① 클린룸은 에너지 소비량이 매우 높습니다. 클린룸 내 생산 설비의 전기, 열, 냉방, 정화 공조 시스템의 전력 소비, 열 소비 및 냉방 부하, 냉동 장치 및 배기 처리 장치의 전력 소비, 각종 고순도 물질의 준비 및 운송에 필요한 전력 소비, 열 소비 및 냉방 부하, 각종 공공 전력 시설의 전력 소비, 열 소비, 냉방 및 조명 전력 소비 등이 모두 에너지 소비에 포함됩니다. 동일 면적의 클린룸 에너지 소비량은 일반 사무실 건물의 10배 이상입니다. 전자 산업 분야의 일부 클린룸은 넓은 공간과 대용량을 필요로 합니다. 과학 기술의 발전과 함께 전자 제품 생산의 대규모화 및 고신뢰성 성능 요구 사항을 충족하기 위해 여러 공정이 통합된 대규모 정밀 생산 설비가 연속 생산에 널리 사용되고 있습니다. 이를 위해서는 넓은 건축 면적, 청정 생산 구역, 그리고 상하위 기술 설비가 필수적입니다. "메자닌"은 넓은 공간이자 대규모 클린룸 건물이 결합된 형태입니다.
② 전자 산업의 클린룸에는 관련 수송 파이프라인과 필수적인 배기가스 처리 시설이 설치되는 경우가 많습니다. 이러한 배기가스 처리 시설은 에너지를 소비할 뿐만 아니라 클린룸의 공기 공급량을 증가시킵니다. 전자 제품용 클린룸은 에너지 소비량이 매우 높습니다. 청정 생산 환경을 충족하기 위해 필요한 공기 정화 시설, 즉 공기 정화 공조 시스템과 냉난방 시스템 등은 막대한 에너지를 소비합니다. 공기 청정도 요구 조건이 엄격할수록 청정 공기 공급량과 신선 공기 유입량이 많아 에너지 소비량이 증가하고, 연중 거의 매일 밤낮으로 계속 가동되어야 합니다.
③다양한 에너지 소비 설비의 지속적인 사용. 다양한 클린룸의 공기 청정도 일관성 유지, 다양한 실내 기능 매개변수의 안정성 확보, 그리고 제품 생산 공정의 요구 사항을 충족하기 위해 많은 클린룸은 일반적으로 24시간 내내 가동됩니다. 클린룸의 지속적인 가동으로 인해 전력 공급, 냉방, 난방 등은 제품 생산 공정 요구 사항 또는 클린룸 내 생산 계획에 따라 스케줄링되어야 하며, 다양한 에너지원을 적시에 공급해야 합니다. 다양한 유형의 클린룸 에너지 소비에서 제품 종류와 밀접하게 관련된 제품 생산 설비 및 냉각수, 고순도 물질, 화학 물질 및 특수 가스의 에너지 공급 외에도, 클린룸 내 에너지 공급은 제품 종류 및 생산 공정에 따라 변화합니다. 총 에너지 소비량의 상당 부분은 냉동 장비 및 정화 공조 시스템의 전기 및 냉방(난방) 에너지 소비입니다.
④ 제품 생산 공정 요구사항 및 클린룸의 환경 제어 요구사항에 따라, 겨울, 환절기, 여름철을 막론하고 60℃ 이하의 "저온 열에너지"가 필요합니다. 예를 들어, 공기 정화 시스템은 겨울과 환절기에 외부 신선 공기를 가열하기 위해 다양한 온도의 온수를 공급해야 하는데, 계절에 따라 공급되는 열량이 다릅니다. 클린룸에서는 전자 제품 생산을 위해 대량의 순수가 사용됩니다. 집적회로 칩 제조 및 TFT-LCD 패널 제조 공정에서 시간당 순수 소비량은 수백 톤에 달합니다. 필요한 수질의 순수를 얻기 위해 일반적으로 역삼투압(RO) 기술이 사용됩니다. RO 장비는 물의 온도를 약 25℃로 유지해야 하며, 종종 특정 온도의 온수를 공급해야 합니다. 일부 기업의 연구 결과에 따르면, 최근 몇 년 동안 클린룸에서는 냉동기의 응축열과 같은 저온 열에너지를 활용하여 약 40°C의 저온 온수를 공급하는 사례가 점차 늘어나고 있습니다. 이는 기존의 저압 증기나 고온 온수를 이용한 난방/예열 방식을 대체하여 에너지 절감 및 경제적 효과를 거두고 있습니다. 따라서 클린룸은 저온 열에너지라는 "자원"과 "수요"를 모두 가지고 있습니다. 저온 열에너지를 통합 및 활용하여 에너지 소비를 줄이는 것이 클린룸의 중요한 특징 중 하나입니다.
게시 시간: 2023년 11월 14일