클린룸 관련 용어

1. 청결

공기질은 단위 부피당 공기 중에 포함된 입자의 크기와 양을 나타내는 특성화하는 데 사용되며, 공간의 청결도를 구분하는 기준입니다.

2. 분진 농도

공기 단위 부피당 부유 입자의 수.

3. 빈 상태

클린룸 시설은 완공되었고 모든 전력이 연결되어 가동 중이지만, 생산 장비, 자재 또는 인력은 아직 없습니다.

4. 정적 상태

모든 설비가 완비되어 있고, 정화 공조 시스템이 정상적으로 작동 중이며, 현장에 인원이 없는 상태. 생산 설비가 설치되었지만 가동되지 않는 클린룸의 상태, 또는 생산 설비 가동이 중단된 후 일정 시간 동안 자체 세척이 완료된 클린룸의 상태, 또는 양 당사자(시공업체와 시공업체)가 합의한 방식으로 가동 중인 클린룸의 상태를 의미합니다.

5. 동적 상태

해당 시설은 명시된 대로 운영되고, 명시된 인원이 상주하며, 합의된 조건 하에서 작업을 수행합니다.

6. 자동 청소 시간

이는 클린룸이 설계된 공기 교환 빈도에 따라 실내에 공기를 공급하기 시작하고, 클린룸 내부의 먼지 농도가 설계된 청정도 수준에 도달하는 시점을 의미합니다. 아래에서는 다양한 등급의 클린룸에서 자체 청정이가 이루어지는 시간을 살펴보겠습니다.

①. 100000반: 40분(분) 이하;

②. 10000반: 30분(분) 이하;

③. 1000반: 20분 이내.

④. 100번 수업: 3분(분) 이내.

7. 에어록실

청정실의 입구와 출구에는 외부 또는 인접한 방의 오염된 공기 흐름을 차단하고 압력 차이를 제어하기 위해 에어록실이 설치되어 있습니다.

8. 에어 샤워

클린룸은 클린 구역에 들어가기 전에 특정 절차에 따라 인원을 정화하는 공간입니다. 팬, 필터 및 제어 시스템을 설치하여 클린룸에 들어가는 사람의 전신을 정화함으로써 외부 오염을 효과적으로 줄이는 방법 중 하나입니다.

9. 화물 에어 샤워

청정 구역에 들어가기 전에 특정 절차에 따라 자재를 정화하는 공간입니다. 팬, 필터 및 제어 시스템을 설치하여 자재를 정화함으로써 외부 오염을 줄이는 효과적인 방법 중 하나입니다.

10. 클린룸 복장

작업자가 발생시키는 입자를 최소화하기 위해 먼지 배출량이 적은 깨끗한 작업복을 착용합니다.

11. HEPA 필터

정격 풍량 조건에서, 이 공기 필터는 입자 크기가 0.3μm 이상이고 공기 흐름 저항이 250Pa 미만인 입자에 대해 99.9% 이상의 포집 효율을 나타냅니다.

12. 울트라 HEPA 필터

정격 풍량 조건에서 입자 크기가 0.1~0.2μm인 입자에 대해 99.999% 이상의 포집 효율을 가지며, 공기 흐름 저항이 280Pa 미만인 공기 필터.