클린룸에서 차압 공기량을 어떻게 제어합니까?

차압 풍량 제어는 클린룸의 청결을 유지하고 오염 확산을 방지하는 데 매우 중요합니다. 차압 풍량을 제어하는 ​​명확한 단계와 방법은 다음과 같습니다.

1. 압력차 공기량 제어의 기본 목적

압력차 풍량 제어의 주요 목적은 클린룸과 주변 공간 사이에 일정한 정압 차이를 유지하여 클린룸의 청결을 보장하고 오염물질의 확산을 방지하는 것입니다.

2. 압력차 공기량 제어 전략

(1) 압력차 요구조건 결정

클린룸의 설계 사양 및 생산 공정 요건에 따라 클린룸과 주변 공간 사이의 압력 차이가 양압인지 음압인지 결정해야 합니다. 등급이 다른 클린룸 간, 그리고 클린 구역과 비클린 구역 간의 압력 차이는 5Pa 이상, 클린 구역과 실외 간의 압력 차이는 10Pa 이상이어야 합니다.

(2) 차압 공기량 계산

누출 공기량은 실내 공기 교환 횟수를 추정하거나 틈새법을 통해 계산할 수 있습니다. 틈새법은 더 합리적이고 정확하며, 밀폐 구조의 기밀성과 틈새 면적을 고려합니다.

계산식: LC = µP × AP × ΔP × ρ 또는 LC = α × q × l, 여기서 LC는 클린룸의 압력차 값을 유지하는 데 필요한 압력차 공기량, µP는 유량계수, AP는 틈새 면적, ΔP는 정압차, ρ는 공기 밀도, α는 안전계수, q는 틈새의 단위 길이당 누출 공기량, l은 틈새 길이입니다.

채택된 제어 방법:

① 정풍량 제어 방식(CAV): 먼저 공조 시스템의 기준 운전 주파수를 결정하여 공급 풍량이 설계 풍량과 일치하는지 확인합니다. 신선 공기 비율을 결정하고 설계값으로 조정합니다. 청정실의 환풍 댐퍼 각도를 조정하여 복도 압력 차이가 적정 범위 내에 있는지 확인합니다. 이 값을 다른 실의 압력 차이 조정 기준점으로 사용합니다.

② 가변 풍량 제어 방식(VAV): 전기식 에어 댐퍼를 통해 공급 풍량 또는 배기 풍량을 연속적으로 조절하여 원하는 압력을 유지합니다. 순수 차압 제어 방식(OP)은 차압 센서를 사용하여 실내와 기준 면적의 압력 차이를 측정하고, 이를 설정값과 비교하여 PID 조절 알고리즘을 통해 공급 풍량 또는 배기 풍량을 제어합니다.

시스템 시운전 및 유지관리:

시스템 설치 후, 차압 공기량이 설계 요건을 충족하는지 확인하기 위해 공기 밸런스 시운전을 수행합니다. 안정적인 시스템 성능을 보장하기 위해 필터, 팬, 공기 댐퍼 등을 포함한 시스템을 정기적으로 점검하고 유지 관리하십시오.

3. 요약

차압 풍량 제어는 클린룸 설계 및 관리의 핵심 요소입니다. 차압 요구량을 결정하고, 차압 풍량을 계산하고, 적절한 제어 방법을 채택하고, 시스템을 시운전 및 유지 관리함으로써 클린룸의 청결과 안전을 보장하고 오염 물질의 확산을 방지할 수 있습니다.