입자의 엄격한 제어 외에도 칩 생산 작업장, 집적 회로 먼지 없는 작업장 및 디스크 제조 작업장으로 대표되는 전자 클린룸은 온도 및 습도 제어, 조명 및 미세 충격에 대한 요구 사항도 더 엄격합니다.환경이 깨끗한 환경에서 전자 제품의 생산 공정 요구 사항을 충족할 수 있도록 생산 제품에 대한 정전기의 영향을 엄격히 제거합니다.
전자 클린룸의 온도와 습도는 생산 공정 요구 사항에 따라 결정되어야 합니다.생산 공정에 대한 특별한 요구 사항이 없는 경우 온도는 20~26°C, 상대 습도는 30%~70%입니다.직원 클린룸과 거실의 온도는 16-28℃가 될 수 있습니다.국제 ISO 표준과 일치하는 중국 국가 표준 GB-50073에 따르면 이러한 유형의 클린룸의 청결도 수준은 1-9입니다.그 중 클래스 1-5의 공기 흐름 패턴은 단방향 흐름 또는 혼합 흐름입니다.클래스 6 공기 흐름 패턴은 비단방향 흐름이며 공기 변화는 50-60회/시간입니다.클래스 7 공기 흐름 유형은 비단방향 흐름이며 공기 변화는 15-25회/h입니다.클래스 8-9 공기 흐름 유형은 비단방향 흐름이며 공기 변화는 10-15회/시간입니다.
현재 사양에 따르면 클래스 10,000 전자 클린룸 내 소음 수준은 65dB(A)를 초과해서는 안 됩니다.
1. 전자 클린룸의 수직 흐름 클린룸의 전체 비율은 60% 이상이어야 하며, 수평 단방향 흐름 클린룸은 40% 이상이어야 합니다. 그렇지 않으면 부분적인 단방향 흐름이 됩니다.
2. 전자클린룸과 옥외간의 정압차는 10Pa 이상이어야 하며, 청정구역과 공기청정도가 다른 비청정구역 간의 정압차는 5Pa 이상이어야 한다.
3. 클래스 10000 전자 클린룸의 신선한 공기량은 다음 두 항목의 값을 취해야 합니다.
4. 실내 양압값을 유지하는데 필요한 실내 배기량과 신선 공기량의 합을 보상합니다.
5. 클린룸에 공급되는 신선한 공기의 양은 1인당 시간당 40제곱미터 이상이어야 합니다.
게시 시간: 2024년 4월 8일