클린룸의 청정도는 공기 1세제곱미터(또는 1세제곱피트)당 허용되는 최대 입자 수에 따라 결정되며, 일반적으로 10등급, 100등급, 1000등급, 10000등급, 100000등급으로 구분됩니다. 엔지니어링 분야에서는 실내 공기 순환을 통해 청정 구역의 청정도를 유지합니다. 온도와 습도를 엄격하게 제어하는 전제 하에, 공기는 필터로 여과된 후 클린룸으로 유입되고, 실내 공기는 환풍 시스템을 통해 클린룸을 나갑니다. 다시 필터로 여과된 후 클린룸으로 다시 유입됩니다.
클린룸 청결을 달성하기 위한 필요 조건:
1. 공기 공급 청정도: 공기 공급 청정도를 확보하려면 클린룸 시스템에 필요한 공기 필터, 특히 엔드 필터를 실제 필요에 따라 선택하고 설치해야 합니다. 일반적으로 100만 등급에는 헤파 필터를, 10000등급 이하는 서브헤파 또는 헤파 필터를, 10000등급~100등급에는 여과 효율 ≥99.9%의 헤파 필터를, 10000등급~100등급에는 여과 효율 ≥99.999%의 헤파 필터를, 100-1등급에는 여과 효율 ≥99.999%의 필터를 사용할 수 있습니다.
2. 공기 분배: 클린룸의 특성과 클린룸 시스템 특성에 따라 적절한 공기 공급 방식을 선택해야 합니다. 다양한 공기 공급 방식은 각기 장단점을 가지고 있으므로 실제 필요에 따라 설계해야 합니다.
3. 공기 공급량 또는 풍속: 충분한 환기량은 실내 오염된 공기를 희석하고 제거하는 데 필요한 양이며, 이는 다양한 청정도 요구 사항에 따라 달라집니다. 청정도가 높을수록 환기 횟수를 적절히 늘려야 합니다.
4. 정압차: 청정실은 청정실이 오염되지 않거나 오염이 적어 청결을 유지하기 위해 일정한 양압을 유지해야 합니다.
클린룸 설계는 복잡한 과정입니다. 위 내용은 전체 시스템에 대한 간략한 개요일 뿐입니다. 클린룸을 실제로 구축하려면 사전 조사, 중기적으로 냉난방 부하 계산, 풍량 균형 계산 등 다양한 작업이 필요합니다. 또한, 전체 시스템의 균형과 합리성을 보장하기 위한 합리적인 엔지니어링 설계, 최적화, 엔지니어링 설치 및 시운전이 필요합니다.
게시 시간: 2023년 9월 25일