소개
깨끗한 방은 오염 통제의 기초입니다. 깨끗한 공간이 없으면 오염에 민감한 부품을 대량 생산할 수 없습니다. Fed-STD-2에서 청정 실은 공기 여과, 분포, 최적화, 건축 자재 및 장비가있는 객실로 정의되며, 특정 정기적 인 작동 절차는 공기 중 입자의 농도를 제어하여 적절한 입자 청결 수준을 달성하는 데 사용됩니다.
깨끗한 방에서 우수한 청결 효과를 달성하기 위해서는 합리적인 에어컨 정화 조치를 취하는 데 중점을 둘뿐만 아니라 해당 조치를 취하기 위해 공정, 건설 및 기타 전문 분야를 요구해야합니다. 사양에 따른 설치뿐만 아니라 깨끗한 실내 및 과학 유지 보수 및 관리의 올바른 사용. 깨끗한 방에서 좋은 영향을 미치기 위해 많은 국내 및 외국 문학이 다른 관점에서 설명되었습니다. 실제로, 다른 전문 분야의 이상적인 조정을 달성하기는 어렵고, 설계자가 건설 및 설치의 품질, 특히 후자의 품질을 파악하기는 어렵습니다. 깨끗한 실내 정화 조치에 관한 한, 많은 설계자 또는 건설 파티는 종종 필요한 조건에 충분한주의를 기울이지 않아 불만족스러운 청결 효과를 초래합니다. 이 기사는 깨끗한 실내 정화 조치에서 청결 요구 사항을 달성하는 데 필요한 4 가지 조건에 대해 간략하게 설명합니다.
1. 공기 공급 청결
공기 공급 청결도가 요구 사항을 충족시키기 위해 핵심은 정화 시스템의 최종 필터의 성능과 설치입니다.
필터 선택
정제 시스템의 최종 필터는 일반적으로 HEPA 필터 또는 하위 HEPA 필터를 채택합니다. 우리 나라의 표준에 따르면, HEPA 필터의 효율은 4 개의 등급으로 나뉩니다. 클래스 A는 ≥99.9%, 클래스 B는 99.9%이상, 클래스 C는 99.999%이상, 클래스 D는 (입자 ≥0.1μm) ≥99.999입니다. % (초-헤파 필터라고도 함); 하위 HEPA 필터는 (입자 ≥0.5μm) 95 ~ 99.9%입니다. 효율이 높을수록 필터가 더 비싸다. 따라서 필터를 선택할 때는 공기 공급 청결 요구 사항을 충족 할뿐만 아니라 경제 합리성을 고려해야합니다.
청결 요구 사항의 관점에서 볼 때, 원칙은 저수준 청소실에 저성 필터를 사용하고 고급 클리닝 룸에는 고성능 필터를 사용하는 것입니다. 일반적으로 말하면 : 고효율 필터는 백만 레벨에 사용될 수 있습니다. 하위 HEPA 또는 클래스 A HEPA 필터는 클래스 10,000 미만의 레벨에 사용될 수 있습니다. 클래스 B 필터는 클래스 10,000 ~ 100에 사용할 수 있습니다. 클래스 C 필터는 100 ~ 1 레벨에 사용할 수 있습니다. 각 청결 레벨에 대해 선택할 수있는 필터가 두 가지가있는 것 같습니다. 고성능 또는 저 성능 필터를 선택하는지 여부는 특정 상황에 따라 다릅니다. 환경 오염이 심각하거나 실내 배기 비율이 크거나 깨끗한 실이 특히 중요하며 더 큰 안전 계수가 필요합니다. 이 경우 고급 필터를 선택해야합니다. 그렇지 않으면 저 성능 필터를 선택할 수 있습니다. 0.1μm 입자의 제어가 필요한 깨끗한 실의 경우, 제어 된 입자 농도에 관계없이 클래스 D 필터를 선택해야합니다. 위는 필터의 관점에서만 있습니다. 실제로 우수한 필터를 선택하려면 깨끗한 실, 필터 및 정제 시스템의 특성을 완전히 고려해야합니다.
필터 설치
공기 공급의 청결을 보장하기 위해 자격을 갖춘 필터 만있는 것만으로는 충분하지 않으며 다음을 보장하는 것도 충분하지 않습니다. 운송 및 설치 중에 필터가 손상되지 않습니다. 비. 설치가 빡빡합니다. 첫 번째 지점을 달성하기 위해서는 정화 시스템 설치에 대한 지식과 숙련 된 설치 기술을 통해 건설 및 설치 직원이 잘 훈련되어야합니다. 그렇지 않으면 필터가 손상되지 않도록하기가 어렵습니다. 이와 관련하여 심오한 교훈이 있습니다. 둘째, 설치 압박 문제는 주로 설치 구조의 품질에 달려 있습니다. 설계 설명서는 일반적으로 다음과 같이 권장합니다. 단일 필터의 경우 오픈 타입 설치가 사용되므로 누설이 발생하더라도 방으로 누출되지 않습니다. 완성 된 HEPA 공기 콘센트를 사용하면 압박감이 더 쉽습니다. 다중 필터의 공기의 경우 젤 씰 및 음압 밀봉이 최근 몇 년 동안 종종 사용됩니다.
젤 씰은 액체 탱크 조인트가 단단하고 전체 프레임이 동일한 수평 평면에 있는지 확인해야합니다. 음압 밀봉은 필터와 정적 압력 박스 사이의 관절의 외부 주변을, 그리고 프레임을 음압 상태로 만드는 것입니다. 개방형 설치와 마찬가지로 누출이 있더라도 방으로 누출되지 않습니다. 실제로, 설치 프레임이 평평하고 필터 끝면이 설치 프레임과 균일 한 상태 인 한, 모든 설치 유형에서 필터가 설치 견고성 요구 사항을 충족시키기가 쉽습니다.
2. 공기 흐름 조직
깨끗한 방의 공기 흐름 조직은 일반 에어컨이 설치된 방과 다릅니다. 가장 깨끗한 공기를 먼저 작동 영역으로 전달해야합니다. 그 기능은 처리 된 물체의 오염을 제한하고 줄이는 것입니다. 이를 위해 공기 흐름 조직을 설계 할 때 다음과 같은 원칙을 고려해야합니다. 와전류를 최소화하여 작업 영역에서 오염을 작업 영역으로 가져 오지 않도록하십시오. 먼지가 생산 공작물을 오염시킬 가능성을 줄이기 위해 2 차 먼지 비행을 방지하십시오. 작업장의 공기 흐름은 가능한 한 균일해야하며 풍속은 공정 및 위생 요구 사항을 충족해야합니다. 공기 흐름이 리턴 에어 아울렛으로 흐르면 공기의 먼지를 효과적으로 제거해야합니다. 다양한 청결 요구 사항에 따라 다른 공기 전달 및 반환 모드를 선택하십시오.
다른 공기 흐름 조직에는 고유 한 특성과 범위가 있습니다.
(1). 수직 단방향 흐름
균일 한 하향 공기 흐름을 얻는 일반적인 이점 외에도 공정 장비의 배열, 강력한 자체 정화 능력 및 개인 정화 시설과 같은 일반적인 시설을 단순화하는 4 가지 공기 공급 방법은 고유 한 장점과 불리함을 가지고 있습니다. 덮힌 HEPA 필터는 저항력이 낮고 필터 교체 사이클이 길지만 천장 구조는 복잡하고 비용이 높습니다. 측면으로 덮인 HEPA 필터 상단 전달 및 풀 홀 플레이트 상단 전달의 장점과 단점은 완전 덮인 HEPA 필터 상단 전달의 장점과 반대입니다. 그중에서도, 풀 홀 플레이트 상단 전달은 시스템이 연속적으로 작동하지 않을 때 오리피스 플레이트의 내부 표면에 먼지를 쌓을 수 있으며 유지 보수가 좋지 않은 경우 청결에 약간의 영향을 미칩니다. 조밀 한 디퓨저 최상위 배달은 믹싱 층이 필요하므로 4m 이상의 키 큰 깨끗한 실에만 적합하며 그 특성은 풀 홀 플레이트 상단 전달과 유사합니다. 반대쪽 벽의 바닥에 골고루 배열 된 회색 공기 매장이있는 플레이트의 반환 공기 방법은 양쪽에 6m 미만의 순간 간격이있는 깨끗한 방에만 적합합니다. 단면 벽의 바닥에 배열 된 리턴 에어 아울렛은 벽 사이에 작은 거리가 작은 깨끗한 방에만 적합합니다 (예 : ≤ <2 ~ 3m).
(2). 수평 단방향 흐름
첫 번째 작업 영역 만 청결 수준 100에 도달 할 수 있습니다. 공기가 다른쪽으로 흐르면 먼지 농도가 점차 증가합니다. 따라서 동일한 방에서 동일한 과정에 대해 청결 요구 사항이 다른 깨끗한 방에만 적합합니다. 공기 공급 벽에 HEPA 필터의 로컬 분포는 HEPA 필터의 사용을 줄이고 초기 투자를 절약 할 수 있지만 지역에는 에디가 있습니다.
(3). 난기류 공기 흐름
오리피스 플레이트의 최고 전달 및 밀도가 높은 디퓨저의 최고 전달의 특성은 위에서 언급 한 것과 동일합니다. 측면 전달의 장점은 파이프 라인을 정리하기 쉽고, 기술적 인 층층이 필요하지 않으며 저렴한 비용이 필요하며 오래된 공장의 개조에 도움이됩니다. . 단점은 작업 영역의 풍속이 크고 바람 속도가 바람이 잘되는 쪽의 먼지 농도는 상향식 측면보다 높다는 것입니다. HEPA 필터 아울렛의 최고 전달은 간단한 시스템의 장점, HEPA 필터 뒤에 파이프 라인이 없으며 깨끗한 공기 흐름이 작업 영역으로 직접 전달되지만 깨끗한 공기 흐름은 천천히 확산되고 작업 영역의 공기 흐름이 더 균일합니다. 그러나, 다수의 공기 매장이 균일하게 배열되거나 디퓨저가있는 HEPA 필터 공기 매장이 사용되면, 작업 영역의 공기 흐름도 더 균일 할 수있다; 그러나 시스템이 지속적으로 실행되지 않으면 디퓨저는 먼지 축적이 발생하기 쉽습니다.
위의 논의는 모두 이상적인 상태에 있으며 관련 국가 사양, 표준 또는 디자인 매뉴얼에 의해 권장됩니다. 실제 프로젝트에서 공기 흐름 조직은 객관적인 조건이나 디자이너의 주관적인 이유로 인해 잘 설계되지 않았습니다. 일반적인 단방향 흐름 채택 된 두 벽의 하부에서 반환 공기, 지역 클래스 100은 상단 배달 및 상단 수익을 채택합니다 (즉, 매달려 커튼이 지역 공기 배출구 아래에 추가되지 않음) 및 난류 청소실 채택 HEPA 필터 에어 아울렛 탑 배달 및 상단 수익 또는 단면 하단 수익률 (벽 사이의 더 큰 간격) 등 설계 요구 사항. 빈 또는 정적 수용에 대한 현재 사양으로 인해이 깨끗한 방 중 일부는 빈 또는 정적 조건에서 설계된 청결 레벨에 거의 도달하지는 않지만 정체 방지 간섭 능력은 매우 낮으며 깨끗한 방이 작업 상태에 들어가면 IT 요구 사항을 충족하지 않습니다.
올바른 공기 흐름 조직은 지역 지역의 작업장 높이에 매달려 커튼을 설정해야하며, 100,000 클래스는 상위 배달과 상단 수익을 채택해서는 안됩니다. 또한, 대부분의 공장은 현재 디퓨저가있는 고효율 공기 매장을 생산하며, 디퓨저는 단지 장식 오리피스 플레이트이며 확산 공기 흐름의 역할을하지 않습니다. 디자이너와 사용자는 이에 특별한주의를 기울여야합니다.
3. 공기 공급량 또는 공기 속도
충분한 환기량은 실내 오염 된 공기를 희석하고 제거하는 것입니다. 다양한 청결 요구 사항에 따르면, 청정 실의 순 높이가 높으면 환기 주파수가 적절하게 증가해야합니다. 그 중에서도 1 백만 레벨의 청정 실의 환기량은 고효율 정제 시스템에 따라 고려되며 나머지는 고효율 정제 시스템에 따라 고려됩니다. 클래스의 HEPA 필터가 기계 실에 집중되거나 하위 HEPA 필터가 시스템 끝에 사용되면 환기 주파수는 10-20%증가 할 수 있습니다.
위의 환기량 권장 값의 경우, 저자는 다음과 같이 생각합니다. 저자는 다음과 같이 생각합니다. 단방향 흐름 청소실의 방 부분을 통한 풍속은 낮고 난류 청소실은 충분한 안전 계수를 갖는 권장 값을 가지고 있습니다. 수직 단방향 흐름 ≥ 0.25m/s, 수평 단방향 흐름 ≥ 0.35m/s. 빈 또는 정적 조건에서 테스트 할 때 청결 요구 사항을 충족시킬 수 있지만, 방지 능력은 좋지 않습니다. 방이 작업 상태에 들어가면 청결은 요구 사항을 충족하지 못할 수 있습니다. 이 유형의 예는 고립 된 경우가 아닙니다. 동시에, 우리 나라의 인공 호흡기 시리즈에서 정제 시스템에 적합한 팬은 없습니다. 일반적으로 설계자는 종종 시스템의 공기 저항을 정확하게 계산하지 않거나 선택된 팬이 특성 곡선에서 더 유리한 작업 지점에 있는지 알지 못하여 공기량 또는 풍속이 디자인 값에 곧 도달하지 못합니다. 시스템이 작동 한 후. 미국 연방 표준 (FS209A ~ B)은 깨끗한 실 단면을 통한 단방향 청정 실의 공기 흐름 속도가 일반적으로 90ft/min (0.45m/s)으로 유지되며 속도가 균일 한 속도는 ± 20% 이내입니다. 방 전체에서 간섭이없는 상태에서. 공기 흐름 속도의 현저한 감소는 자기 청소 시간의 가능성과 작업 위치 간의 오염 가능성을 증가시킬 것입니다 (1987 년 10 월 FS209C의 공표 후, 먼지 농도 이외의 모든 매개 변수 지표에 대한 규정은 없었습니다).
이러한 이유로, 저자는 단방향 유속의 현재 국내 설계 가치를 적절하게 증가시키는 것이 적절하다고 생각합니다. 우리 부대는 실제 프로젝트 에서이 작업을 수행했으며 그 효과는 비교적 좋습니다. 난류 청소실에는 비교적 충분한 안전 요소가있는 권장 가치가 있지만 많은 디자이너는 여전히 보장되지 않습니다. 특정 디자인을 만들 때 클래스 100,000 클린 룸의 환기량을 20-25 회/h, 클래스 10,000 클린 룸에서 30-40 회/h, 1000 클린 룸을 60-70 회/h로 늘립니다. 이는 장비 용량과 초기 투자를 증가시킬뿐만 아니라 향후 유지 보수 및 관리 비용을 증가시킵니다. 실제로 그렇게 할 필요가 없습니다. 우리 나라의 공기 청소 기술 조치를 편집 할 때 중국의 클래스 100 클리닝 룸을 조사하고 측정했습니다. 동적 조건에서 많은 깨끗한 방을 테스트했습니다. 결과는 100,000 개의 청소실의 환기량 100,000 번의 클린 룸, 10,000 개 청정 실, 20 회 이상의 클리닝 룸 및 50 회 이상 50 회/h의 클래스 클린 룸이 요구 사항을 충족 할 수 있음을 보여주었습니다. 미국 연방 표준 (FS2O9A ~ B) 규정 : 비 단방화 청정실 (클래스 100,000, 클래스 10,000), 객실 높이 8 ~ 12ft (2.44 ~ 3.66m)는 일반적으로 전체 방이 적어도 3 분마다 인공 호흡하는 것을 고려합니다. (즉, 20 회/h). 따라서 설계 사양은 큰 잉여 계수를 고려했으며 설계자는 인공 호흡량의 권장 값에 따라 안전하게 선택할 수 있습니다.
4. 정적 압력 차이
깨끗한 방에서 특정 양압을 유지하는 것은 깨끗한 방이 설계된 청결 수준을 유지하기 위해 오염되지 않도록하는 필수 조건 중 하나입니다. 음압 청소실의 경우에도 청결 수준이 인접한 방이나 스위트 룸이 있어야 특정 양압을 유지하기 위해 수준보다 낮지 않아 부담 압력 청소실의 청결을 유지할 수 있습니다.
깨끗한 방의 양압 값은 실내 정적 압력이 모든 문과 창문을 닫을 때 실외 정압보다 큰 값을 나타냅니다. 정제 시스템의 공기 공급량이 리턴 공기 부피 및 배기 공기 부피보다 크다는 방법에 의해 달성된다. 깨끗한 실의 양압 값을 보장하기 위해 공급, 반품 및 배기 팬이 바람직하게는 널리킹됩니다. 시스템이 켜지면 공급 팬이 먼저 시작된 다음 반품 및 배기 팬이 시작됩니다. 시스템이 꺼지면 배기 팬이 먼저 꺼지고 시스템이 켜지거나 꺼질 때 깨끗한 방이 오염되지 않도록 반환 및 공급 팬이 꺼집니다.
깨끗한 방의 양압을 유지하는 데 필요한 공기량은 주로 유지 보수 구조의 기밀성에 의해 결정됩니다. 인클로저 구조의 밀폐성이 좋지 않아 우리나라에서 깨끗한 방 구조의 초기에는 ≥5PA의 양압을 유지하기 위해 2 ~ 6 배의 공기 공급이 걸렸습니다. 현재, 동일한 양압을 유지하려면 유지 보수 구조의 밀폐가 크게 개선되었으며, 1 ~ 2 배의 공기 공급 만 필요합니다. ≥10PA를 유지하려면 2 ~ 3 배의 공기 공급이 필요합니다.
우리 나라의 디자인 사양 [6]은 다른 등급의 깨끗한 방과 깨끗한 지역과 비 청소 영역 사이의 정적 압력 차이가 0.5mm H2O (~ 5Pa) 이상이어야하며 깨끗한 영역 사이의 정적 압력 차이가되어야한다고 규정합니다. 야외는 1.0mm H2O (~ 10PA) 이상이어야합니다. 저자는이 값이 세 가지 이유로 너무 낮은 것으로 보인다고 생각합니다.
(1) 양압은 문과 창문 사이의 간격을 통해 실내 대기 오염을 억제하거나 문과 창문이 짧은 시간 동안 열릴 때 방에 침투하는 오염 물질을 최소화하는 깨끗한 공간의 능력을 말합니다. 양압의 크기는 오염 억제 능력의 강도를 나타냅니다. 물론, 양압이 클수록 더 좋을수록 (나중에 논의 될 것입니다).
(2) 양압에 필요한 공기량은 제한적이다. 5PA 양압 및 10PA 양압에 필요한 공기량은 약 1 시간/h에 불과합니다. 왜 그렇게하지 않습니까? 분명히, 양압의 하한을 10pa로 취하는 것이 좋습니다.
(3) 미국 연방 표준 (FS209A ~ B)은 모든 출입구와 출구가 닫히면 깨끗한 방과 인접한 낮은 청결 영역 사이의 최소 양압 차이가 0.05 인치의 물 기둥 (12.5PA)임을 규정합니다. 이 가치는 많은 국가에서 채택되었습니다. 그러나 깨끗한 방의 양압 값은 높을수록 더 좋지 않습니다. 30 년 이상 우리 장치의 실제 엔지니어링 테스트에 따르면, 양압 값이 30pa 이상인 경우 문을 열기가 어렵습니다. 당신이 문을 부주의하게 닫으면, 그것은 강타가 될 것입니다! 사람들을 놀라게 할 것입니다. 양압 값이 ≥ 50 ~ 70pa 인 경우, 문과 창문 사이의 간격은 휘파람을 불러 일으키고 약하거나 부적절한 증상이있는 사람들은 불편 함을 느낄 것입니다. 그러나 국내외에있는 많은 국가의 관련 사양 또는 표준은 양압의 상한을 명시하지 않습니다. 결과적으로, 많은 유닛은 상한의 양에 관계없이 하한의 요구 사항 만 충족하려고합니다. 저자가 직면 한 실제 깨끗한 실내에서, 양압 값은 100pa 이상 높아서 매우 나쁜 영향을 미칩니다. 실제로, 양압을 조정하는 것은 어렵지 않습니다. 특정 범위 내에서 제어 할 수 있습니다. 동유럽의 특정 국가가 양압 값을 1-3mm H20 (약 10 ~ 30pa)으로 규정하고 있다는 문서가있었습니다. 저자는이 범위가 더 적절하다고 생각합니다.
후 시간 : 2 월 13 일