방화시설은 클린룸의 중요한 부분입니다. 그 중요성은 공정 장비와 건설 프로젝트가 비싸기 때문일 뿐만 아니라 클린룸은 상대적으로 폐쇄된 건물이고 일부는 창문이 없는 작업장이기도 하기 때문입니다. 클린룸 통로는 좁고 구불구불하여 직원 대피 및 화재 교육이 어렵습니다. 국민의 생명과 재산의 안전을 보장하기 위해 “예방 우선, 예방과 화재를 결합한” 화재 예방 정책을 설계에 구현해야 합니다. 클린룸 설계에 있어 효과적인 화재 예방 조치를 취하는 것 외에도 필요한 소방 시설도 설치됩니다. 클린룸의 생산 특성은 다음과 같습니다.
(1) 정밀기기 및 기구가 많고, 인화성, 폭발성, 부식성, 유독성 가스 및 액체가 다양하게 사용된다. 일부 생산 부품의 화재 위험은 카테고리 C(예: 산화 확산, 포토리소그래피, 이온 주입, 인쇄 및 포장 등)에 속하고 일부는 카테고리 A(예: 단결정 풀링, 에피택시, 화학 기상 증착 등)에 속합니다. .).
(2) 클린룸은 기밀성이 뛰어납니다. 일단 화재가 발생하면 인원을 대피시키고 불을 끄는 것이 어려울 것입니다.
(3) 클린룸의 건설 비용이 높고 장비 및 기구가 고가이다. 화재가 나면 경제적 손실은 엄청날 것이다.
위의 특성을 바탕으로 클린룸은 화재 방지에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 화재 예방 및 급수 시스템 외에도 고정식 소화 장치도 설치해야 하며, 특히 클린룸의 귀중한 장비 및 기구를 신중하게 결정해야 합니다.
게시 시간: 2024년 4월 11일