클린룸 청결도 분류 소개

클린룸은 공기 중 부유 입자의 농도가 제어된 공간입니다. 클린룸의 설계 및 사용은 실내로의 입자 유입, 발생 및 잔류를 최소화해야 합니다. 또한 실내 온도, 습도, 압력 등의 관련 매개변수도 필요에 따라 제어해야 합니다. 클린룸은 단위 부피당 특정 입자 크기의 입자 수를 기준으로 등급이 나뉩니다. 즉, 공기 중 부유 입자 농도에 따라 등급이 구분되며, 일반적으로 값이 작을수록 정화 수준이 높습니다. 다시 말해, 10등급 > 100등급 > 10000등급 > 100000등급 순으로 등급이 높아집니다.

클래스 100 클린룸 표준은 주로 수술실, 제약 산업의 무균 제조 시설 등을 포함합니다.

청정 입자 크기가 0.1 마이크론 이상인 입자의 최대 개수는 100개를 초과할 수 없습니다.

압력차, 온도 및 습도 조건은 온도 22℃±2℃, 습도 55%±5℃입니다. 기본적으로 FFU로 전체를 덮고 바닥을 높여야 합니다. MAU+FFU+DC 시스템을 구축하고, 양압을 유지하여 인접한 방 사이의 압력차가 약 10Pa가 되도록 해야 합니다.

무진실 클린룸의 작업 내용은 대부분 엄격한 요구 사항을 충족해야 하고, 밀폐된 공간이기 때문에 조명에 대한 요구 사항도 매우 높습니다. 국소 조명: 특정 위치의 조도를 높이기 위해 설치하는 조명을 말합니다. 하지만 실내 조명에서는 국소 조명만으로는 일반적으로 사용되지 않습니다. 혼합 조명: 일반 조명과 국소 조명을 합성하여 작업 표면을 비추는 조명을 말하며, 이때 일반 조명은 전체 조도의 10~15%를 차지해야 합니다.

클래스 1000 클린룸의 기준은 입자 크기가 0.5 마이크론 미만인 먼지 입자의 수를 세제곱미터당 3,500개 미만으로 제어하는 ​​것으로, 이는 국제 무진 기준 A등급에 해당합니다. 현재 칩 생산 및 가공에 사용되는 무진 기준은 클래스 A등급보다 더 높은 수준의 먼지 제거 기준을 요구합니다. 이러한 높은 기준은 주로 일부 고성능 칩 생산에 적용되며, 먼지 입자 수를 세제곱미터당 1,000개 이내로 엄격하게 제어하는 ​​것을 클린룸 업계에서 일반적으로 클래스 1000이라고 합니다.

대부분의 청정 무진 작업장에서는 외부 오염물질의 유입을 방지하기 위해 내부 압력(정압)을 외부 압력(정압)보다 높게 유지해야 합니다. 압력 차이 유지는 일반적으로 다음과 같은 원칙을 준수해야 합니다. 청정 공간의 압력은 비청정 공간보다 높아야 하고, 청정도가 높은 공간의 압력은 인접한 청정도가 낮은 공간보다 높아야 하며, 연결된 청정실 사이의 문은 청정도가 높은 공간 쪽으로 열어 두어야 합니다. 압력 차이 유지는 유입되는 신선한 공기의 양에 따라 달라지는데, 이 공기는 압력 차이로 인해 틈새로 새어 나가는 공기의 양을 보상할 수 있어야 합니다. 따라서 압력 차의 물리적 의미는 청정실 내 다양한 ​​틈새를 통과하는 공기 누출(또는 침투)에 대한 저항입니다.

클래스 10000 클린룸이란 0.5μm 이상의 분진 입자 수가 35,000개/m³(35개 입자) 초과 35,000개/m³(350개 입자) 이하이고, 5μm 이상의 분진 입자 수가 300개/m³(0.3개 입자) 초과 3,000개/m³(3개 입자) 이하인 공간을 의미합니다. 압력차 및 온도·습도 제어가 필수적입니다.

온도 및 습도 건식 코일 시스템 제어. 에어컨 박스는 감지된 신호를 통해 3방향 밸브의 개도를 제어하여 에어컨 박스 코일의 물 유입량을 조절합니다.

클래스 100,000 클린룸은 작업장 내 입방미터당 입자 수가 10만 개 이내로 제어되는 것을 의미합니다. 이러한 클린룸 생산 작업장은 주로 전자 산업과 제약 산업에서 사용되며, 식품 산업에서도 클래스 100,000 생산 작업장을 갖추는 것이 매우 효과적입니다. 클래스 100,000 클린룸은 시간당 15~19회의 공기 교환이 필요하며, 완전 환기 후 공기 정화 시간은 40분을 초과해서는 안 됩니다.

청정도 등급이 같은 클린룸 간의 압력 차이는 일정하게 유지되어야 한다. 청정도 등급이 다른 인접한 클린룸 간의 압력 차이는 5Pa를 초과해야 하며, 클린룸과 비클린룸 간의 압력 차이는 10Pa를 초과해야 한다.

온도 및 습도 10만급 클린룸에서 온도와 습도에 대한 특별한 요구 사항이 없는 경우, 불편함을 느끼지 않는 클린 작업복을 착용하는 것이 좋습니다. 온도는 일반적으로 겨울철에는 20~22℃, 여름철에는 24~26℃로 유지하며, ±2℃의 변동 범위를 허용합니다. 습도는 겨울철에는 30~50%, 여름철에는 50~70%로 유지합니다. 클린룸(구역) 내 주요 생산실의 조도는 일반적으로 300Lx 이상이어야 하며, 보조 스튜디오, 인원 정화실, 자재 정화실, 공기실, 복도 등의 조도는 200~300Lx여야 합니다.