클린룸의 적정 공급 공기량은 고정된 값이 아니라 청정도, 면적, 높이, 인원수, 클린워크장의 공정 요구사항 등 여러 요인에 따라 달라집니다. 다음은 이러한 다양한 요인을 종합적으로 고려한 일반적인 지침입니다.
1. 청결도
청정도 등급에 따른 공기 교환 횟수 결정: 클린룸의 공기 교환 횟수는 공급 공기량을 결정하는 핵심 요소 중 하나입니다. 관련 규정에 따르면 청정도 등급이 다른 클린룸은 시간당 최소 50회, 10000등급 클린룸은 시간당 최소 25회, 100000등급 클린룸은 시간당 최소 15회 이상의 공기 교환이 요구됩니다. 이러한 공기 교환 횟수는 고정된 요구 사항이며, 실제 설계 시에는 클린워크장의 청정도를 유지하기 위해 약간의 여유를 둘 수 있습니다.
ISO 14644 표준: 이 표준은 국제적으로 널리 사용되는 클린룸 공기량 및 풍속 표준 중 하나입니다. ISO 14644 표준에 따르면, 클린룸 등급별로 공기량 및 풍속에 대한 요구 사항이 다릅니다. 예를 들어, ISO 5 클린룸은 0.3~0.5m/s의 풍속을 요구하는 반면, ISO 7 클린룸은 0.14~0.2m/s의 풍속을 요구합니다. 이러한 풍속 요구 사항이 공급 공기량과 완전히 일치하는 것은 아니지만, 공급 공기량을 결정하는 데 중요한 참고 자료가 됩니다.
2. 작업장 면적 및 높이
청정 작업장의 부피를 계산합니다. 공급 공기량을 계산할 때는 작업장의 면적과 높이를 고려하여 전체 부피를 구해야 합니다. 공식 V = 길이*너비*높이를 사용하여 작업장의 부피를 계산합니다(V는 세제곱미터 단위).
공기 공급량과 공기 교환 횟수를 조합하여 계산합니다. 작업장 부피와 필요한 공기 교환 횟수를 기준으로, 공식 Q = V*n을 사용하여 공급 공기량을 계산합니다(Q는 시간당 세제곱미터 단위의 공급 공기량이고, n은 공기 교환 횟수입니다).
3. 인력 및 프로세스 요구사항
인원별 신선 공기량 요구량: 클린룸 내 인원수에 따라 1인당 필요한 신선 공기량(일반적으로 1인당 시간당 40m³)을 계산하여 총 신선 공기량을 산출합니다. 이 신선 공기량은 작업장 부피와 공기 교환 횟수를 기준으로 계산된 공급 공기량에 더해야 합니다.
공정 배기량 보상: 클린룸 내에 배기가 필요한 공정 장비가 있는 경우, 클린워크장의 공기 균형을 유지하기 위해 해당 장비의 배기량에 따라 공급 공기량을 보상해야 합니다.
4. 공급 공기량의 종합적인 결정
다양한 요소를 종합적으로 고려해야 합니다. 클린룸의 공급 공기량을 결정할 때는 위의 모든 요소를 종합적으로 고려해야 합니다. 각 요소 간에는 상호 영향 및 제약 조건이 있을 수 있으므로, 종합적인 분석과 절충이 필요합니다.
공간 확보: 클린룸의 청결도와 운영 안정성을 보장하기 위해 실제 설계에서는 일정량의 공기량 여유를 두는 경우가 많습니다. 이는 비상 상황이나 공정 변경으로 인해 공급 공기량이 변동될 경우 어느 정도 대처할 수 있도록 하기 위함입니다.
요약하자면, 클린룸의 공급 공기량은 고정된 적정값이 있는 것이 아니라, 클린워크장의 구체적인 상황을 종합적으로 고려하여 결정해야 합니다. 실제 운영 시에는 공급 공기량의 합리성과 효율성을 확보하기 위해 전문 클린룸 엔지니어링 회사와 상담하는 것이 좋습니다.
게시 시간: 2025년 7월 7일