클린룸 테스트는 일반적으로 먼지 입자, 침착 세균, 부유 세균, 압력 차이, 공기 교환량, 공기 속도, 신선 공기량, 조명, 소음, 온도, 상대 습도 등을 포함합니다.
1. 공급 공기량 및 배기 공기량: 난류형 클린룸인 경우 공급 공기량과 배기 공기량을 측정해야 합니다. 단방향 층류형 클린룸인 경우 공기 속도를 측정해야 합니다.
2. 구역 간 공기 흐름 제어: 구역 간 공기 흐름 방향, 즉 고수준 청정 구역에서 저수준 청정 구역으로의 흐름 방향이 올바른지 확인하기 위해서는 다음 사항을 점검해야 합니다. 각 구역 간 압력 차이가 적절한지, 벽, 바닥 등의 입구 또는 개구부에서의 공기 흐름 방향이 고수준 청정 구역에서 저수준 청정 구역으로의 방향인지.
3. 격리 누출 감지: 이 테스트는 부유 오염 물질이 건축 자재를 투과하여 클린룸으로 유입되지 않음을 입증하기 위한 것입니다.
4. 실내 기류 제어: 기류 제어 시험 유형은 클린룸의 기류 모드(난류 또는 단방향 흐름)에 따라 달라져야 합니다. 클린룸의 기류가 난류인 경우, 실내에 기류가 부족한 영역이 없는지 확인해야 합니다. 단방향 흐름 클린룸인 경우, 실내 전체의 기류 속도와 방향이 설계 요건을 충족하는지 확인해야 합니다.
5. 부유 입자 농도 및 미생물 농도: 위의 시험 결과가 요구 사항을 충족하는 경우, 입자 농도 및 미생물 농도(필요한 경우)를 측정하여 클린룸 설계의 기술적 조건을 충족하는지 확인합니다.
6. 기타 시험: 위에서 언급한 오염 방지 시험 외에도, 경우에 따라 온도, 상대 습도, 실내 냉난방 용량, 소음, 조도, 진동 값 등 하나 이상의 시험을 추가로 실시해야 할 수 있습니다.
게시일: 2023년 5월 30일