클린룸은 공간 내 공기 중 입자를 제어하기 위해 특별히 설계된 밀폐된 건물입니다. 일반적으로 클린룸은 온도, 습도, 공기 흐름 패턴, 진동 및 소음과 같은 환경적 요소도 제어합니다. 그렇다면 클린룸은 무엇으로 구성되어 있을까요? 다음 다섯 가지 구성 요소를 살펴보겠습니다.
1. 구획
클린룸 구획은 탈의실, 1000급 클린 구역, 100급 클린 구역의 세 부분으로 나뉩니다. 탈의실과 1000급 클린 구역에는 에어 샤워가 설치되어 있습니다. 클린룸과 실외 구역에도 에어 샤워가 설치되어 있습니다. 패스 박스는 클린룸으로 반입 및 반출되는 물품에 사용됩니다. 사람이 클린룸에 들어갈 때는 반드시 에어 샤워를 통과하여 인체에 묻은 먼지를 제거하고 작업자가 클린룸으로 반입하는 먼지를 줄여야 합니다. 패스 박스는 물품에 묻은 먼지를 불어내어 먼지 제거 효과를 냅니다.
2. 공기 시스템 흐름도
이 시스템은 새로운 에어컨과 FFU 시스템을 사용합니다.
(1) 신선한 공기 공급 박스 구조
(2)FFU 팬 필터 유닛
클래스 1000 클린룸의 필터는 여과 효율이 99.997%인 HEPA 필터를 사용하고, 클래스 100 클린룸의 필터는 여과 효율이 99.9995%인 ULPA 필터를 사용합니다.
3. 급수 시스템 흐름도
급수 시스템은 1차측과 2차측으로 나뉩니다.
1차측 수온은 7~12℃로, 에어컨 박스와 팬코일 유닛에 공급되고, 2차측 수온은 12~17℃로, 드라이 코일 시스템에 공급됩니다. 1차측과 2차측의 물은 판형 열교환기로 연결된 두 개의 서로 다른 회로를 이룹니다.
판형 열교환기 원리
건식 코일: 비응축 코일입니다. 정화 작업장의 온도는 22℃이고 이슬점 온도는 약 12℃이므로 7℃의 물은 클린룸에 직접 유입될 수 없습니다. 따라서 건식 코일로 유입되는 물의 온도는 12~14℃ 사이입니다.
4. 제어 시스템(DDC) 온도: 건식 코일 시스템 제어
습도: 에어컨은 감지된 신호를 통해 3방향 밸브의 개방을 제어하여 에어컨 코일로 유입되는 물의 양을 조절합니다.
정압 조절: 에어컨은 정압 감지 신호에 따라 에어컨 모터 인버터의 주파수를 자동으로 조절하여 클린룸으로 유입되는 신선한 공기의 양을 조절합니다.
5. 기타 시스템
클린룸 시스템은 에어컨 시스템뿐만 아니라 진공, 공기압, 질소, 순수, 폐수, 이산화탄소 시스템, 공정 배기 시스템 및 테스트 표준을 포함합니다.
(1) 공기 흐름 속도 및 균일성 시험. 이 시험은 클린룸의 다른 시험 효과를 위한 전제 조건입니다. 이 시험의 목적은 클린룸의 단방향 흐름 작업 영역의 평균 공기 흐름 및 균일성을 명확히 하는 것입니다.
(2) 시스템 또는 실내의 공기량 감지.
(3) 실내 청결도 감지. 청결도 감지는 클린룸에서 달성 가능한 공기 청결도 수준을 결정하는 것이며 입자계수기를 사용하여 감지할 수 있다.
(4) 자가 세척 시간 감지. 자가 세척 시간을 측정함으로써 클린룸 내부에서 오염이 발생했을 때 클린룸의 원래 청결도를 회복하는 능력을 확인할 수 있다.
(5). 공기 흐름 패턴 감지.
(6). 노이즈 감지.
(7)조명 감지. 조도 테스트의 목적은 클린룸의 조도 수준과 조도 균일성을 확인하는 것입니다.
(8)진동 감지. 진동 감지의 목적은 클린룸 내 각 디스플레이의 진동 진폭을 측정하는 것입니다.
(9) 온도 및 습도 감지. 온도 및 습도 감지의 목적은 온도 및 습도를 특정 한계 내에서 조절하는 능력이다. 그 내용은 클린룸의 공급 공기 온도 감지, 대표 측정 지점의 공기 온도 감지, 클린룸 중심점의 공기 온도 감지, 민감 부품의 공기 온도 감지, 실내 공기의 상대 온도 감지 및 환기 공기 온도 감지를 포함한다.
(10) 총 공기량 및 신선한 공기량의 감지.
게시 시간: 2024년 1월 24일