능한 한 짧아야 합니다.
5. 부유 박테리아
저고도 샘플링 지점의 수는 부유 입자 샘플링 지점의 수와 동일합니다. 작업 영역의 측정 지점은 지면에서 약 0.8~1.2m 높이에 위치합니다. 공기 공급 배출구의 측정 지점은 공기 공급면에서 약 30cm 떨어져 있습니다. 주요 장비 또는 주요 작업 활동 범위에 측정 지점을 추가할 수 있으며, 각 샘플링 지점에서는 일반적으로 한 번씩 샘플링합니다.
6. 침전된 박테리아
지면에서 0.8~1.2m 떨어진 거리에서 작업하십시오. 준비된 페트리 접시를 채취 지점에 놓습니다. 페트리 접시 뚜껑을 엽니다. 지정된 시간이 지나면 페트리 접시를 다시 덮습니다. 페트리 접시를 항온 배양기에 넣어 배양합니다. 배양 시간이 48시간 이상 소요되는 경우, 각 배치마다 배양액의 오염 여부를 확인하기 위한 대조 시험을 실시해야 합니다.
7. 소음
측정 높이가 지면에서 약 1.2미터이고 클린룸 면적이 15제곱미터 이내인 경우, 방 중앙의 한 지점만 측정하면 됩니다. 면적이 15제곱미터를 초과하는 경우에는 측면 벽에서 1미터 떨어진 지점부터 각 모서리를 향하는 네 개의 대각선 지점을 추가로 측정해야 합니다.
8. 조명
측정 지점은 지면에서 약 0.8미터 높이에 위치하며, 각 지점 사이의 간격은 2미터입니다. 면적이 30제곱미터 이하인 방의 경우, 측정 지점은 측벽에서 0.5미터 떨어져 있습니다. 30제곱미터보다 큰 방의 경우, 측정 지점은 벽에서 1미터 떨어져 있습니다.
게시 시간: 2023년 9월 14일