클린룸 환경과 밀접하게 관련된 클린룸 내 고정 설비는 주로 클린룸 내 생산 공정 설비와 청정도 요건을 충족하는 정화 공조 시스템 설비를 말합니다. 클린룸 내 정화 공조 시스템 설비의 유지 관리 및 운영 절차는 국내 표준을 따르고 있으며, 국내외 관련 기준 및 규격에 유사한 규정이 있습니다. 각 국가 또는 지역의 조건, 적용 시기, 법규, 심지어 사고방식과 개념에 차이가 있을 수 있지만, 유사점은 비교적 높습니다.
1. 일반적인 상황에서: 클린룸의 청결도는 지정된 시험 기간을 충족하기 위해 공기 중 분진 입자 한계를 준수해야 합니다. ISO 5 이상 또는 그보다 엄격한 클린룸(구역)의 청결도 측정 주기는 6개월을 초과할 수 없으며, GB 50073에서는 ISO 6~9 등급의 공기 중 분진 입자 한계 측정을 12개월 이내로 요구합니다. ISO 1~3 등급은 주기적 측정, ISO 4~6 등급은 주 1회, ISO 7 등급은 3개월에 한 번, ISO 8 및 9 등급은 6개월에 한 번씩 측정합니다.
2. 클린룸(구역)의 공기 공급량 또는 공기 속도 및 압력 차이가 지정된 시험 기간(각기 다른 청정도 등급에 따라 12개월) 동안 지속적으로 조건을 충족함을 입증해야 합니다. GB 50073에서는 클린룸의 온도와 습도를 자주 모니터링하도록 요구합니다. 청정도 ISO 1~3은 주기적 모니터링, 그 외 등급은 교대 근무당 2회 모니터링입니다. 클린룸 압력 차이 모니터링 빈도에 대해서는 청정도 ISO 1~3은 주기적 모니터링, ISO 4~6은 주 1회, ISO 7~9는 월 1회 모니터링합니다.
3. 공기 정화형 에어컨 시스템에서는 HEPA 필터 교체에 대한 요구 사항도 있습니다. HEPA 필터는 다음과 같은 상황에서 교체해야 합니다. 1차 및 2차 필터를 교체한 후에도 공기 흐름 속도가 상대적으로 낮아져도 증가하지 않는 경우, HEPA 필터의 저항이 초기 저항의 1.5~2배에 도달하는 경우, HEPA 필터에 수리할 수 없는 누출이 발생한 경우.
4. 고정 설비의 유지보수 및 수리 과정과 방법은 통제되어야 하며, 클린룸 환경의 오염 가능성을 최소화해야 합니다. 클린룸 관리 규정에는 클린룸 환경의 오염 방지를 위해 설비 유지보수 및 수리 절차를 문서화해야 하며, 설비 부품이 "오염원"이 되기 전에 유지보수 또는 교체가 이루어지도록 예방 정비 작업 계획을 수립해야 합니다.
5. 고정 설비는 유지 보수를 하지 않으면 시간이 지남에 따라 마모되거나 더러워지거나 오염 물질을 배출하게 됩니다. 예방 정비는 설비가 오염원이 되는 것을 방지합니다. 설비를 유지 보수 및 수리할 때는 클린룸 오염을 방지하기 위해 필요한 보호 조치를 취해야 합니다.
6. 효과적인 유지보수에는 외부 표면의 오염 제거가 포함되어야 합니다. 제품 생산 공정에 필요한 경우 내부 표면 또한 오염 제거가 필요합니다. 장비가 정상 작동 상태를 유지하는 것뿐만 아니라, 내부 및 외부 표면의 오염 제거 절차 또한 공정 요구 사항과 일치해야 합니다. 고정 설비 유지보수 중 발생하는 오염을 제어하기 위한 주요 조치는 다음과 같습니다. 수리가 필요한 장비는 오염 가능성을 최소화하기 위해 수리 전에 가능한 한 해당 장비가 위치한 구역 밖으로 이동해야 합니다. 필요한 경우, 고정 설비는 주변 클린룸과 적절히 격리해야 합니다. 주요 수리 또는 유지보수 작업을 수행하거나, 공정 중인 모든 제품을 적절한 장소로 이동시킨 후, 수리 중인 장비에 인접한 클린룸 구역을 적절히 모니터링하여 오염을 효과적으로 제어해야 합니다.
7. 격리 구역에서 작업하는 유지보수 담당자는 생산 또는 공정 작업을 수행하는 담당자와 접촉해서는 안 됩니다. 클린룸에서 장비를 유지보수하거나 수리하는 모든 담당자는 클린룸 복장 착용을 포함하여 해당 구역에 대해 정해진 규칙 및 규정을 준수해야 합니다. 클린룸에서는 필요한 클린룸 복장을 착용하고, 유지보수가 완료된 후에는 해당 구역과 장비를 청소해야 합니다.
8. 기술자가 유지보수를 위해 장비 아래에 눕거나 등을 대고 누워야 하는 경우, 먼저 장비의 상태, 생산 공정 등을 명확히 파악하고 화학 물질, 산 또는 생물학적 위험 물질에 대한 상황을 효과적으로 처리한 후 작업을 시작해야 합니다. 작업복이 윤활유나 공정 화학 물질에 닿거나 거울 모서리에 찢어지지 않도록 보호 조치를 취해야 합니다. 유지보수 또는 수리 작업에 사용되는 모든 공구, 상자 및 운반대는 클린룸에 들어가기 전에 철저히 세척해야 합니다. 녹슬거나 부식된 공구는 사용할 수 없습니다. 이러한 공구를 생물학적 클린룸에서 사용하는 경우 멸균 또는 소독이 필요할 수 있습니다. 기술자는 제품 및 공정 재료를 위해 준비된 작업대 근처에 공구, 예비 부품, 손상된 부품 또는 세척 용품을 놓아서는 안 됩니다.
9. 유지보수 중에는 오염물질 축적을 방지하기 위해 항상 청결에 주의를 기울여야 합니다. 장갑은 손상으로 인해 피부가 깨끗한 표면에 노출되는 것을 방지하기 위해 정기적으로 교체해야 합니다. 필요한 경우, 내산성, 내열성 또는 내스크래치성 장갑과 같은 비클린룸 장갑을 사용할 수 있습니다. 이러한 장갑은 클린룸에 적합하거나 클린룸 장갑 위에 착용해야 합니다.
10. 드릴링 및 톱질 작업 시 진공청소기를 사용하십시오. 유지보수 및 건설 작업에는 일반적으로 드릴과 톱이 필요합니다. 특수 덮개를 사용하여 공구와 드릴 및 절단 작업 영역을 덮을 수 있습니다. 드릴링 후 바닥, 벽, 장비 측면 또는 기타 표면에 생긴 구멍은 먼지가 클린룸으로 유입되지 않도록 적절히 밀봉해야 합니다. 밀봉 방법에는 코킹 재료, 접착제 및 특수 밀봉판 사용이 포함됩니다. 수리 작업이 완료된 후에는 수리 또는 유지보수된 장비 표면의 청결도를 확인해야 할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 11월 17일