반도체 칩 생산 작업장, 집적 회로 무분진 작업장, 디스크 제조 작업장 등으로 대표되는 전자 클린룸은 입자 제어는 물론 온도 및 습도, 조명, 미세 충격 제어에 있어서도 더욱 엄격한 기준을 적용합니다. 생산 제품에 미치는 정전기의 영향을 철저히 제거하여 청정 환경에서 전자 제품 생산 공정의 요구 사항을 충족해야 합니다.
전자 클린룸의 온도와 습도는 생산 공정 요구 사항에 따라 결정되어야 합니다. 생산 공정에 특별한 요구 사항이 없는 경우, 온도는 20~26°C, 상대 습도는 30~70%로 유지할 수 있습니다. 인원용 클린룸 및 생활 공간의 온도는 16~28°C로 유지할 수 있습니다. 국제 ISO 표준을 준수하는 중국 국가 표준 GB-50073에 따르면, 이러한 유형의 클린룸은 청정도 등급이 1~9로 구분됩니다. 1~5등급은 공기 흐름 방식이 단방향 또는 혼합 흐름이고, 6등급은 비단방향 흐름이며 공기 교환율은 시간당 50~60회, 7등급은 비단방향 흐름이며 공기 교환율은 시간당 15~25회, 8~9등급은 비단방향 흐름이며 공기 교환율은 시간당 10~15회입니다.
현행 규격에 따르면 10,000급 전자 클린룸 내부의 소음 수준은 65dB(A)를 초과해서는 안 됩니다.
1. 전자 클린룸에서 수직 흐름 클린룸의 전체 비율은 60% 이상이어야 하며, 수평 단방향 흐름 클린룸의 비율은 40% 이상이어야 합니다. 그렇지 않으면 부분적인 단방향 흐름 클린룸이 됩니다.
2. 전자 클린룸과 실외 사이의 정압 차이는 10Pa 이상이어야 하며, 클린 구역과 공기 청정도가 다른 비클린 구역 사이의 정압 차이는 5Pa 이상이어야 합니다.
3. 10000급 전자 클린룸의 신선 공기량은 다음 두 항목의 값을 가져야 합니다.
4. 실내 양압을 유지하는 데 필요한 실내 배기량과 신선 공기량의 합을 보상합니다.
5. 클린룸에 1인당 시간당 공급되는 신선한 공기의 양이 40제곱미터 이상이 되도록 하십시오.
게시 시간: 2024년 4월 8일