입자의 근원은 무기입자, 유기입자, 생체입자로 나누어진다. 인체의 경우 호흡기 및 폐 질환을 일으키기 쉽고 알레르기 및 바이러스 감염을 일으킬 수도 있습니다. 실리콘 칩의 경우 먼지 입자가 부착되면 집적 회로 회로가 변형되거나 단락되어 칩이 작동 기능을 잃게 되므로 미세 오염원에 대한 제어가 클린룸 관리의 중요한 부분이 되었습니다.
클린룸 환경 제어의 중요성은 생산 공정의 환경 조건이 많은 산업에서 중요한 특정 청결도 표준을 충족하는지 확인하는 데 있습니다. 다음은 클린룸 환경 제어의 중요성과 구체적인 역할입니다.
1. 제품 품질 보장
1.1 오염 방지: 반도체, 제약, 의료기기 등 산업에서는 미세한 입자 오염물질로 인해 제품 결함이나 고장이 발생할 수 있습니다. 클린룸 내 공기질 및 입자 농도를 제어함으로써 이러한 오염물질이 제품에 영향을 미치는 것을 효과적으로 방지할 수 있습니다.
초기 하드웨어 장비 투자 외에도 클린룸 청결도의 유지 및 제어에는 우수한 청결도를 유지하기 위한 우수한 "소프트웨어" 관리 시스템이 필요합니다. 위 그림의 데이터 결과를 보면 작업자가 클린룸의 청결도에 가장 큰 영향을 미친다는 것을 알 수 있습니다. 작업자가 클린룸에 들어가면 먼지가 크게 증가합니다. 사람이 오가는 경우에는 청결도가 즉시 저하됩니다. 청결도가 저하되는 가장 큰 원인은 인적요인임을 알 수 있다.
1.2 일관성: 클린룸 환경은 생산 공정의 일관성과 반복성을 유지하여 안정적인 제품 품질을 보장하는 데 도움이 됩니다.
유리 기판의 경우 먼지 입자가 부착되면 유리 기판에 긁힘, 단락 및 기포 등 공정 품질이 저하되어 폐기됩니다. 따라서 오염원의 제어는 클린룸 관리의 중요한 부분이 되었습니다.
외부 먼지 침입 및 예방
클린룸은 적절한 양압(>0.5mm/Hg)을 유지해야 하며, 공기 누출이 없는지 확인하기 위해 예비 공사 프로젝트를 잘 수행하고 인력, 장비, 원자재, 도구, 소모품 등을 가져오기 전에 해야 합니다. 클린룸에 들어가면 청소하고 닦아야 합니다. 먼지 방지 조치. 동시에 청소 도구를 적절하게 배치하고 교체하거나 정기적으로 청소해야 합니다.
클린룸 내 먼지 발생 및 방지
칸막이판, 바닥 등 클린룸 자재의 적절한 선택, 공정 장비의 제어(정기적인 유지보수 및 청소), 생산 인력이 해당 위치에서 돌아다니거나 큰 몸을 움직이는 것을 금지하고 끈적끈적한 매트를 추가하는 등 예방 조치를 취합니다. 특별 역에서 촬영.
2. 생산 효율성 향상
2.1 불량률 감소: 생산 과정에서 불순물 및 오염 물질을 줄임으로써 불량률을 줄이고 수율을 높여 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다.
예: 웨이퍼 생산에는 600단계가 있습니다. 각 공정의 수율이 99%라면 600개 공정의 전체 수율은 얼마인가? 답: 0.99^600 = 0.24%.
공정을 경제적으로 실행 가능하게 만들려면 각 단계의 수율이 얼마나 높아야 합니까?
•0.999^600= 54.8%
•0.9999^600=94.2%
90% 이상의 최종 공정 수율을 충족하려면 각 공정 수율이 99.99% 이상에 도달해야 하며 미세 입자의 오염은 공정 수율에 직접적인 영향을 미칩니다.
2.2 프로세스 가속화: 깨끗한 환경에서 작업하면 불필요한 청소 및 재작업 시간을 줄여 생산 프로세스를 더욱 효율적으로 만들 수 있습니다.
3. 직원의 건강과 안전을 보장합니다.
3.1 산업 보건: 유해 물질이 배출될 수 있는 일부 생산 공정의 경우, 클린룸을 통해 유해 물질이 외부 환경으로 확산되는 것을 방지하고 작업자의 건강을 보호할 수 있습니다. 인류가 발달한 이래로 기술, 장비, 지식은 향상되었지만 공기의 질은 퇴보했습니다. 사람은 일생 동안 약 270,000M3의 공기를 흡입하며, 70~90%의 시간을 실내에서 보냅니다. 작은 입자는 인체에 흡입되어 호흡기에 침착됩니다. 5~30um의 입자는 비인두에 침착되고, 1~5um의 입자는 기관과 기관지에 침착되며, 1um 이하의 입자는 폐포벽에 침착된다.
신선한 공기의 양이 부족한 방에 장시간 머무르는 사람들은 두통, 가슴 답답함, 피로 등의 증상을 보이는 '실내 증후군'에 걸리기 쉽고, 호흡기 및 신경계 질환에도 걸리기 쉽다. 우리나라의 국가 표준 GB/T18883-2002에서는 신선한 공기량이 30m3/h보다 작아서는 안 된다고 규정하고 있습니다. 사람.
클린룸의 신선한 공기량은 다음 두 항목 중 최대값을 취해야 합니다.
에이. 실내 배기량을 보상하고 실내 양압 값을 보장하는 데 필요한 공기량의 합입니다.
비. 클린룸 직원이 요구하는 신선한 공기를 확보하십시오. 클린룸 설계 사양에 따르면 시간당 1인당 신선한 공기량이 40m3 이상입니다.
3.2 안전한 생산: 습도, 온도 등 환경 매개변수를 제어함으로써 정전기 방전과 같은 안전 위험을 방지하여 생산 안전을 보장할 수 있습니다.
4. 규제 및 표준 요구 사항 충족
4.1 산업 표준: 많은 산업에서는 엄격한 청결 표준(예: ISO 14644)을 갖고 있으며 생산은 특정 등급의 클린룸에서 수행되어야 합니다. 이러한 표준을 준수하는 것은 규제 요건일 뿐만 아니라 기업 경쟁력을 반영하는 것이기도 합니다.
클린작업대, 클린쉐드, 층류이송창, 팬필터유닛 FFU, 클린옷장, 층류후드, 계량후드, 클린스크린, 셀프클리너, 에어샤워 시리즈 제품에 대해서는 청정도 시험방법의 표준화가 필요하다. 기존 제품을 개선하여 제품의 신뢰성을 높였습니다.
4.2 인증 및 심사: 제3자 인증 기관의 심사를 통과하고 관련 인증(예: GMP, ISO 9001 등)을 획득하여 고객 신뢰를 높이고 시장 접근을 확대합니다.
5. 기술 혁신 촉진
5.1 R&D 지원: 클린룸은 하이테크 제품 개발을 위한 이상적인 실험 환경을 제공하고 신제품 개발을 가속화하는 데 도움이 됩니다.
5.2 프로세스 최적화: 엄격하게 통제되는 환경에서는 프로세스 변경이 제품 성능에 미치는 영향을 관찰하고 분석하기가 더 쉬워지므로 프로세스 개선이 촉진됩니다.
6. 브랜드 이미지 제고
6.1 품질 보증: 높은 수준의 청정 생산 시설을 보유하면 브랜드 이미지를 높이고 제품 품질에 대한 고객 신뢰를 높일 수 있습니다.
6.2 시장 경쟁력: 깨끗한 환경에서 생산할 수 있는 제품은 종종 높은 품질과 높은 신뢰성의 상징으로 간주되며 이는 기업이 치열한 시장 경쟁에서 두각을 나타내는 데 도움이 됩니다.
7. 수리 및 유지관리 비용 절감
7.1 장비 수명 연장: 깨끗한 조건에서 작동하는 생산 장비 및 도구는 부식 및 마모에 덜 민감하므로 서비스 수명을 연장하고 유지 관리 빈도와 비용을 줄입니다.
7.2 에너지 소비 감소: 클린룸의 설계 및 관리를 최적화하여 에너지 효율성을 개선하고 에너지 소비 및 운영 비용을 줄입니다.
클린룸 운영 관리의 4가지 원칙:
1. 다음은 반입하지 마세요.
헤파 필터의 프레임은 누출될 수 없습니다.
실내에서는 설계된 압력이 유지되어야 합니다.
작업자는 에어샤워 후 옷을 갈아입고 클린룸에 들어가야 합니다.
사용된 모든 재료, 장비, 도구는 반입하기 전에 청소해야 합니다.
2. 다음을 생성하지 마십시오:
직원은 먼지가 없는 옷을 착용해야 합니다.
불필요한 행동을 줄입니다.
먼지가 발생하기 쉬운 재질은 사용하지 마세요.
불필요한 물품은 반입할 수 없습니다.
3. 축적하지 마십시오:
청소나 청소가 어려운 모서리나 기계 주변부가 없어야 합니다.
실내에서는 공기덕트, 수도관 등의 노출을 최소화하도록 노력하세요.
청소는 표준 방법과 지정된 시간에 따라 수행되어야 합니다.
4. 즉시 제거:
공기 교환 횟수를 늘리십시오.
먼지 발생 부분 근처에서 배기하십시오.
제품에 먼지가 부착되는 것을 방지하기 위해 공기 흐름 형태를 개선하십시오.
즉, 클린룸 환경 제어는 제품 품질 보장, 생산 효율성 향상, 직원 건강 및 안전 보호, 규제 요구 사항 충족, 기술 혁신 촉진 및 브랜드 이미지 향상에 큰 의미가 있습니다. 기업은 클린룸이 생산 및 R&D 요구 사항을 충족할 수 있도록 클린룸을 구축하고 유지할 때 이러한 요소를 충분히 고려해야 합니다.
게시 시간: 2024년 11월 12일