클린룸 청결도 분류 소개

클린룸은 공기 중 부유 입자의 농도를 조절하는 공간입니다. 클린룸의 구조와 사용은 실내로의 입자 유입, 생성 및 체류를 최소화해야 합니다. 실내 온도, 습도, 압력과 같은 기타 관련 매개변수는 필요에 따라 제어되어야 합니다. 클린룸은 공기의 단위 부피당 특정 입자 크기의 입자 수로 구분됩니다. 공기 중 부유 입자의 농도에 따라 구분됩니다. 일반적으로 값이 작을수록 정화 수준이 높습니다. 즉, 10등급 > 100등급 > 10000등급 > 100000등급입니다.

100등급 클린룸의 표준은 주로 수술실, 제약 산업의 무균 제조에 적용됩니다.

청정도 입자 크기가 0.1마이크론 이상인 입자의 최대 개수는 100개를 초과할 수 없습니다.

압력차 및 온도, 습도는 22℃±2°C, 습도는 55%±5°C입니다. 기본적으로 FFU로 완전히 덮고 높은 바닥을 설치해야 합니다. MAU+FFU+DC 시스템을 구성하고, 양압을 유지하며, 인접실의 압력 기울기는 약 10pa가 되도록 합니다.

조명 무진공 클린룸의 작업 내용은 대부분 까다로운 요건을 가지고 있으며, 모두 밀폐된 공간이므로 조명에 대한 요구 사항이 항상 높았습니다. 국소 조명: 지정된 장소의 조도를 높이기 위해 설치된 조명을 말합니다. 그러나 국소 조명은 일반적으로 실내 조명에서 단독으로 사용되지 않습니다. 혼합 조명: 단일 조명과 국소 조명을 합성하여 작업 표면에 조명을 제공하는 것을 말하며, 이 중 일반 조명의 조도는 전체 조도의 10~15%를 차지해야 합니다.

클래스 1000 클린룸 기준은 입자 크기가 0.5마이크론/m³ 미만인 분진 입자의 수를 3,500개 미만으로 관리하여 국제 무진공 기준 A 등급에 도달하는 것입니다. 현재 칩 생산 및 가공에 사용되는 무진공 기준은 클래스 A보다 더 높은 분진 기준을 요구합니다. 이러한 높은 기준은 주로 일부 고급 칩 생산에 적용됩니다. 분진 입자 수는 1,000개/m³ 이내로 엄격하게 관리되며, 클린룸 업계에서는 이를 클래스 1000이라고 합니다.

대부분의 청정 무진공 작업장의 경우 외부 오염의 침입을 방지하기 위해 내부 압력(정압)을 외부 압력(정압)보다 높게 유지해야 합니다. 압력차 유지는 일반적으로 다음 원칙을 따라야 합니다. 청정 공간의 압력은 비청정 공간의 압력보다 높아야 합니다. 청정도가 높은 공간의 압력은 청정도가 낮은 인접 공간의 압력보다 높아야 합니다. 연결된 클린룸 사이의 문은 청정도가 높은 방으로 열려 있어야 합니다. 압력차 유지는 신선한 공기의 양에 따라 달라지며, 이 압력차로 인해 틈새에서 새어 나오는 공기의 양을 보상할 수 있어야 합니다. 따라서 압력차의 물리적 의미는 청정실의 다양한 틈새를 통과할 때 누출(또는 침투)되는 공기량에 대한 저항입니다.

클래스 10000 클린룸은 0.5㎛ 이상의 먼지 입자 수가 35,000개/m³(35개/m³) 초과 35,000개/m³(350개/m³) 이하이고, 5㎛ 이상의 먼지 입자 수가 300개/m³(0.3개/m³) 초과 3,000개/m³(3개/m³) 이하인 것을 의미합니다. 압력 차와 온도 및 습도 제어가 가능합니다.

온도 및 습도 건식 코일 시스템 제어. 에어컨 박스는 감지된 신호를 통해 3방향 밸브의 개도를 제어하여 에어컨 박스 코일의 물 흡입량을 조절합니다.

클래스 100,000 클린룸은 작업장 내 입방미터당 입자 수가 10만 개 이내로 관리됨을 의미합니다. 클린룸 생산 작업장은 주로 전자 산업과 제약 산업에 사용됩니다. 식품 산업의 경우 클래스 100,000 클린룸은 매우 적합합니다. 클래스 100,000 클린룸은 시간당 15~19회의 환기가 필요하며, 완전 환기 후 공기 정화 시간은 40분을 초과해서는 안 됩니다.

동일한 청정도의 클린룸 간의 압력 차이는 일정하게 유지되어야 합니다. 청정도가 다른 인접 클린룸 간의 압력 차이는 5Pa, 클린룸과 비클린룸 간의 압력 차이는 10Pa 이상이어야 합니다.

온도 및 습도 10만 클래스 클린룸에서 온도와 습도에 대한 특별한 요구 사항이 없는 경우, 불편함을 느끼지 않는 깨끗한 작업복을 착용하는 것이 좋습니다. 온도는 일반적으로 겨울에는 20~22℃, 여름에는 24~26℃로 조절되며, ±2℃의 변동이 있습니다. 겨울철 클린룸의 습도는 30~50%, 여름철 클린룸의 습도는 50~70%로 조절합니다. 클린룸(구역) 내 주요 생산실의 조도는 일반적으로 >300Lx이어야 합니다. 보조 작업실, 인원 정화실 및 자재 정화실, 공기실, 복도 등의 조도는 200~300L이어야 합니다.