1. 클린룸 배치도
클린룸은 일반적으로 클린 구역, 세미 클린 구역, 보조 구역의 세 가지 주요 영역으로 구성됩니다. 클린룸 레이아웃은 다음과 같은 방식으로 배치할 수 있습니다.
(1) 주변 복도: 복도는 창문이 있거나 없을 수 있으며, 관찰 공간 및 장비 보관 공간으로 사용됩니다. 일부 복도에는 내부 난방이 있을 수도 있습니다. 외부 창문은 이중 유리여야 합니다.
(2) 내부 복도: 클린룸은 외곽에 위치하고 복도는 내부에 위치한다. 이러한 유형의 복도는 일반적으로 클린룸과 동등한 수준의 높은 청결도를 갖는다.
(3) 종단간 복도: 한쪽에는 클린룸이 있고 다른 쪽에는 세미클린룸과 보조룸이 있습니다.
(4) 코어 복도: 공간을 절약하고 배관을 단축하기 위해 클린룸을 코어로 하고 다양한 보조실과 숨겨진 배관으로 둘러싸는 방식을 사용할 수 있습니다. 이 방식은 클린룸을 외부 기후의 영향으로부터 보호하고 냉난방 에너지 소비를 줄여 에너지 절약에 기여합니다.
2. 개인 제독 경로
작업 중 인적 활동으로 인한 오염을 최소화하기 위해, 모든 인원은 클린룸 복장으로 갈아입은 후 샤워, 목욕, 소독을 마친 뒤 클린룸에 들어가야 합니다. 이러한 조치를 "인력 제염" 또는 "개인 제염"이라고 합니다. 클린룸 내 탈의실은 환기가 잘 되어야 하며, 입구 등 다른 공간에 비해 양압을 유지해야 합니다. 화장실과 샤워실은 약간의 양압을 유지해야 하며, 화장실과 샤워실은 음압을 유지해야 합니다.
3. 물질 오염 제거 경로
모든 물체는 클린룸에 들어가기 전에 오염 제거, 즉 "재료 오염 제거"를 거쳐야 합니다. 재료 오염 제거 경로는 클린룸 경로와 분리되어야 합니다. 재료와 인원이 동일한 위치에서만 클린룸에 들어갈 수 있는 경우, 각각 다른 출입구를 이용해야 하며 재료는 사전 오염 제거를 거쳐야 합니다. 생산 라인이 비효율적인 경우에는 재료 경로 내에 중간 저장 시설을 설치할 수 있습니다. 생산 라인이 효율적인 경우에는 직선형 재료 경로를 사용하는 것이 좋으며, 경우에 따라 경로 내에 여러 개의 오염 제거 및 이송 시설이 필요할 수 있습니다. 시스템 설계 측면에서, 클린룸의 조대 및 정정 단계에서 많은 입자가 제거되므로 상대적으로 깨끗한 영역은 음압 또는 무압 상태로 유지해야 합니다. 오염 위험이 높은 경우에는 유입 방향도 음압 상태로 유지해야 합니다.
4. 파이프라인 구성
무분진 클린룸의 배관은 매우 복잡하기 때문에 모두 눈에 띄지 않게 배치되어 있습니다. 이러한 배관을 숨기는 데에는 몇 가지 구체적인 방법이 있습니다.
(1). 기술 메자닌
①. 최상부 기술 메자닌. 이 메자닌은 일반적으로 급기 및 환기 덕트의 단면적이 가장 크기 때문에 메자닌 설계 시 가장 먼저 고려해야 할 부분입니다. 일반적으로 메자닌 최상층에 배치되며, 전기 배선은 그 아래에 설치됩니다. 이 메자닌의 바닥판이 일정 하중을 견딜 수 있다면 필터 및 배기 설비를 설치할 수 있습니다.
②. 실내 기술 메자닌. 상부 메자닌만 설치하는 방식과 비교하여, 이 방식은 배선 및 메자닌 높이를 줄이고, 환기 덕트가 상부 메자닌으로 되돌아가는 데 필요한 기술 통로를 절약할 수 있습니다. 또한, 환기 팬 전원 설비의 배전도 하부 통로에 설치할 수 있습니다. 특정 층의 무분진 클린룸 상부 통로를 위층의 하부 통로로도 활용할 수 있습니다.
(2) 기술 통로(벽)의 상부 및 하부 메자닌 내의 수평 배관은 일반적으로 수직 배관으로 변환됩니다. 이러한 수직 배관이 위치하는 은폐 공간을 기술 통로라고 합니다. 기술 통로는 클린룸에 적합하지 않은 보조 장비를 수용할 수 있으며, 일반적인 환기 덕트 또는 정압 박스로도 사용될 수 있습니다. 일부 기술 통로는 형광등 라디에이터를 수용할 수도 있습니다. 이러한 유형의 기술 통로(벽)는 종종 경량 칸막이를 사용하기 때문에 공정 변경 시 쉽게 조정할 수 있습니다.
(3) 기술 샤프트: 기술 통로(벽)는 일반적으로 층을 가로지르지 않지만, 가로지르는 경우에는 기술 샤프트로 사용됩니다. 기술 샤프트는 종종 건물 구조의 영구적인 부분입니다. 기술 샤프트는 여러 층을 연결하기 때문에 화재 방지를 위해 내부 배관 설치 후 층간 공간은 바닥 슬래브 이상의 내화 등급을 가진 재료로 밀봉해야 합니다. 유지 보수 작업은 층별로 수행해야 하며, 점검 도어에는 내화 도어를 설치해야 합니다. 기술 메자닌, 기술 통로 또는 기술 샤프트가 직접 공기 덕트로 사용되는 경우, 내부 표면은 클린룸 내부 표면 요구 사항에 따라 처리해야 합니다.
(5) 기계실의 위치. 대용량의 공기 공급이 필요한 무진실에 공조 기계실을 가까이 배치하고, 공기 덕트 길이를 최대한 짧게 유지하는 것이 가장 좋다. 그러나 소음과 진동을 방지하기 위해 무진실과 기계실은 분리되어야 한다. 두 가지 측면을 모두 고려해야 한다. 분리 방법에는 다음이 포함된다.
1. 구조적 분리 방법: (1) 이음매 분리 방법. 이음매를 무진실 작업장과 기계실 사이에 설치하여 칸막이 역할을 하도록 한다. (2) 칸막이벽 분리 방법. 기계실이 무진실 작업장과 인접해 있는 경우, 벽을 공유하는 대신 각각 칸막이벽을 설치하고 두 칸막이벽 사이에 일정 폭의 간격을 둔다. (3) 보조실 분리 방법. 무진실 작업장과 기계실 사이에 완충실 역할을 하는 보조실을 설치한다.
2. 분산 방식: (1) 옥상 또는 천장 분산 방식: 기계실은 아래의 무진 작업장과의 접촉을 최소화하기 위해 옥상에 설치하는 경우가 많지만, 옥상 아래층은 보조실, 관리실 또는 기술용 메자닌으로 활용하는 것이 바람직하다. (2) 지하 분산 방식: 기계실을 지하에 설치한다. (3) 독립 건물 방식: 클린룸 건물 외부에 별도의 기계실을 설치하지만, 클린룸과 최대한 가깝게 설치하는 것이 좋다. 기계실은 진동 차단 및 방음에 특히 주의해야 한다. 바닥은 방수 처리하고 배수 시설을 갖추어야 한다. 진동 차단: 팬, 모터, 워터 펌프 등 진동 발생 장비의 브래킷과 받침대는 방진 처리를 해야 한다. 필요한 경우, 장비를 콘크리트 슬래브 위에 설치하고 슬래브는 방진 재료로 보강해야 한다. 슬래브의 무게는 장비 총중량의 2~3배가 되어야 한다. 방음: 대형 기계실의 경우 시스템에 소음기를 설치하는 것 외에도 벽면에 특정 흡음재를 부착하는 것을 고려할 수 있습니다. 방음문을 설치해야 하며, 클린 구역과의 칸막이 벽에 있는 문은 열지 않도록 해야 합니다.
5. 안전한 대피
클린룸은 고도로 밀폐된 건물이기 때문에 안전한 대피가 매우 중요하며, 이는 정화 공조 시스템 설치와도 밀접한 관련이 있습니다. 일반적으로 다음과 같은 사항에 유의해야 합니다.
(1) 생산 현장의 각 방화실 또는 클린룸 구역에는 최소 2개의 비상구가 있어야 합니다. 구역의 면적이 50제곱미터 미만이고 직원 수가 5명 미만인 경우에는 비상구가 1개만 허용됩니다.
(2) 클린룸 입구는 대피 출구로 사용해서는 안 됩니다. 클린룸 경로는 종종 우회되어 있기 때문에 연기나 화재가 구역을 덮칠 경우 인원이 신속하게 외부로 나가기 어려울 수 있습니다.
(3) 에어샤워실은 일반적인 접근 경로로 사용해서는 안 됩니다. 이러한 문에는 종종 두 개의 연동문이나 자동문이 있으며, 오작동 시 대피에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 샤워실에는 일반적으로 바이패스 도어가 설치되며, 직원이 5명 이상인 경우에는 필수적입니다. 일반적으로 인원은 에어샤워실이 아닌 바이패스 도어를 통해 클린룸에서 나가야 합니다.
(4) 내부 압력을 유지하기 위해 클린룸 내 각 클린룸의 문은 압력이 가장 높은 방을 향해야 합니다. 이는 압력에 의존하여 문을 닫아두는 것이므로 안전 대피 요건과 명백히 상충됩니다. 정상적인 청결 유지와 비상 대피 요건을 모두 고려하기 위해 클린 구역과 비클린 구역 사이의 문, 그리고 클린 구역과 실외 사이의 문은 안전 대피 문으로 취급하고, 모든 문의 개방 방향은 대피 방향으로 해야 한다고 규정하고 있습니다. 물론 개별 안전문에도 동일하게 적용됩니다.
게시 시간: 2025년 9월 9일