클린룸은 공간 내 공기 중의 입자를 제어하기 위해 건설된 특수한 폐쇄형 건물입니다.일반적으로 클린룸은 온도 및 습도, 기류 이동 패턴, 진동 및 소음과 같은 환경 요인도 제어합니다.그렇다면 클린룸은 무엇으로 구성되어 있을까요?다섯 가지 부분을 정리하는 데 도움을 드리겠습니다.
1. 구획
클린 룸 구획은 탈의실, 클래스 1000 청정 영역 및 클래스 100 청정 영역의 세 부분으로 나뉩니다.탈의실과 클래스 1000 청정구역에는 에어샤워가 설치되어 있습니다.클린룸과 실외 공간에는 에어샤워가 설치되어 있습니다.패스박스는 클린룸에 출입하는 물품에 사용됩니다.사람들이 클린룸에 들어갈 때 먼저 에어 샤워를 통과하여 인체에 운반된 먼지를 불어내고 직원이 클린룸으로 가져온 먼지를 줄여야 합니다.패스박스는 물품의 먼지를 날려 먼지 제거 효과를 얻습니다.
2. 공기 시스템 흐름도
시스템은 새로운 에어컨 + FFU 시스템을 사용합니다.
(1).신선한 에어컨 박스 구조
(2).FFU 팬 필터 장치
클래스 1000 클린룸의 필터는 HEPA를 사용하여 여과 효율이 99.997%이고, 클래스 100 클린룸의 필터는 ULPA를 사용하여 여과 효율이 99.9995%입니다.
3. 물 시스템 흐름도
급수 시스템은 1차측과 2차측으로 구분됩니다.
1차측 수온은 7~12℃로 에어컨 박스 및 팬코일 유닛에 공급되며, 2차측 수온은 12~17℃로 드라이코일 시스템에 공급됩니다.1차측과 2차측의 물은 판형 열교환기로 연결된 두 개의 서로 다른 회로입니다.
판형 열교환기 원리
건식 코일: 비응결 코일.정화 작업장의 온도는 22℃이고 이슬점 온도는 약 12℃이므로 7℃의 물은 클린룸에 직접 들어갈 수 없습니다.따라서 건식 코일에 들어가는 물의 온도는 12~14℃입니다.
4. 제어 시스템(DDC) 온도: 건식 코일 시스템 제어
습도: 에어컨은 감지된 신호를 통해 3방향 밸브의 열림을 제어하여 에어컨 코일의 물 유입량을 조절합니다.
양압: 에어컨 조정은 정압 감지 신호에 따라 에어컨 모터 인버터의 주파수를 자동으로 조정하여 클린룸으로 들어오는 신선한 공기의 양을 조정합니다.
5. 기타 시스템
공조 시스템뿐만 아니라 클린룸 시스템에는 진공, 기압, 질소, 순수, 폐수, 이산화탄소 시스템, 공정 배기 시스템 및 테스트 표준도 포함됩니다.
(1).공기 흐름 속도 및 균일성 테스트.이 테스트는 클린룸의 다른 테스트 효과를 위한 전제 조건입니다.이 테스트의 목적은 클린룸 내 단방향 흐름 작업 영역의 평균 공기 흐름과 균일성을 명확히 하는 것입니다.
(2).시스템이나 공간의 풍량 감지.
(삼).실내 청결도 감지.청정도 검출은 클린룸에서 달성할 수 있는 공기 청정도 수준을 결정하는 것이며, 입자 계수기를 사용하여 이를 검출할 수 있습니다.
(4).자체 청소 시간 감지.셀프클리닝 시간을 결정함으로써 클린룸 내부에 오염이 발생한 경우 클린룸 본래의 청정도를 회복할 수 있는 능력을 확인할 수 있습니다.
(5).공기 흐름 패턴 감지.
(6).소음 감지.
(7). 조명 감지.조명 테스트의 목적은 클린룸의 조명 수준과 조명 균일성을 결정하는 것입니다.
(8).진동 감지.진동 감지의 목적은 클린룸 내 각 디스플레이의 진동 진폭을 결정하는 것입니다.
(9).온도와 습도를 감지합니다.온도 및 습도 감지의 목적은 특정 한계 내에서 온도 및 습도를 조정하는 기능입니다.그 내용에는 클린룸의 공급 공기 온도 감지, 대표 측정 지점의 공기 온도 감지, 클린룸 중심점의 공기 온도 감지, 민감한 구성 요소의 공기 온도 감지, 실내 공기의 상대 온도 감지 및 감지가 포함됩니다. 반환 공기 온도.
(10).총 공기량과 신선한 공기량을 감지합니다.
게시 시간: 2024년 1월 24일