클린룸에서 차압 공기량을 제어하는 ​​방법은 무엇일까요?

클린룸의 청결을 유지하고 오염 확산을 방지하려면 차압 공기량 제어가 매우 중요합니다. 다음은 차압에 따른 공기량 제어를 위한 구체적인 단계와 방법입니다.

1. 압력차에 의한 공기량 조절의 기본 목적

압력차풍량 제어의 주된 목적은 클린룸과 주변 공간 사이에 일정한 정압차를 유지하여 클린룸의 청결도를 확보하고 오염물질의 확산을 방지하는 것입니다.

2. 압력차에 따른 공기량 조절 전략

(1) 압력차 요구사항을 결정하시오

클린룸의 설계 사양 및 생산 공정 요구 사항에 따라 클린룸과 주변 공간 사이의 압력 차이가 양압인지 음압인지 결정해야 합니다. 서로 다른 등급의 클린룸 간, 그리고 클린 영역과 비클린 영역 간의 압력 차이는 5Pa 이상이어야 하며, 클린 영역과 실외 간의 압력 차이는 10Pa 이상이어야 합니다.

(2) 공기량의 차압을 계산합니다.

누출 공기량은 실내 공기 교환 횟수를 추정하거나 틈새법을 이용하여 계산할 수 있다. 틈새법은 더욱 합리적이고 정확하며, 밀폐 구조물의 기밀성과 틈새 면적을 고려한다.

계산 공식: LC = µP × AP × ΔP × ρ 또는 LC = α × q × l, 여기서 LC는 클린룸의 압력차 값을 유지하는 데 필요한 압력차 공기량, µP는 유량 계수, AP는 틈새 면적, ΔP는 정압차, ρ는 공기 밀도, α는 안전 계수, q는 틈새 단위 길이당 누출 공기량, l은 틈새 길이입니다.

채택된 제어 방법:

① 정풍량 제어 방식(CAV): 먼저 공조 시스템의 기준 운전 주파수를 설정하여 공급 풍량이 설계 풍량과 일치하도록 합니다. 신선 공기 비율을 결정하고 설계값으로 조정합니다. 클린 복도의 환기 댐퍼 각도를 조정하여 복도 압력차가 적절한 범위 내에 있도록 하고, 이 값을 다른 방의 압력차 조정 기준으로 사용합니다.

② 가변 풍량 제어 방식(VAV): 전기식 공기 댐퍼를 통해 공급 풍량 또는 배기 풍량을 지속적으로 조절하여 원하는 압력을 유지합니다. 순수 차압 제어 방식(OP)은 차압 센서를 사용하여 실내와 기준 영역의 압력 차이를 측정하고 설정값과 비교하여 PID 조정 알고리즘을 통해 공급 풍량 또는 배기 풍량을 제어합니다.

시스템 시운전 및 유지보수:

시스템 설치 후, 차압 공기량이 설계 요구 사항을 충족하는지 확인하기 위해 공기 균형 시운전을 실시합니다. 필터, 팬, 공기 댐퍼 등을 포함한 시스템을 정기적으로 점검하고 유지 관리하여 안정적인 시스템 성능을 유지해야 합니다.

3. 요약

차압 풍량 제어는 클린룸 설계 및 관리에 있어 핵심적인 요소입니다. 필요한 차압을 파악하고, 차압 풍량을 계산하며, 적절한 제어 방식을 채택하고, 시스템을 시운전 및 유지보수함으로써 클린룸의 청결과 안전을 확보하고 오염물질 확산을 방지할 수 있습니다.