1. 클린룸 레이아웃
클린룸은 일반적으로 청정 구역, 준청정 구역, 보조 구역의 세 가지 주요 구역으로 구성됩니다. 클린룸 레이아웃은 다음과 같은 방식으로 배치할 수 있습니다.
(1) 주변 복도: 복도는 창문이 있거나 없을 수 있으며, 관람 공간 및 장비 보관 공간으로 사용됩니다. 일부 복도에는 내부 난방 시설이 있을 수 있습니다. 외부 창문은 이중창이어야 합니다.
(2) 내부 복도: 클린룸은 경계에 위치하는 반면, 복도는 내부에 위치합니다. 이 유형의 복도는 일반적으로 클린룸과 동등한 수준의 청정도를 갖습니다.
(3) 종단간 복도 : 한쪽에는 청정실이 위치하고 반대쪽에는 준청정실 및 보조실이 배치되어 있습니다.
(4) 코어 복도: 공간 절약 및 배관 단축을 위해 클린룸을 코어로 사용하고, 다양한 보조실과 매립형 배관으로 둘러싸도록 설계할 수 있습니다. 이러한 방식은 클린룸을 외부 기후의 영향으로부터 보호하고, 냉난방 에너지 소비를 줄이며, 에너지 절약에 기여합니다.
2. 개인 소독 경로
작업 중 인적 활동으로 인한 오염을 최소화하기 위해, 작업자들은 클린룸 작업복으로 갈아입고 클린룸에 들어가기 전에 샤워, 목욕, 소독을 해야 합니다. 이러한 조치를 "인원 제염" 또는 "개인 제염"이라고 합니다. 클린룸 내 탈의실은 환기가 잘 되어야 하며, 입구와 같은 다른 공간보다 양압을 유지해야 합니다. 변기와 샤워실은 약간의 양압을 유지해야 하며, 변기와 샤워실은 음압을 유지해야 합니다.
3. 물질 오염 제거 경로
모든 물체는 클린룸에 들어가기 전에 오염 제거, 즉 "재료 오염 제거"를 거쳐야 합니다. 재료 오염 제거 경로는 클린룸 경로와 분리되어야 합니다. 재료와 작업자가 같은 위치에서만 클린룸에 들어갈 수 있는 경우, 별도의 입구를 통해 들어가야 하며, 재료는 예비 오염 제거를 거쳐야 합니다. 생산 라인이 덜 효율적인 경우, 재료 경로 내에 중간 저장 시설을 설치할 수 있습니다. 생산 라인이 더 효율적인 경우, 직선형 재료 경로를 사용해야 하며, 경로 내에 여러 개의 오염 제거 및 이송 시설이 필요할 수 있습니다. 시스템 설계 측면에서 클린룸의 거친 정화 및 미세 정화 단계에서 많은 입자가 제거되므로 비교적 깨끗한 영역은 음압 또는 무압으로 유지해야 합니다. 오염 위험이 높은 경우, 입구 방향도 음압으로 유지해야 합니다.
4. 파이프라인 조직
무진공 클린룸의 파이프라인은 매우 복잡하기 때문에 모두 은폐형으로 정리됩니다. 은폐형 정리 방법에는 여러 가지가 있습니다.
(1). 기술 메자닌
①. 최상층 기술 중이층. 이 중이층에서는 급기 및 환기 덕트의 단면적이 일반적으로 가장 크기 때문에 중이층에서 가장 먼저 고려되는 대상입니다. 일반적으로 중이층 최상층에 배치되고, 그 아래에 전기 배관이 배치됩니다. 이 중이층의 바닥판이 일정 무게를 견딜 수 있을 때, 필터와 배기 장치를 설치할 수 있습니다.
②. 실내 기술 메자닌. 이 방식은 최상층 메자닌만 사용하는 경우와 비교하여 메자닌의 배선과 높이를 줄이고, 환기 덕트가 상층 메자닌으로 복귀하는 데 필요한 기술 통로를 절약할 수 있습니다. 환기 팬 전원 공급 장치도 하층 통로에 설치할 수 있습니다. 특정 층의 무진공 클린룸의 상층 통로는 상층의 하층 통로로도 사용할 수 있습니다.
(2) 기술 통로(벽)의 상하부 메자닌에 있는 수평 파이프라인은 일반적으로 수직 파이프라인으로 변환됩니다. 이러한 수직 파이프라인이 있는 숨겨진 공간을 기술 통로라고 합니다. 기술 통로는 클린룸에 적합하지 않은 보조 장비를 수용할 수도 있으며, 일반 환기 덕트 또는 정압 박스로도 사용할 수 있습니다. 일부는 광관 라디에이터를 수용할 수도 있습니다. 이러한 유형의 기술 통로(벽)는 종종 경량 칸막이를 사용하므로 공정 조정 시 쉽게 조정할 수 있습니다.
(3) 기술 샤프트: 기술 통로(벽)는 일반적으로 바닥을 가로지르지 않지만, 가로지르는 경우 기술 샤프트로 사용됩니다. 기술 샤프트는 종종 건물 구조의 영구적인 부분입니다. 기술 샤프트는 여러 층을 연결하므로, 방화를 위해 내부 배관 설치 후 층간 외함은 바닥 슬래브보다 낮은 내화 등급을 가진 재료로 밀봉해야 합니다. 유지 보수 작업은 여러 층으로 이루어져야 하며, 점검구에는 내화 도어를 설치해야 합니다. 기술 메자닌, 기술 통로 또는 기술 샤프트가 직접 공기 덕트로 사용되는 경우, 내부 표면은 클린룸 내부 표면 요건에 따라 처리되어야 합니다.
(5) 기계실 위치. 공조 기계실은 많은 공기 공급량이 필요한 무진공 클린룸 근처에 배치하는 것이 가장 좋으며, 덕트 라인은 최대한 짧게 유지하도록 노력해야 합니다. 단, 소음 및 진동 방지를 위해 무진공 클린룸과 기계실은 분리해야 합니다. 두 가지 측면을 모두 고려해야 하며, 분리 방법은 다음과 같습니다.
1. 구조적 분리 방식: (1) 침하 이음매 분리 방식. 침하 이음매는 무진공 작업장과 기계실 사이를 통과하여 칸막이 역할을 합니다. (2) 격벽 분리 방식. 기계실이 무진공 작업장과 인접해 있는 경우, 벽을 공유하는 대신 각각 별도의 격벽을 설치하고 두 격벽 사이에 일정 간격을 둡니다. (3) 보조실 분리 방식. 무진공 작업장과 기계실 사이에 보조실을 설치하여 완충 역할을 합니다.
2. 분산 방식: (1) 지붕 또는 천장 분산 방식: 기계실은 먼지가 없는 아래 작업장과의 거리를 유지하기 위해 종종 최상층 지붕에 배치되지만, 지붕 아래층은 보조실 또는 관리실 층이나 기술용 메자닌으로 설치하는 것이 바람직합니다. (2) 지하 분산형: 기계실은 지하에 위치합니다. (3) 독립 건물 방식: 클린룸 건물 외부에 별도의 기계실을 건설하지만, 클린룸과 매우 가까이에 설치하는 것이 가장 좋습니다. 기계실은 진동 차단 및 방음에 유의해야 합니다. 바닥은 방수 처리하고 배수 조치를 취해야 합니다. 진동 차단: 진동원 팬, 모터, 워터 펌프 등의 브래킷과 받침대는 방진 처리를 해야 합니다. 필요한 경우 장비를 콘크리트 슬래브 위에 설치하고 방진재로 지지해야 합니다. 슬래브의 무게는 장비 총 무게의 2~3배가 되어야 합니다. 방음: 대형 기계실의 경우, 시스템에 소음기를 설치하는 것 외에도 벽에 특정 흡음재 부착을 고려할 수 있습니다. 방음문을 설치해야 합니다. 깨끗한 공간에서 칸막이벽의 문을 열지 마십시오.
5. 안전한 대피
클린룸은 고도로 밀폐된 건물이므로 안전한 대피는 매우 중요하고 중요한 문제이며, 이는 정화 공조 시스템 설치와도 밀접한 관련이 있습니다. 일반적으로 다음 사항에 유의해야 합니다.
(1) 생산 현장의 방화구역 또는 청정구역에는 최소 2개의 비상구가 있어야 합니다. 면적이 50제곱미터 미만이고 종사자 수가 5명 미만인 경우에는 비상구가 1개만 허용됩니다.
(2) 청정실 입구는 대피 통로로 사용해서는 안 됩니다. 청정실 내부 통로는 종종 우회로가 많아 연기나 화재가 발생할 경우, 작업자가 신속하게 외부로 나가기 어려울 수 있습니다.
(3) 에어샤워실은 일반 출입로로 사용해서는 안 됩니다. 이러한 문은 종종 두 개의 연동식 또는 자동문으로 되어 있으며, 고장 시 대피에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 샤워실에는 일반적으로 바이패스 도어가 설치되며, 직원이 5명 이상인 경우 필수적입니다. 일반적으로 직원은 에어샤워실이 아닌 바이패스 도어를 통해 청정실을 빠져나가야 합니다.
(4) 실내 압력을 유지하기 위해 클린룸 내 각 클린룸의 문은 압력이 가장 높은 방을 향해야 합니다. 이는 문을 닫아두기 위해 압력에 의존하는 것으로, 안전 대피 요건과 명백히 상충됩니다. 일반 청정도와 비상 대피 요건을 모두 고려하기 위해, 청정 구역과 비청정 구역 사이의 문, 그리고 청정 구역과 실외 사이의 문은 안전 대피문으로 간주되어야 하며, 모든 문은 대피 방향으로 열려야 합니다. 물론, 단일 안전문에도 동일하게 적용됩니다.
게시 시간: 2025년 9월 9일