클린룸은 무진실(Dust Free Room)이라고도 합니다. 특정 공간 내 공기 중 먼지 입자, 유해 공기, 박테리아 등의 오염 물질을 배출하고, 실내 온도, 청정도, 실내 압력, 기류 속도 및 기류 분포, 소음 진동, 조명, 정전기 등을 일정 범위 내로 제어하는 데 사용됩니다. 다음은 클린룸 정화 조치에서 청정도 요건을 달성하기 위한 네 가지 필수 조건을 주로 설명합니다.
1. 공기 공급 청결
공기 청정도가 요구 사항을 충족하도록 하려면 정화 시스템 최종 필터의 성능과 설치가 핵심입니다. 클린룸 시스템의 최종 필터는 일반적으로 헤파 필터 또는 서브헤파 필터를 사용합니다. 국가 표준에 따라 헤파 필터의 효율은 네 가지 등급으로 나뉩니다. A등급은 ≥99.9%, B등급은 ≥99.99%, C등급은 ≥99.999%, D등급은 (0.1μm 이상의 입자) ≥99.999%(초고성능 헤파 필터라고도 함), 서브헤파 필터는 (0.5μm 이상의 입자) 95~99.9%입니다.
2. 공기 흐름 구성
클린룸의 공기 흐름 구성은 일반적인 공조실과 다릅니다.가장 깨끗한 공기가 먼저 작업 구역으로 공급되어야 합니다.그 기능은 처리 대상물의 오염을 제한하고 줄이는 것입니다.다양한 공기 흐름 구성은 고유한 특성과 범위를 갖습니다.수직 단방향 흐름: 둘 다 균일한 하향 공기 흐름을 얻을 수 있고, 공정 장비의 배치를 용이하게 하며, 강력한 자체 정화 능력을 가지고 있으며, 개인 클린룸 시설과 같은 공통 시설을 간소화할 수 있습니다.네 가지 공기 공급 방식에도 장단점이 있습니다.전체 덮개형 HEPA 필터는 저항이 낮고 필터 교체 주기가 길다는 장점이 있지만, 천장 구조가 복잡하고 비용이 많이 듭니다.측면 덮개형 HEPA 필터 상단 공급과 전공 플레이트 상단 공급의 장단점은 전공 플레이트 상단 공급과 반대입니다.그 중 전공 플레이트 상단 공급은 시스템이 비연속적으로 작동할 때 오리피스 플레이트 내부 표면에 먼지가 쌓이기 쉽고, 유지 보수가 부족하면 청결에 어느 정도 영향을 미칩니다. 고밀도 디퓨저 상부 공급 방식은 혼합층이 필요하므로 4m 이상의 높은 클린룸에만 적합하며, 그 특성은 풀홀 플레이트 상부 공급 방식과 유사합니다. 양쪽에 그릴이 있는 플레이트와 양쪽 벽 하단에 균등하게 배치된 환기구의 환기 방식은 양쪽 순 간격이 6m 미만인 클린룸에만 적합합니다. 단일 측면 벽 하단의 환기구는 벽 사이의 간격이 좁은(예: ≤2~3m) 클린룸에만 적합합니다. 수평 단방향 흐름: 첫 번째 작업 영역만 100레벨 청정도에 도달합니다. 공기가 반대쪽으로 흐르면 먼지 농도가 점차 증가합니다. 따라서 동일 공정에 대해 청정도 요구 사항이 다른 클린룸에만 적합합니다. 공기 공급 벽에 HEPA 필터를 국부적으로 배치하면 HEPA 필터 사용량을 줄이고 초기 투자를 절약할 수 있지만, 국부적으로 와류가 발생합니다. 난류 기류: 오리피스 플레이트의 상부 송풍 방식과 고밀도 디퓨저의 상부 송풍 방식은 위에서 언급한 바와 같은 특성을 보입니다. 측면 송풍 방식의 장점은 파이프라인 배치가 용이하고, 기술적인 중간층이 없으며, 비용이 저렴하고, 노후 공장의 리노베이션에 유리하다는 것입니다. 단점은 작업 구역의 풍속이 크고, 하풍 측의 먼지 농도가 상풍 측보다 높다는 것입니다. HEPA 필터 배출구의 상부 송풍 방식은 시스템이 간단하고, HEPA 필터 뒤에 파이프라인이 없으며, 작업 구역으로 직접 깨끗한 공기가 공급된다는 장점이 있지만, 깨끗한 공기가 확산 속도가 느리고 작업 구역의 공기 흐름이 더 균일합니다. 그러나 여러 개의 공기 배출구를 균등하게 배치하거나 디퓨저가 장착된 HEPA 필터 배출구를 사용하면 작업 구역의 공기 흐름을 더욱 균일하게 만들 수 있습니다. 그러나 시스템이 연속적으로 작동하지 않을 경우 디퓨저에 먼지가 쌓이기 쉽습니다.
3. 공기 공급량 또는 공기 속도
충분한 환기량은 실내 오염 공기를 희석하고 제거하는 데 필요합니다. 청정도 요구 사항에 따라 클린룸의 순 높이가 높을 경우 환기 빈도를 적절히 높여야 합니다. 그중 100,000 클래스 클린룸의 환기량은 고효율 클린룸 시스템에 따라, 나머지는 고효율 클린룸 시스템에 따라 고려합니다. 100,000 클래스 클린룸의 헤파 필터를 기계실에 집중 배치하거나 시스템 말단에 서브헤파 필터를 사용하는 경우 환기 빈도를 10%~20% 정도 적절하게 높일 수 있습니다.
4. 정압차
클린룸에서 일정 양압을 유지하는 것은 클린룸이 설계된 청정도를 유지하기 위해 오염되지 않았거나 덜 오염되도록 하는 필수 조건 중 하나입니다. 음압 클린룸의 경우에도 일정 양압을 유지하기 위해 클린룸보다 청결도가 낮은 인접한 방이나 스위트룸이 있어야 합니다. 그래야만 음압 클린룸의 청정도를 유지할 수 있습니다. 클린룸의 양압 값은 모든 문과 창문을 닫았을 때 실내 정압이 실외 정압보다 클 때의 값을 말합니다. 이는 정화 시스템의 공급 공기량이 환풍량과 배기량보다 큰 방식으로 달성됩니다. 클린룸의 양압 값을 확보하기 위해서는 급기 팬, 환풍 팬, 배기 팬을 연동하는 것이 가장 좋습니다. 시스템을 켜면 먼저 급기 팬이 작동한 후 환풍기와 배기 팬이 작동합니다. 시스템을 끄면 먼저 배기 팬이 꺼진 후 환풍기와 급기 팬이 꺼져 시스템 켜고 끌 때 클린룸이 오염되는 것을 방지합니다. 클린룸의 양압을 유지하는 데 필요한 공기량은 주로 유지 보수 구조의 기밀성에 의해 결정됩니다.중국에서 클린룸을 건설한 초기에는 외함 구조의 기밀성이 부족하여 ≥5Pa의 양압을 유지하는 데 2~6회/시간의 공기 공급이 필요했습니다.현재 유지 보수 구조의 기밀성이 크게 개선되어 동일한 양압을 유지하는 데 1~2회/시간의 공기 공급만 필요하고 ≥10Pa를 유지하는 데 2~3회/시간의 공기 공급만 필요합니다.국가 설계 규격은 다른 레벨의 클린룸과 클린 구역과 비클린 구역 사이의 정압차가 0.5mmH2O(~5Pa) 이상이어야 하고 클린 구역과 실외 사이의 정압차가 1.0mmH2O(~10Pa) 이상이어야 한다고 규정합니다.
게시 시간: 2025년 3월 3일