클린룸에서 화재 방지 설비는 매우 중요한 부분입니다. 그 중요성은 단순히 고가의 공정 장비와 건설 프로젝트 때문만이 아니라, 클린룸이 비교적 밀폐된 건물이고, 심지어 창문조차 없는 작업장인 경우도 있기 때문입니다. 클린룸 통로는 좁고 구불구불하여 인원 대피 및 화재 교육이 어렵습니다. 인명과 재산의 안전을 확보하기 위해 설계 단계에서 "예방 우선, 예방과 화재 진압 병행"이라는 화재 방지 방침을 반드시 적용해야 합니다. 클린룸 설계 시 효과적인 화재 예방 조치를 취하는 것 외에도, 필요한 소방 설비를 추가로 설치해야 합니다. 클린룸의 생산 특성은 다음과 같습니다.
(1) 정밀 장비 및 기기가 많고 다양한 가연성, 폭발성, 부식성 및 독성 가스 및 액체가 사용됩니다. 일부 생산 부품의 화재 위험은 C 범주(예: 산화 확산, 포토리소그래피, 이온 주입, 인쇄 및 포장 등)에 속하고 일부는 A 범주(예: 단결정 인발, 에피택시, 화학 기상 증착 등)에 속합니다.
(2) 클린룸은 밀폐성이 매우 높습니다. 화재가 발생하면 인원을 대피시키고 화재를 진압하기가 어렵습니다.
(3) 클린룸의 건설비용이 높고 장비와 기기도 비싸다. 화재가 발생하면 경제적 손실이 막대하다.
위와 같은 특성으로 인해 클린룸은 화재 방지에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 화재 방지 및 급수 시스템 외에도 고정식 소화 장치를 설치해야 하며, 특히 클린룸 내 고가의 장비 및 기기에 대해서는 더욱 세심한 고려가 필요합니다.
게시 시간: 2024년 4월 11일