1. 클린룸 내에는 제품 생산 공정 요건과 화학물질의 물리적 및 화학적 특성에 따라 다양한 유형의 화학물질 저장 및 분배실을 설치해야 합니다. 필요한 화학물질을 생산 장비에 공급하기 위해 파이프라인을 사용해야 합니다. 클린룸 내 화학물질 저장 및 분배실은 일반적으로 보조 생산 구역, 즉 단층 또는 다층 건물의 1층 외벽 근처에 위치합니다. 화학물질은 물리적 및 화학적 특성에 따라 별도로 보관해야 합니다. 혼합 금지 화학물질은 견고한 칸막이로 분리된 별도의 화학물질 저장 및 분배실에 보관해야 합니다. 유해 화학물질은 인접한 방 사이의 내화 등급이 최소 2.0시간인 별도의 저장실 또는 분배실에 보관해야 합니다. 이러한 저장실 또는 분배실은 생산 건물 1층 외벽 근처에 위치해야 합니다.
2. 전자 산업의 클린룸에는 산과 알칼리, 그리고 가연성 용매를 보관하는 저장실과 분배실이 있는 경우가 많습니다. 산 보관실과 분배실에는 일반적으로 황산, 인산, 불산, 염산을 보관하는 저장실과 분배 시스템이 있습니다. 알칼리 보관실과 분배실에는 일반적으로 수산화나트륨, 수산화 케이크, 수산화암모늄, 테트라메틸암모늄 수산화물을 보관하는 저장실과 분배 시스템이 있습니다. 가연성 용매 보관실과 분배실에는 일반적으로 이소프로필 알코올(IPA)과 같은 유기 용매를 보관하는 저장실과 분배 시스템이 있습니다. 집적 회로 웨이퍼 제조 공장의 클린룸에는 연마 슬러리 보관실과 분배실도 있습니다. 화학 물질 보관실과 분배실은 일반적으로 클린 생산 구역 근처 또는 인접한 보조 생산 또는 지원 구역, 일반적으로 1층에 위치하며 외부와 직접 연결됩니다.
3. 화학물질 저장 및 유통실에는 제품 생산에 필요한 화학물질의 종류, 수량 및 사용 특성에 따라 다양한 용량의 저장통 또는 탱크가 설치됩니다. 화학물질은 표준 및 규정에 따라 별도로 보관하고 분류해야 합니다. 사용되는 통 또는 탱크의 용량은 해당 화학물질을 7일 동안 사용하기에 충분해야 합니다. 또한, 제품 생산에 필요한 화학물질의 24시간 사용을 충당할 수 있는 용량의 일일 통 또는 탱크도 제공해야 합니다. 가연성 용매 및 산화성 화학물질의 저장 및 유통실은 내화등급 3.0시간의 견고한 내화벽으로 인접실과 분리되어야 합니다. 다층 건물의 1층에 위치하는 경우, 내화등급 1.5시간 이상의 불연성 바닥으로 다른 구역과 분리되어야 합니다. 클린룸 내 화학물질 안전 및 모니터링 시스템의 중앙 제어실은 별도의 공간에 위치해야 합니다.
4. 클린룸 내 화학물질 저장 및 분배실의 높이는 장비 및 배관 배치 요건을 고려하여 결정해야 하며, 일반적으로 4.5m 이상이어야 합니다. 클린룸의 보조 생산 구역 내에 위치하는 경우, 화학물질 저장 및 분배실의 높이는 건물 높이와 일치해야 합니다.
게시 시간: 2025년 8월 1일