공기 흐름 구성 및 각종 배관 배치, 그리고 정화 공조 시스템의 공급 및 배출구, 조명 기구, 경보 감지기 등의 배치 요구 사항에 따라 클린룸은 일반적으로 상부 기술 메자닌, 하부 기술 메자닌, 기술 메자닌 또는 기술 샤프트에 설치됩니다.
기술용 메자닌
클린룸 내 전기 배관은 기술용 메자닌이나 터널에 설치해야 합니다. 저연성, 할로겐 프리 케이블을 사용해야 하며, 배관 통과용 도관은 불연성 재질로 제작해야 합니다. 클린 생산 구역의 전기 배관은 매립 설치해야 하며, 배관 개구부와 벽면에 설치된 각종 전기 장비 사이의 연결 부위는 확실한 밀봉 조치를 취해야 합니다. 클린룸의 상부 전력 분배 방식은 저전압 송배전선로의 경우 일반적으로 두 가지 방식을 채택합니다. 하나는 케이블 브리지를 배전반에 연결하고 배전반에서 전기 장비로 연결하는 방식이고, 다른 하나는 밀폐형 버스 덕트와 플러그인 박스(미사용 시 잭 차단)를 사용하여 플러그인 박스에서 생산 설비 또는 생산 라인의 전기 제어 박스로 연결하는 방식입니다. 후자의 전력 분배 방식은 청정도 요구 사항이 낮은 전자, 통신, 전기 장비 및 완제품 기계 공장에서만 사용됩니다. 이 방식은 생산 제품 변경, 생산 라인 업데이트 및 변경, 생산 설비의 교대 근무, 추가 및 제거 등에 매우 편리합니다. 작업장의 배전 설비나 배선을 변경할 필요가 없습니다. 버스바 플러그인 박스를 옮기거나 예비 플러그인 박스를 사용하여 전원 케이블을 빼내기만 하면 됩니다.
메자닌 배선
클린룸 내 기술용 메자닌 배선: 클린룸 위에 기술용 메자닌이 있거나 클린룸 위에 천장 마감재가 설치된 경우에 사용해야 합니다. 천장 마감재는 철근 콘크리트 샌드위치 구조와 금속 벽 패널과 같은 구조 형태로 나눌 수 있습니다. 금속 벽 패널과 천장 마감재는 클린룸에서 일반적으로 사용됩니다.
밀봉 처리
클린룸 기술 메자닌의 배선 방식은 앞서 언급한 전력 분배 방식과 크게 다르지 않지만, 전선과 케이블 배관이 천장을 통과할 때는 천장의 먼지와 세균이 클린룸 내부로 유입되는 것을 방지하고 클린룸의 양압(음압)을 유지하기 위해 반드시 밀폐해야 한다는 점을 강조해야 합니다. 상부 기술 메자닌만 있는 비단방향 흐름 클린룸의 경우, 상부 메자닌에는 일반적으로 공조 환기 덕트, 가스 공급 덕트, 급수 덕트, 전기 및 통신 강전류 및 약전류 배관, 브리지, 모선 등이 복잡하게 얽혀 있어 매우 복잡한 구조를 갖습니다. 따라서 설계 단계에서 종합적인 계획 수립과 함께 배관 배치에 대한 "교통 규칙"을 정립하고, 시공 및 유지보수를 용이하게 하기 위해 배관의 단면도를 종합적으로 작성해야 합니다. 일반적으로 강전류 케이블 트레이는 공조 덕트를 피해야 하며, 다른 배관은 밀폐된 모선을 피해야 합니다. 클린룸 천장의 메자닌 높이가 높은 경우(예: 2m 이상)에는 천장에 조명 및 유지보수용 소켓을 설치해야 하며, 규정에 따라 화재 경보기도 설치해야 합니다.
상부 및 하부 기술 메자닌
클린룸 하부 기술 메자닌의 배선: 최근 대규모 집적 회로 칩 제조 및 LCD 패널 제조용 클린룸은 일반적으로 다층 구조의 클린룸을 사용하며, 상부 기술 메자닌은 클린 생산층의 상하부에 설치되고, 하부 기술 메자닌의 바닥 높이는 4m 이상입니다.
리턴 에어 플레넘
하부 기술 메자닌은 일반적으로 정화된 공기 조절 시스템의 환기 플레넘으로 사용됩니다. 설계 요구 사항에 따라 환기 플레넘 내부에 전기 배관, 케이블 트레이 및 밀폐형 모선 등을 설치할 수 있습니다. 저전압 전력 분배 방식은 환기 플레넘이 클린룸 시스템의 필수적인 부분이라는 점을 제외하면 기존 방식과 크게 다르지 않습니다. 정적 플레넘에 설치되는 배관, 케이블 및 모선은 설치 및 배치 전에 미리 세척하여 일상적인 청소가 용이하도록 해야 합니다. 저기술 메자닌 전기 배선 방식은 클린룸 내 전기 장비에 전력을 공급합니다. 전력 전송 거리가 짧고 클린룸 내에 노출된 배관이 거의 없거나 전혀 없으므로 청정도 향상에 유리합니다.
터널형 클린룸
다층 클린룸의 하부 메자닌과 상하층의 전기 배선은 터널형 클린룸 또는 기술 통로와 기술 샤프트가 있는 클린워크하우스와 같은 클린워크하우스 내에 설치됩니다. 터널형 클린룸은 클린 생산 구역과 보조 장비 구역으로 구성되어 있으며, 진공 펌프, 제어 박스(캐비닛), 공용 전원 배관, 전기 배관, 케이블 트레이, 밀폐형 버스바 및 배전 박스(캐비닛)와 같은 대부분의 보조 장비가 보조 장비 구역에 위치합니다. 따라서 보조 장비는 클린 생산 구역의 전기 장비에 전원선과 제어선을 더욱 쉽게 연결할 수 있습니다.
기술 샤프트
클린룸에 기술 통로 또는 기술 수직갱이 설치된 경우, 생산 공정 배치에 따라 전기 배선을 해당 기술 통로 또는 수직갱에 배치할 수 있지만, 설치 및 유지보수를 위한 충분한 공간을 확보해야 합니다. 동일한 기술 통로 또는 수직갱 내에 위치한 다른 배관 및 부속품의 배치, 설치 및 유지보수 공간 또한 종합적으로 고려해야 합니다. 따라서 전체적인 계획과 포괄적인 조율이 필수적입니다.
게시 시간: 2023년 11월 1일