클린룸은 우주 공간의 공기 중 입자를 제어하기 위해 특별히 건설된 밀폐형 건물입니다. 일반적으로 클린룸은 온도와 습도, 기류 이동 패턴, 진동 및 소음과 같은 환경 요인도 제어합니다. 그렇다면 클린룸은 무엇으로 구성되어 있을까요? 다섯 가지 요소를 설명해 드리겠습니다.
1. 구획
클린룸은 탈의실, 1000등급 클린룸, 100등급 클린룸의 세 부분으로 나뉩니다. 탈의실과 1000등급 클린룸에는 에어샤워가 설치되어 있습니다. 클린룸과 실외 공간에는 에어샤워가 설치되어 있습니다. 패스박스는 클린룸에 물품이 들어오고 나가는 데 사용됩니다. 사람이 클린룸에 들어가면 먼저 에어샤워를 통과하여 인체에서 운반되는 먼지를 불어내고, 작업자가 클린룸으로 유입하는 먼지를 줄여야 합니다. 패스박스는 물품에서 먼지를 불어내어 먼지 제거 효과를 얻습니다.
2. 공기 시스템 흐름도
이 시스템은 새로운 에어컨 + FFU 시스템을 사용합니다.
(1) 신선공조 박스 구조
(2).FFU 팬 필터 유닛
1000등급 클린룸의 필터는 여과 효율이 99.997%인 HEPA를 사용하고, 100등급 클린룸의 필터는 여과 효율이 99.9995%인 ULPA를 사용합니다.
3. 물 시스템 흐름도
급수 시스템은 1차측과 2차측으로 구분됩니다.
1차측 수온은 7~12℃이며, 공조 박스와 팬 코일 유닛에 공급되고, 2차측 수온은 12~17℃이며, 건식 코일 시스템에 공급됩니다. 1차측과 2차측의 물은 판형 열교환기로 연결된 두 개의 서로 다른 회로로 구성됩니다.
판형 열교환기 원리
건식 코일: 비응축 코일입니다. 정화 작업장의 온도가 22°C이고 이슬점이 약 12°C이므로 7°C의 물은 클린룸으로 직접 유입될 수 없습니다. 따라서 건식 코일로 유입되는 물의 온도는 12~14°C입니다.
4. 제어 시스템(DDC) 온도: 건식 코일 시스템 제어
습도: 에어컨은 감지된 신호를 통해 3방향 밸브의 개도를 제어하여 에어컨 코일의 물 유입량을 조절합니다.
양압: 에어컨 조정은 정압 감지 신호에 따라 에어컨 모터 인버터의 주파수를 자동으로 조정하여 청정실로 유입되는 신선한 공기의 양을 조절합니다.
5. 기타 시스템
클린룸 시스템에는 공조 시스템뿐만 아니라 진공, 공기압, 질소, 순수, 폐수, 이산화탄소 시스템, 공정 배기 시스템 및 테스트 표준도 포함됩니다.
(1) 공기 흐름 속도 및 균일성 시험. 이 시험은 클린룸의 다른 시험 효과를 위한 전제 조건입니다. 이 시험의 목적은 클린룸 내 단방향 흐름 작업 영역의 평균 공기 흐름 및 균일성을 명확히 하는 것입니다.
(2) 시스템 또는 실내의 풍량 감지.
(3) 실내 청정도 측정. 청정도 측정은 클린룸에서 달성 가능한 공기 청정도 수준을 결정하는 것으로, 입자 계수기를 사용하여 이를 측정할 수 있습니다.
(4) 자가세척 시간 측정. 자가세척 시간을 측정함으로써 클린룸 내부 오염 발생 시 클린룸의 원래 청정도를 회복할 수 있는 능력을 확인할 수 있다.
(5). 공기 흐름 패턴 감지.
(6). 소음 감지.
(7) 조도 측정. 조도 측정의 목적은 클린룸의 조도 수준과 조도 균일성을 확인하는 것이다.
(8) 진동 감지. 진동 감지의 목적은 클린룸 내 각 디스플레이의 진동 진폭을 결정하는 것입니다.
(9) 온도 및 습도 감지. 온도 및 습도 감지의 목적은 온도와 습도를 특정 범위 내에서 조절하는 것입니다. 여기에는 클린룸의 급기 온도 감지, 대표 측정 지점의 공기 온도 감지, 클린룸 중심점의 공기 온도 감지, 민감 부품의 공기 온도 감지, 실내 공기의 상대 온도 감지, 그리고 환수 온도 감지가 포함됩니다.
(10) 총풍량 및 신선풍량 검출.
게시 시간: 2024년 1월 24일