클린룸에 전기 파이프라인을 설치하는 방법은?

공기 흐름의 조직 및 각종 파이프라인의 배치, 정화 공조 시스템 공급 및 회수 공기 배출구, 조명 설비, 경보 감지기 등의 배치 요구 사항에 따라 클린룸은 일반적으로 상부 기술 중이층, 하부 기술 중이층, 기술 중이층 또는 기술 샤프트에 설치됩니다.

기술 메자닌

클린룸의 전기 배관은 기술 구역의 중이층이나 터널에 설치해야 합니다. 저연성, 무할로겐 케이블을 사용해야 합니다. 나사산 배관은 불연성 재질로 제작해야 합니다. 청정 생산 구역의 전기 배관은 매립해야 하며, 벽면에 설치된 각종 전기 설비와 배관 개구부 사이의 연결 부위는 확실한 밀봉 조치를 취해야 합니다. 클린룸의 상부 배전 방식: 저전압 송배전선은 일반적으로 두 가지 방식을 사용합니다. 케이블 브리지를 배전함에 설치하고 배전함을 전기 설비에 연결하는 방식과, 폐쇄형 버스 덕트(미사용 시에는 잭을 차단)를 통해 플러그인 박스에서 생산 장비 또는 생산 라인의 전기 제어함까지 연결하는 방식입니다. 후자의 배전 방식은 청정도 요건이 낮은 전자, 통신, 전기 설비 및 완제품 기계 공장에서만 사용됩니다. 생산 제품의 변경, 생산 라인의 업데이트 및 변경, 생산 장비의 이동, 증감 등을 가능하게 하며, 매우 편리합니다. 작업장 내 배전 장비와 전선을 수정할 필요가 없습니다. 버스바 플러그인 박스만 옮기거나 예비 플러그인 박스를 사용하여 전원 케이블을 연결하기만 하면 됩니다.

메자닌 배선

클린룸의 기술 메자닌 배선: 클린룸 상부에 기술 메자닌이 있거나 클린룸 상부에 매달린 천장이 있는 경우 사용해야 합니다. 매달린 천장은 철근 콘크리트 샌드위치 패널과 금속 벽 패널과 같은 구조 형태로 나눌 수 있습니다. 클린룸에서는 금속 벽 패널과 매달린 천장이 일반적으로 사용됩니다.

실링 처리

클린룸 내 기술 메자닌의 배선 방식은 앞서 언급한 배전 방식과 크게 다르지 않지만, 천장을 통과하는 전선과 케이블 배관은 천장의 먼지와 박테리아가 클린룸 내부로 유입되는 것을 방지하고 클린룸의 양압(음압)을 유지하기 위해 밀봉해야 한다는 점을 강조해야 합니다. 상부 기술 메자닌만 있는 비단방향 유동 클린룸의 상부 메자닌에는 일반적으로 공조 환기 덕트, 가스 전력 덕트, 급수 덕트, 전기 및 통신 강약관, 교량, 모선 등이 설치되며, 이러한 덕트는 종종 교차 배치됩니다. 매우 복잡합니다. 설계 시 종합적인 계획이 필요하며, "교통 규칙"을 수립하고, 배관의 종합적인 단면도를 작성하여 시공 및 유지 보수를 용이하게 하기 위해 다양한 배관을 체계적으로 배치해야 합니다. 일반적인 상황에서 강류 케이블 트레이는 공조 덕트를 피해야 하며, 다른 배관은 폐쇄형 모선은 피해야 합니다. 청정실 천장의 중이층이 높은 경우(예: 2m 이상)에는 천장에 조명 및 유지보수용 소켓을 설치해야 하며, 화재 경보 감지기도 규정에 따라 설치해야 합니다.

상하부 기술 메자닌

클린룸 하부 기술 메자닌의 배선: 최근 몇 년 동안, 대규모 집적회로 칩 제조 및 LCD 패널 제조를 위한 클린룸은 일반적으로 다층 레이아웃의 다층 클린룸을 사용하고 있으며, 상부 기술 메자닌은 클린 생산층의 상단과 하단에 설치되고, 하부 기술 메자닌의 바닥 높이는 4.0m 이상입니다.

리턴 에어 플레넘

저기술 메자닌은 일반적으로 정화된 공기 조절 시스템의 환기 플레넘으로 사용됩니다. 엔지니어링 설계 요건에 따라 환기 플레넘에 전기 파이프라인, 케이블 트레이, 폐쇄형 모선(busbar)을 설치할 수 있습니다. 저전압 배전 방식은 환기 플레넘이 클린룸 시스템의 필수 구성 요소라는 점을 제외하면 이전 방식과 크게 다르지 않습니다. 정적 플레넘에 설치된 파이프라인, 케이블, 모선은 설치 및 설치 전에 미리 세척해야 일상적인 청소가 용이합니다. 저기술 메자닌 전기 배선 방식은 클린룸 내 전기 장비에 전력을 전달합니다. 전송 거리가 짧고, 클린룸 내 노출된 파이프라인이 거의 없거나 전혀 없어 청정도 향상에 도움이 됩니다.

터널형 클린룸

클린룸의 하부 메자닌과 다층 클린룸의 상하층 전기 배선은 터널형 클린룸 또는 기술 통로와 기술 샤프트가 있는 클린 작업장에 설치됩니다. 터널형 클린룸은 클린 생산 구역과 보조 장비 구역으로 구성되어 있으며, 진공 펌프, 제어함(캐비닛), 공용 전력선, 전기 배관, 케이블 트레이, 폐쇄형 모선, 분전함(캐비닛) 등 대부분의 보조 장비가 보조 장비 구역에 위치합니다. 보조 장비는 클린 생산 구역의 전기 장비에 전력선과 제어선을 더욱 쉽게 연결할 수 있습니다.

기술 샤프트

클린룸에 기술 통로 또는 기술 샤프트가 설치된 경우, 생산 공정 레이아웃에 따라 전기 배선을 해당 기술 통로 또는 기술 샤프트에 배치할 수 있지만, 설치 및 유지보수에 필요한 공간을 확보하는 데 유의해야 합니다. 동일한 기술 터널 또는 샤프트에 위치한 다른 파이프라인 및 그 부속품의 레이아웃, 설치 및 유지보수 공간도 충분히 고려해야 합니다. 전반적인 계획과 포괄적인 조정이 이루어져야 합니다.