클린룸 관련 용어

1. 청결함

공간의 단위 부피당 공기에 포함된 입자의 크기와 양을 특성화하는 데 사용되며, 공간의 청결도를 구별하는 기준이 됩니다.

2. 먼지 농도

공기의 단위 부피당 부유 입자의 수.

3. 빈 상태

클린룸 시설은 건설되었고 모든 전력이 연결되어 작동 중이지만, 생산 장비, 자재 또는 인력은 없습니다.

4. 정적 상태

모든 설비가 완료되고 완벽하게 설비되었으며, 정화 공조 시스템이 정상적으로 작동하고 현장에 인력이 없는 경우. 생산 장비가 설치되었으나 ​​가동되지 않은 클린룸의 상태; 또는 생산 장비가 가동을 중단하고 지정된 시간 동안 자체 세척된 후의 클린룸의 상태; 또는 양 당사자(시공자와 시공자)가 합의한 방식으로 클린룸이 가동되고 있는 상태.

5. 동적 상태

해당 시설은 명시된 대로 운영되고, 명시된 인력이 배치되어 있으며, 합의된 조건에 따라 작업을 수행합니다.

6. 자체 세척 시간

이는 클린룸이 설계된 공기 교환 빈도에 따라 실내로 공기를 공급하기 시작하고, 클린룸 내 먼지 농도가 설계된 청정도 수준에 도달하는 시간을 의미합니다. 아래에서는 클린룸의 다양한 등급에 따른 자가 세척 시간을 살펴보겠습니다.

①. 100000급: 40분(분) 이내

②. 10000급 : 30분(분) 이내

③ 1000회 수업 : 20분(분) 이내.

④. 100학년 : 3분(분) 이내.

7. 에어록실

청정실의 입구와 출구에는 에어록실을 설치하여 오염된 공기가 외부 또는 인접한 방으로 유입되는 것을 차단하고 압력 차이를 조절합니다.

8. 에어샤워

청정 구역에 들어가기 전에 특정 절차에 따라 인원을 정화하는 공간입니다. 청정 구역에 들어가는 인원의 전신을 정화하기 위해 팬, 필터, 제어 시스템을 설치함으로써 외부 오염을 줄이는 효과적인 방법 중 하나입니다.

9. 카고 에어 샤워

청정 구역에 들어가기 전에 특정 절차에 따라 재료를 정화하는 공간입니다. 팬, 필터, 제어 시스템을 설치하여 재료를 정화함으로써 외부 오염을 줄이는 효과적인 방법 중 하나입니다.

10. 클린룸 의류

작업자가 발생시키는 입자를 최소화하기 위해 먼지 배출이 적은 깨끗한 의복을 사용합니다.

11. HEPA 필터

정격 공기량에서, 에어 필터는 0.3μm 이상의 입자 크기와 250Pa 미만의 공기 흐름 저항을 가진 입자에 대해 99.9% 이상의 포집 효율을 갖습니다.

12. 울트라 헤파 필터

0.1~0.2μm 크기의 입자에 대한 포집 효율이 99.999% 이상이고, 정격 공기량에서 공기 흐름 저항이 280Pa 이하인 공기 필터입니다.