헤파 필터 및 설치 과정에 결함이 있는 경우(예: 필터 자체에 작은 구멍이 생기거나 헐거운 설치로 인한 미세 균열 발생) 의도한 정화 효과를 얻을 수 없습니다. 따라서 헤파 필터를 설치 또는 교체한 후에는 필터 및 설치 연결 부위에 대한 누출 검사를 반드시 실시해야 합니다.
1. 누출 탐지의 목적 및 범위:
검출 목적: HEPA 필터의 누출을 테스트하여 HEPA 필터의 결함과 설치상의 결함을 찾아내고, 이를 개선하기 위한 조치를 취합니다.
감지 범위: 청정 구역, 층류 작업대 및 장비의 HEPA 필터 등
2. 누출 감지 방법:
가장 일반적으로 사용되는 누출 감지 방법은 DOP(분진원) 방식입니다(즉, DOP 용매를 분진원으로 사용하고 에어로졸 광도계를 사용하여 누출을 감지하는 방식). 먼지 입자 계수기 스캐닝 방식도 누출 감지에 사용할 수 있습니다(즉, 대기 먼지를 분진원으로 사용하고 입자 계수기를 사용하여 누출을 감지하는 방식).
그러나 입자 계수기 측정값은 누적 측정값이기 때문에 스캐닝에 적합하지 않고 검사 속도도 느립니다. 또한, 시험 대상 헤파 필터의 풍상 측에서는 대기 먼지 농도가 낮은 경우가 많아 누출을 쉽게 감지하기 위해 보조 연기가 필요합니다. 입자 계수기 방법은 누출 감지에 사용됩니다. DOP 방법은 이러한 단점을 보완할 수 있기 때문에 현재 DOP 방법이 누출 감지에 널리 사용되고 있습니다.
3. DOP 방식 누출 감지의 작동 원리:
DOP 에어로졸은 시험 중인 고효율 필터의 상풍 측에서 먼지원으로 방출됩니다(DOP는 디옥틸프탈레이트이고, 분자량은 390.57이며, 분무 후 입자는 구형입니다).
하풍 측 샘플링에는 에어로졸 광도계를 사용합니다. 수집된 공기 샘플은 광도계의 확산 챔버를 통과합니다. 분진 함유 가스가 광도계를 통과하면서 발생하는 산란광은 광전 효과와 선형 증폭을 통해 전기로 변환되고, 마이크로 전류계로 빠르게 표시되어 에어로졸의 상대 농도를 측정할 수 있습니다. DOP 테스트에서 실제로 측정하는 것은 헤파 필터의 투과율입니다.
DOP 발생기는 연기를 발생시키는 장치입니다. DOP 용매를 발생기 용기에 주입하면 일정 압력 또는 가열 조건에서 에어로졸 연기가 발생하여 고효율 필터의 상풍 측으로 보내집니다. (DOP 액체는 가열되어 DOP 증기를 형성하고, 이 증기는 특정 응축수에서 특정 조건 하에 가열되어 미세한 물방울로 변합니다. 이 물방울들은 크고 작으며, 약 0.3㎛ 크기의 입자만 남게 됩니다. 이렇게 생성된 안개 형태의 DOP는 공기 덕트로 유입됩니다.)
에어로졸 광도계(에어로졸 농도를 측정하고 표시하는 기기는 교정의 유효 기간을 표시해야 하며, 교정에 합격하고 유효 기간 내에 있는 경우에만 사용할 수 있음)
4. 누출 탐지 테스트 작업 절차:
(1) 누출 탐지 준비
누출 탐지에 필요한 장비를 준비하고, 검사 구역의 정화 및 공조 시스템의 공기 공급 덕트 평면도를 작성하고, 누출 탐지 당일 정화 및 공조 설비 업체에 현장에 와서 접착제 도포, HEPA 필터 교체 등의 작업을 실시하도록 통보합니다.
(2) 누출 탐지 작업
① 에어로졸 발생기 내부의 DOP 용매의 액위가 저액위보다 높은지 확인하여 부족한 경우 보충한다.
②질소병을 에어로졸 발생기에 연결하고, 에어로졸 발생기의 온도 스위치를 켜고, 붉은색 불빛이 녹색으로 바뀔 때까지 기다립니다. 이는 온도가 도달했음을 의미합니다(약 390~420℃).
③ 테스트 호스의 한쪽 끝을 에어로졸 광도계의 상류 농도 테스트 포트에 연결하고, 다른 쪽 끝을 테스트할 헤파 필터의 공기 유입구 쪽(상류 쪽)에 연결합니다. 광도계 스위치를 켜고 테스트 값을 "100"으로 조정합니다.
④질소 스위치를 켜고 압력을 0.05~0.15Mpa로 조절한 후, 에어로졸 발생기의 오일 밸브를 천천히 열고 광도계의 시험값을 10~20으로 조절한 후, 시험값이 안정되면 상류 측정 농도를 입력합니다. 이후 스캐닝 및 검사 작업을 수행합니다.
⑤ 시험 호스의 한쪽 끝을 에어로졸 광도계의 하류 농도 시험 포트에 연결하고, 다른 쪽 끝인 샘플링 헤드를 사용하여 필터의 공기 배출구 쪽과 브래킷을 스캔합니다. 샘플링 헤드와 필터 사이의 거리는 약 3~5cm이며, 필터 내부 프레임을 따라 앞뒤로 스캔합니다. 검사 속도는 5cm/s 미만입니다.
테스트 범위에는 필터 소재, 필터 소재와 프레임 간의 연결, 필터 프레임의 개스킷과 필터 그룹의 지지 프레임 간의 연결, 지지 프레임과 벽이나 천장 간의 연결을 검사하여 필터 매체의 작은 핀홀과 필터, 프레임 씰, 개스킷 씰, 필터 프레임의 누출을 검사합니다.
10000등급 이상의 청정구역에서 HEPA필터의 정기적인 누출 감지는 일반적으로 연 1회(멸균구역은 반기 1회) 실시하며, 청정구역의 일일 모니터링에서 먼지입자 수, 침전박테리아, 공기속도 등에 상당한 이상이 있는 경우에도 누출 감지를 실시해야 합니다.
게시 시간: 2023년 9월 7일