① 클린룸은 많은 에너지를 소비합니다. 클린룸의 에너지 소비량에는 클린룸 내 생산 장비에서 사용하는 전력, 난방 및 냉방, 정화 공조 시스템의 전력 소비량, 열 소비량 및 냉각 부하, 냉동 장치 및 배기 처리의 전력 소비량이 포함됩니다. 장치의 전력 소비량 및 열 소비량, 각종 고순도 물질의 제조 및 운반의 전력 소비량, 열 소비량 및 냉각 부하, 각종 전력 공공 시설의 전력 소비량, 열 소비량, 냉각 및 조명 전력 소비량이 포함됩니다. 동일 면적의 클린룸 에너지 소비량은 사무실 건물의 10배, 심지어 그 이상입니다. 전자 산업의 일부 클린룸은 넓은 공간, 넓은 면적, 그리고 큰 부피를 필요로 합니다. 과학기술의 발전으로 전자 제품 생산의 대규모화 및 고신뢰성 성능 요건을 충족하기 위해 연속 생산을 위한 여러 공정이 통합된 대규모 정밀 생산 장비가 자주 사용됩니다. 이를 위해 넓은 건물 면적, 클린 생산 구역, 그리고 상하부 기술에 배치되어야 합니다. '메자닌'은 넓은 공간과 대규모 클린룸 건물이 결합된 형태입니다.
② 전자 산업의 클린룸에는 관련 운송 파이프라인과 필요한 배기 처리 시설이 설치되는 경우가 많습니다. 이러한 배기 처리 시설은 에너지를 소비할 뿐만 아니라 클린룸의 공기 공급량도 증가시킵니다. 전자 제품 클린룸은 많은 에너지를 소비합니다. 청정 생산 환경을 충족하는 데 필요한 공기 정화 시설(공조 시스템, 냉난방 시스템 포함)은 많은 에너지를 소비합니다. 공기 청정도 요구 조건이 엄격할수록 청정 공기 공급량과 대량의 신선 공기량으로 인해 에너지 소비량이 많아지고, 거의 연중무휴 밤낮으로 가동됩니다.
③ 다양한 에너지 소비 시설의 연속 사용. 다양한 클린룸의 공기 청정도 일관성, 다양한 실내 기능 파라미터의 안정성, 그리고 제품 생산 공정의 요구를 보장하기 위해 많은 클린룸은 일반적으로 24시간 온라인 운영됩니다. 클린룸의 연속 운영으로 인해 제품 생산 공정 요구 사항이나 클린룸 생산 계획에 따라 전력 공급, 냉각, 난방 등을 계획해야 하며, 다양한 에너지원을 적시에 공급할 수 있어야 합니다. 다양한 유형의 클린룸의 에너지 소비는 제품 생산 장비 및 냉각수의 에너지 공급 외에도 제품 종류와 밀접한 관련이 있는 고순도 물질, 화학 물질 및 특수 가스의 에너지 공급 외에도 제품 종류 및 생산 공정에 따라 달라집니다. 전체 에너지 소비의 상당 부분은 냉동기 및 정화 공조 시스템의 전력 및 냉각(열) 에너지 소비입니다.
④ 제품 생산 공정 요건 및 클린룸의 환경 관리 요건에 따라, 겨울철, 환절기, 여름철 등 계절에 관계없이 60°C 미만의 소위 "저열" 에너지에 대한 수요가 있습니다. 예를 들어, 정화용 공조 시스템은 겨울철과 환절기에 실외의 신선한 공기를 데우기 위해 다양한 온도의 온수를 공급해야 하지만, 계절에 따라 열 공급량이 다릅니다. 전자 제품 생산을 위해 클린룸에서는 대량의 순수가 주로 사용됩니다. 집적회로 칩 제조 및 TFT-LCD 패널 제조 공정에서 시간당 순수 소비량은 수백 톤에 달합니다. 필요한 품질의 순수를 얻기 위해 일반적으로 RO 역삼투압 기술이 사용됩니다. RO 장비는 수온을 약 25°C로 유지해야 하며, 일정 온도의 온수를 공급해야 하는 경우가 많습니다. 일부 기업 조사에 따르면, 최근 몇 년 동안 클린룸에서 냉동 칠러의 응축열과 같은 저준위 열에너지를 활용하여 약 40°C의 저온 온수를 공급하는 방식이 점차 확대되고 있습니다. 이는 기존 난방/예열에 사용되던 저압 증기나 고온 온수를 대체하여 에너지 절감 및 경제적 효과를 달성했습니다. 따라서 클린룸은 저준위 열원이라는 "자원"과 저준위 열에너지에 대한 수요를 모두 갖추고 있습니다. 이는 저준위 열에너지를 통합하고 활용하여 에너지 소비를 줄이는 클린룸의 중요한 특징 중 하나입니다.
게시 시간: 2023년 11월 14일