클린룸의 청정도는 공기 1세제곱미터(또는 1세제곱피트)당 허용되는 최대 입자 수로 결정되며, 일반적으로 클래스 10, 클래스 100, 클래스 1000, 클래스 10000, 클래스 100000으로 구분됩니다. 엔지니어링에서는 일반적으로 실내 공기 순환 시스템을 사용하여 클린 구역의 청정도를 유지합니다. 온도와 습도를 엄격하게 제어하는 조건 하에, 공기는 필터를 통과한 후 클린룸으로 유입되고, 실내 공기는 환기 시스템을 통해 클린룸 밖으로 배출된 후 다시 필터를 통과하여 클린룸으로 유입됩니다.
클린룸 청결도를 달성하기 위한 필수 조건:
1. 공기 공급 청정도: 공기 공급 청정도를 확보하기 위해 클린룸 시스템에 필요한 공기 필터, 특히 최종 필터는 실제 필요에 따라 선택 및 설치해야 합니다. 일반적으로 HEPA 필터는 100만 등급 이하에 사용할 수 있으며, Sub-HEPA 또는 HEPA 필터는 10000 등급 이하에, 여과 효율이 99.9% 이상인 HEPA 필터는 10000~100 등급에, 여과 효율이 99.999% 이상인 필터는 100~1 등급에 사용할 수 있습니다.
2. 공기 분배: 클린룸 및 클린룸 시스템 특성에 따라 적절한 공기 공급 방식을 선택해야 합니다. 각 공기 공급 방식은 장단점이 있으며, 실제 필요에 따라 설계해야 합니다.
3. 공기 공급량 또는 풍속: 충분한 환기량은 실내 오염 공기를 희석 및 제거하는 데 필요하며, 이는 청결도 요구 사항에 따라 달라집니다. 청결도 요구 사항이 높을수록 공기 교환 횟수를 적절히 늘려야 합니다.
4. 정압 차이: 클린룸의 청결도를 유지하기 위해서는 클린룸이 오염되지 않거나 오염 정도가 최소화되도록 일정 수준의 양압을 유지해야 합니다.
클린룸 설계는 복잡한 과정입니다. 위 내용은 전체 시스템에 대한 간략한 개요일 뿐입니다. 실제 클린룸 구축에는 사전 조사, 냉난방 부하 계산, 공기량 균형 계산 등 중기적인 작업과 더불어, 전체 시스템의 균형과 합리성을 확보하기 위한 합리적인 설계, 최적화, 설치 및 시운전이 필요합니다.
게시 시간: 2023년 9월 25일