방화 시설은 클린룸의 중요한 부분입니다. 공정 장비 및 건설 프로젝트 비용이 높을 뿐만 아니라, 클린룸은 비교적 폐쇄적인 건물이며, 일부는 창문이 없는 작업장이기도 하기 때문에 방화 시설의 중요성이 더욱 커집니다. 클린룸 통로는 좁고 구불구불하여 직원 대피 및 화재 진압에 어려움을 겪습니다. 인명과 재산의 안전을 보장하기 위해 "예방 우선, 방화와 화재의 조화"라는 방화 정책을 설계에 반영해야 합니다. 클린룸 설계 시 효과적인 방화 조치를 취하는 것 외에도, 필요한 소방 시설도 설치해야 합니다. 클린룸의 생산 특징은 다음과 같습니다.
(1) 정밀 장비 및 계측기가 많고, 다양한 가연성, 폭발성, 부식성, 독성 가스 및 액체가 사용됩니다. 일부 생산 부품의 화재 위험은 C등급(산화 확산, 포토리소그래피, 이온 주입, 인쇄 및 포장 등)에 속하며, 일부는 A등급(단결정 인상, 에피택시, 화학 기상 증착 등)에 속합니다.
(2) 클린룸은 기밀성이 매우 높아 화재 발생 시 인원 대피 및 진화가 어렵습니다.
(3) 클린룸의 건설비용이 높고 장비 및 기구가 고가이므로 화재 발생 시 경제적 손실이 막대하다.
위의 특성에 따라 클린룸은 방화에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 방화 및 급수 시스템 외에도 고정식 소화 장치를 설치해야 하며, 특히 클린룸 내 고가 장비 및 계측기는 신중하게 선정해야 합니다.
게시 시간: 2024년 4월 11일