클린룸 환경과 밀접한 관련이 있는 고정 장비는 주로 클린룸 생산 공정 장비와 청정도 요건을 충족하는 정화 공조 시스템 장비입니다. 클린룸 정화 공조 시스템 장비의 운영 공정에 대한 유지 관리는 국내에서 이루어지고 있으며, 국내외 관련 표준 및 규격은 유사한 규정을 가지고 있습니다. 여러 국가 또는 지역의 조건, 적용 시기, 법률 및 규정, 심지어 사고방식과 개념의 차이까지 있지만, 유사성은 여전히 비교적 높습니다.
1. 일반적인 상황에서: 클린룸의 청정도는 지정된 시험 기간을 충족하기 위해 공기 중 먼지 입자 한계와 일치해야 합니다. ISO 5 이상인 클린룸(구역)은 6개월을 초과할 수 없으며, GB 50073에 따라 공기 중 먼지 입자 한계에 대한 ISO 6~9 모니터링 빈도는 12개월을 초과할 수 없습니다. 청정도 ISO 1~3은 주기적 모니터링, ISO 4~6은 주 1회, ISO 7은 3개월에 한 번, ISO 8과 9는 6개월에 한 번 모니터링합니다.
2. 클린룸(면적)의 공기 공급량 또는 풍속 및 압력차는 지정된 시험 기간(각 청정도 수준에 대해 12개월)을 지속적으로 충족함을 입증합니다. GB 50073은 클린룸의 온도와 습도를 정기적으로 모니터링하도록 요구합니다. 청정도 ISO 1~3은 주기적 모니터링이며, 다른 등급은 교대 근무 시 2회입니다. 클린룸 압력차 모니터링 빈도는 청정도 ISO 1~3은 주기적 모니터링이며, ISO 4~6은 주 1회, ISO 7~9는 월 1회입니다.
3. 공기 정화 시스템의 HEPA 필터 교체 요건도 있습니다. 다음과 같은 경우 HEPA 필터는 교체해야 합니다. 1차 및 2차 필터를 교체한 후에도 공기 흐름 속도가 상대적으로 낮아지거나, HEPA 필터의 저항이 초기 저항의 1.5~2배에 달하는 경우, HEPA 필터에 수리가 불가능한 누출이 있는 경우.
4. 고정 장비의 유지보수 및 수리 프로세스와 방법은 청정실 환경의 오염 가능성을 최소화하고 관리해야 합니다. 청정실 관리 규정에는 청정실 환경의 오염을 통제하기 위한 장비 유지보수 및 수리 절차가 문서화되어야 하며, 장비 구성품이 "오염원"이 되기 전에 유지보수 또는 교체할 수 있도록 예방 유지보수 작업 계획을 수립해야 합니다.
5. 고정 장비는 유지관리를 하지 않으면 시간이 지남에 따라 마모되거나 더러워지거나 오염 물질을 배출합니다. 예방적 유지관리는 장비가 오염원이 되지 않도록 보장합니다. 장비를 유지관리하고 수리할 때는 클린룸의 오염을 방지하기 위해 필요한 보호/방호 조치를 취해야 합니다.
6. 양호한 유지관리에는 외부 표면의 오염제거가 포함되어야 합니다. 제품 생산 공정에서 필요한 경우 내부 표면도 오염제거해야 합니다. 장비가 작동 상태여야 할 뿐만 아니라 내부 및 외부 표면의 오염을 제거하는 단계도 공정 요구 사항과 일치해야 합니다. 고정 장비의 유지관리 중 발생하는 오염을 제어하는 주요 조치는 다음과 같습니다. 수리가 필요한 장비는 오염 가능성을 줄이기 위해 수리 전에 가능한 한 해당 구역 밖으로 이동해야 합니다. 필요한 경우 고정 장비를 주변 클린룸에서 적절히 격리해야 합니다. 그 후 주요 수리 또는 유지관리 작업을 수행하거나 모든 공정 중인 제품을 적절한 장소로 이동해야 합니다. 수리 중인 장비에 인접한 클린룸 구역을 적절하게 모니터링하여 오염을 효과적으로 제어해야 합니다.
7. 격리 구역에서 작업하는 유지보수 담당자는 생산 또는 공정을 수행하는 담당자와 접촉해서는 안 됩니다. 클린룸에서 장비를 유지보수하거나 수리하는 모든 담당자는 해당 구역에 설정된 규정을 준수해야 하며, 클린룸 작업복 착용도 포함됩니다. 클린룸에서는 필수 클린룸 작업복을 착용하고 유지보수가 완료된 후에는 해당 구역과 장비를 청소해야 합니다.
8. 기술자는 장비 유지보수 작업을 위해 눕거나 장비 아래에 눕기 전에 장비 상태, 생산 공정 등을 명확히 파악하고, 작업 전 화학 물질, 산 또는 생물학적 유해 물질 발생 상황을 효과적으로 처리해야 합니다. 또한, 작업복이 윤활제나 공정 화학 물질에 닿거나 거울 가장자리에 의해 찢어지지 않도록 보호 조치를 취해야 합니다. 유지보수 또는 수리 작업에 사용되는 모든 공구, 상자, 카트는 클린룸에 들어가기 전에 철저히 세척해야 합니다. 녹슬거나 부식된 공구는 허용되지 않습니다. 이러한 공구를 생물학적 클린룸에서 사용하는 경우, 살균 또는 소독이 필요할 수 있습니다. 기술자는 제품 및 공정 자재를 위해 준비된 작업대 근처에 공구, 예비 부품, 손상된 부품 또는 세척 용품을 두어서는 안 됩니다.
9. 유지관리 시에는 오염물질이 쌓이지 않도록 항상 세척에 주의해야 하며, 장갑이 손상되어 피부가 깨끗한 표면에 노출되는 것을 방지하기 위해 장갑을 정기적으로 교체해야 합니다. 필요한 경우 비청정실 장갑(예: 내산성, 내열성 또는 긁힘 방지 장갑)을 사용해야 합니다. 이러한 장갑은 청정실에 적합하거나 청정실 장갑 위에 착용해야 합니다.
10. 드릴링 및 톱질 작업 시 진공청소기를 사용하십시오. 유지보수 및 건설 작업에는 일반적으로 드릴과 톱이 필요합니다. 특수 덮개를 사용하여 공구와 드릴 및 포트 작업 영역을 덮을 수 있습니다. 드릴링 후 바닥, 벽, 장비 측면 또는 기타 표면에 남은 구멍은 먼지가 클린룸으로 유입되지 않도록 적절히 밀봉해야 합니다. 밀봉 방법에는 코킹재, 접착제, 특수 밀봉판 등이 있습니다. 수리 작업 완료 후에는 수리 또는 유지보수된 장비 표면의 청결 상태를 확인해야 할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 11월 17일