- 일반적인 설계 원칙
기능적 구역 설정
클린룸은 클린 구역, 준 클린 구역 및 보조 구역으로 구분되어야 하며, 각 기능 구역은 독립적이고 물리적으로 격리되어야 합니다.
공정 흐름은 인력과 자재 간의 교차 오염을 방지하기 위해 단방향 흐름 원칙을 따라야 합니다.
핵심 청정 구역은 외부 간섭을 줄이기 위해 건물 중앙 또는 바람이 불어오는 방향에 위치해야 합니다.
공기 흐름 구성
단방향 흐름 클린룸: 수직 층류 또는 수평 층류를 사용하며, 공기 흐름 속도는 0.3~0.5m/s로 반도체 및 바이오 의약품과 같이 높은 청정도가 요구되는 환경에 적합합니다.
비방향 흐름 클린룸: 효율적인 여과 및 희석을 통해 청결도를 유지하며, 시간당 15~60회의 환기율을 제공하여 식품 및 화장품과 같은 저청결에서 중청결 환경에 적합합니다.
혼합 흐름 클린룸: 핵심 영역은 단방향 흐름을 채택하고, 주변 영역은 비단방향 흐름을 채택하여 비용과 효율성의 균형을 맞춥니다.
차압 제어
청정 구역과 비청정 구역 간의 압력 차이는 5Pa 이상이고, 청정 구역과 실외 구역 간의 압력 차이는 10Pa 이상입니다.
인접한 청정 구역 사이의 압력 차이는 적절해야 하며, 고청정 구역의 압력은 저청정 구역의 압력보다 높아야 합니다.
- 산업 분류 설계 요구사항
(1) 반도체 산업의 클린룸
청결 수업
포토리소그래피 및 에칭과 같은 핵심 공정 영역은 ISO 14644-1 레벨 1 또는 10을 충족해야 하며, 입자 농도는 ≤ 3520개/m³(0.5μm)이어야 합니다. 보조 영역의 청결도는 ISO 7 또는 8로 완화될 수 있습니다.
온도 및 습도 조절
온도는 22±1℃, 상대 습도는 40%~60%이며, 항온 항습 시스템을 사용했습니다.
정전기 방지 설계
바닥은 전도성 에폭시 바닥재 또는 정전기 방지 PVC 바닥재를 사용하며, 저항값은 1*10^6Ω 이하입니다.
작업자는 정전기 방지 의류와 신발 덮개를 착용해야 하며, 장비의 접지 저항은 12Ω 이하여야 합니다.
레이아웃 예시
핵심 공정 영역은 건물 중앙에 위치하며, 주변에는 장비실과 시험실이 있습니다. 자재는 에어록을 통해 반입되고, 인원은 에어샤워를 통해 출입합니다.
배기 시스템은 독립적으로 설치되어 있으며, 배기가스는 배출되기 전에 헤파 필터를 통과하여 여과됩니다.
(2) 바이오의약품 산업의 클린룸
청결 수업
무균 준비 충전 구역은 A급(ISO 5) 및 현지 100급을 충족해야 하며, 세포 배양 및 세균 조작 구역은 B급(ISO 6)을 충족해야 하고, 보조 구역(멸균실 및 재료 보관실 등)은 C급(ISO 7) 또는 D급(ISO 8)을 충족해야 합니다.
생물안전 요구사항
고병원성 미생물을 다루는 실험은 음압 환경, 이중 도어 잠금 장치 및 비상 스프링클러 시스템을 갖춘 BSL-2 또는 BSL-3 실험실에서 수행해야 합니다.
멸균실은 내화성 및 내열성 재질을 사용해야 하며, 증기 멸균기 또는 과산화수소 분무 소독 장비를 갖춰야 합니다.
레이아웃 예시
세균실과 세포실은 독립적으로 설치되어 클린 충전 구역과 물리적으로 분리되어 있습니다. 자재는 통과 상자를 통해 반입되고, 인원은 탈의실과 완충실을 통해 출입합니다. 배기 시스템에는 헤파 필터와 활성탄 흡착 장치가 설치되어 있습니다.
(3) 식품 산업의 클린룸
청결 수업
식품 포장실은 입자 농도가 352만/m³(0.5μm) 이하인 ISO 8 등급 100000 수준을 충족해야 합니다.
원료 가공 및 비즉석식품 포장실은 ISO 9 등급 300000 수준에 도달해야 합니다.
온도 및 습도 조절
응축수 내 미생물 번식을 방지하기 위해 온도 범위는 18~26℃, 상대 습도는 75% 이하로 유지해야 합니다.
레이아웃 예시
세척 구역(예: 내부 포장실)은 바람이 불어오는 쪽에 위치하고, 준세척 구역(예: 원자재 가공 구역)은 바람이 불어가는 쪽에 위치합니다.
자재는 완충실을 통해 반입되고, 인원은 탈의실과 손세척 및 소독 구역을 통해 반입됩니다. 배기 시스템에는 1차 필터와 중간 필터가 장착되어 있으며, 필터 스크린은 정기적으로 교체됩니다.
(4) 화장품 산업의 클린룸
청결 수업
유화 및 충전실은 ISO 8 등급인 100000등급을 충족해야 하며, 원료 보관 및 포장실은 ISO 9 등급인 300000등급을 충족해야 합니다.
재료 선택
벽면은 곰팡이 방지 페인트 또는 샌드위치 패널로 마감되었고, 바닥은 에폭시 셀프 레벨링 처리되었으며, 이음매는 밀봉되었습니다. 조명 기구는 먼지 축적을 방지하기 위해 청소용 램프로 밀봉되었습니다.
레이아웃 예시
유화실과 충전실은 독립적으로 설치되어 있으며, 각 방에는 클래스 100 클린 벤치가 갖춰져 있습니다. 자재는 통과 박스를 통해 반입되고, 작업자는 탈의실과 에어 샤워를 통해 출입합니다. 배기 시스템에는 유기 휘발성 화합물을 제거하는 활성탄 흡착 장치가 설치되어 있습니다.
- 일반적인 기술 매개변수
소음 제어: 저소음 팬과 소음기를 사용하여 클린룸 소음을 65dB(A) 이하로 유지합니다.
조명 설계: 평균 조도 500lx 이상, 균일도 0.7 이상, 무영등 또는 LED 클린 램프 사용.
신선 공기량: 1인당 시간당 신선 공기량이 40m³를 초과하는 경우, 배기 보상 및 양압 유지가 필요합니다.
헤파 필터는 6~12개월마다 교체하고, 1차 및 중간 필터는 매달 청소하며, 바닥과 벽은 매주 청소 및 소독하고, 장비 표면은 매일 닦고, 공기 중 세균 및 부유 입자는 정기적으로 검사하고 기록을 보관합니다.
- 안전 및 비상 설계
안전 대피: 각 층의 모든 청정 구역에는 최소 2개의 안전 출구가 있어야 하며, 대피 문의 개방 방향은 탈출 방향과 일치해야 합니다. 샤워실에는 5명 이상이 있을 경우 우회 출입문을 설치해야 합니다.
소방 설비: 클린존에는 장비의 수해를 방지하기 위해 가스 소화 시스템(예: 헵타플루오로프로판)이 설치되어 있습니다. 비상 조명과 대피 안내 표지판이 있으며, 30분 이상 연속 전원 공급이 가능합니다.
비상 대응: 생물안전 실험실에는 비상 대피 경로와 눈 세척 시설이 갖춰져 있습니다. 화학물질 보관 구역에는 누출 방지 트레이와 흡수성 물질이 비치되어 있습니다.
게시 시간: 2025년 9월 29일