1. 클린룸 내에는 제품 생산 공정 요구사항과 화학물질의 물리적 및 화학적 특성에 따라 다양한 유형의 화학물질 저장 및 분배실을 설치해야 합니다. 필요한 화학물질은 파이프라인을 이용하여 생산 설비로 공급해야 합니다. 클린룸 내 화학물질 저장 및 분배실은 일반적으로 보조 생산 구역, 단층 또는 다층 건물의 1층 외벽 부근에 위치합니다. 화학물질은 물리적 및 화학적 특성에 따라 분리하여 보관해야 합니다. 상호 비호환성 화학물질은 칸막이로 분리된 별도의 화학물질 저장 및 분배실에 보관해야 합니다. 위험 화학물질은 인접한 방 사이의 내화 등급이 최소 2시간 이상인 별도의 저장 또는 분배실에 보관해야 합니다. 이러한 방은 생산 건물 1층 외벽 부근에 위치해야 합니다.
2. 전자 산업의 클린룸에는 산과 알칼리, 그리고 가연성 용제를 위한 저장 및 분배실이 있는 경우가 많습니다. 산 저장 및 분배실에는 일반적으로 황산, 인산, 불산, 염산의 저장 및 분배 시스템이 있습니다. 알칼리 저장 및 분배실에는 일반적으로 수산화나트륨, 수산화물 케이크, 수산화암모늄, 테트라메틸암모늄 수산화물의 저장 및 분배 시스템이 있습니다. 가연성 용제 저장 및 분배실에는 일반적으로 이소프로필 알코올(IPA)과 같은 유기 용제의 저장 및 분배 시스템이 있습니다. 집적회로 웨이퍼 제조 공장의 클린룸에는 연마 슬러리 저장 및 분배실도 있습니다. 화학물질 저장 및 분배실은 일반적으로 클린 생산 구역 근처 또는 인접한 보조 생산 또는 지원 구역에 위치하며, 대개 1층에 있고 실외로 직접 연결됩니다.
3. 화학물질 저장 및 유통실에는 제품 생산에 필요한 화학물질의 종류, 수량 및 사용 특성에 따라 다양한 용량의 저장 드럼 또는 탱크가 비치되어 있어야 합니다. 표준 및 규정에 따라 화학물질은 분리하여 분류하여 보관해야 합니다. 사용되는 드럼 또는 탱크의 용량은 해당 화학물질의 7일 사용량에 충분해야 합니다. 또한, 제품 생산에 필요한 24시간 사용량을 충족할 수 있는 일일 사용량 드럼 또는 탱크도 비치해야 합니다. 가연성 용제 및 산화성 화학물질의 저장 및 유통실은 인접한 공간과 3.0시간 내화 등급의 내화벽으로 분리되어야 합니다. 다층 건물의 1층에 위치할 경우, 최소 1.5시간 내화 등급의 불연성 바닥재로 다른 구역과 분리해야 합니다. 클린룸 내 화학물질 안전 및 모니터링 시스템의 중앙 제어실은 별도의 공간에 설치해야 합니다.
4. 클린룸 내 화학물질 저장 및 분배실의 높이는 장비 및 배관 배치 요구사항을 고려하여 결정해야 하며, 일반적으로 4.5미터 이상이어야 합니다. 클린룸의 보조 생산 구역 내에 위치하는 경우, 화학물질 저장 및 분배실의 높이는 건물 높이와 일치해야 합니다.
게시 시간: 2025년 8월 1일