클린룸 테스트에는 일반적으로 먼지 입자, 침전된 박테리아, 부유 박테리아, 압력 차이, 공기 변화, 공기 속도, 신선한 공기의 양, 조명, 소음, 온도, 상대 습도 등이 포함됩니다.
1. 공급 공기량 및 배기 공기량: 난류 클린룸인 경우 공급 공기량과 배기 공기량을 측정해야 합니다. 단방향 층류 클린룸인 경우 풍속을 측정해야 합니다.
2. 구역 간 공기 흐름 제어: 구역 간 공기 흐름의 올바른 방향, 즉 고수준 청정 구역에서 저수준 청정 구역으로의 방향을 증명하기 위해서는 다음 사항을 검출해야 합니다. 각 구역 간 압력 차이가 올바른지 여부, 벽, 바닥 등의 입구 또는 개구부에서의 공기 흐름 방향이 올바른지 여부, 즉 고수준 청정 구역에서 저수준 청정 구역으로의 방향이 올바른지 여부.
3. 격리 누출 탐지: 이 테스트는 부유 오염 물질이 건축 자재를 통과하여 청정실로 유입되지 않는다는 것을 증명하기 위한 것입니다.
4. 실내 기류 제어: 기류 제어 시험 유형은 클린룸의 기류 모드(난류 또는 단방향)에 따라 달라집니다. 클린룸의 기류가 난류인 경우, 실내에 기류가 부족한 구역이 없는지 확인해야 합니다. 단방향 기류인 경우, 실내 전체의 기류 속도와 방향이 설계 요건을 충족하는지 확인해야 합니다.
5. 부유 입자 농도 및 미생물 농도: 위의 시험이 요구사항을 충족하는 경우, 입자 농도 및 미생물 농도(필요한 경우)를 측정하여 클린룸 설계에 대한 기술 조건을 충족하는지 확인합니다.
6. 기타 테스트: 위에서 언급한 오염 방지 테스트 외에도 때로는 다음 테스트 중 하나 이상을 수행해야 합니다: 온도, 상대 습도, 실내 난방 및 냉방 용량, 소음 값, 조도, 진동 값 등.
게시일: 2023년 5월 30일