칩 생산 작업장, 집적회로 무진공 작업장, 디스크 제조 작업장으로 대표되는 전자 클린룸은 엄격한 입자 관리 외에도 온도 및 습도 관리, 조명, 미세 충격에 대한 엄격한 요건을 준수합니다. 생산 제품에 대한 정전기 영향을 엄격하게 제거하여 전자 제품의 생산 공정 요건을 충족하는 깨끗한 환경을 조성합니다.
전자 클린룸의 온도와 습도는 생산 공정 요구 사항에 따라 결정해야 합니다. 생산 공정에 대한 특정 요구 사항이 없는 경우 온도는 20-26°C이고 상대 습도는 30%-70%입니다. 직원 클린룸과 거실의 온도는 16-28°C입니다. 국제 ISO 표준과 일치하는 중국 국가 표준 GB-50073에 따르면 이 유형의 클린룸의 청정도 수준은 1-9입니다. 그 중 1-5등급은 공기 흐름 패턴이 단방향 흐름 또는 혼합 흐름입니다. 6등급 공기 흐름 패턴은 단방향이 아니며 공기 교환은 50-60회/h입니다. 7등급 공기 흐름 유형은 단방향이 아니며 공기 교환은 15-25회/h입니다. 8-9등급 공기 흐름 유형은 단방향이 아니며 공기 교환은 10-15회/h입니다.
현재 규격에 따르면 10,000등급 전자 청정실의 소음 수준은 65dB(A)를 초과해서는 안 됩니다.
1. 전자 청정실의 수직 흐름 청정실의 전 비율은 60% 이상이어야 하며, 수평 단방향 흐름 청정실은 40% 이상이어야 합니다. 그렇지 않으면 부분 단방향 흐름이 됩니다.
2. 전자 청정실과 실외의 정압차는 10Pa 이상이어야 하며, 청정구역과 공기 청정도가 다른 비청정구역의 정압차는 5Pa 이상이어야 합니다.
3. 10000급 전자 청정실의 신선한 공기량은 다음 두 항목의 값으로 합니다.
4. 실내 양압값을 유지하기 위해 필요한 실내 배기풍량과 신선한 공기량의 합을 보상합니다.
5. 1인당 1시간 동안 청정실에 공급되는 신선한 공기의 양이 40제곱미터 이상인지 확인하십시오.
게시 시간: 2024년 4월 8일