① 클린룸은 에너지 소비량이 크다.에너지 소비량에는 클린룸의 생산 장비에서 사용되는 전기, 열 및 냉각, 정화 공조 시스템의 전력 소비, 열 소비 및 냉각 부하, 냉동 장치 및 배기 처리의 전력 소비가 포함됩니다.기기의 전력사용량 및 열사용량, 각종 고순도 물질의 조제 및 운반에 따른 전력사용량, 열사용량 및 냉방부하, 각종 전력공공시설의 전력사용량, 열사용량, 냉방 및 조명 전력사용량.같은 면적에 있는 클린룸의 에너지 소비량은 사무용 건물의 10배 이상입니다.전자 산업의 일부 클린룸에는 넓은 공간, 넓은 면적 및 대용량이 필요합니다.과학 기술의 발전과 함께 전자 제품 생산의 대규모 및 고신뢰성 성능 요구 사항을 충족하기 위해 연속 생산을 위해 여러 프로세스가 통합된 대규모 정밀 생산 장비가 종종 사용됩니다.이를 위해서는 넓은 건축면적, 청정생산면적, 상하위 기술에 배치되어야 한다."메자닌"은 넓은 공간과 대규모 클린룸이 결합된 건물입니다.
② 해당 운송 파이프라인과 필요한 배기 처리 시설은 전자 산업의 클린룸에 설치되는 경우가 많습니다.이러한 배기 처리 시설은 에너지를 소비할 뿐만 아니라 클린룸의 공기 공급량을 증가시킵니다.전자제품의 클린룸은 에너지를 많이 소모합니다.청정공조시스템, 냉난방시스템 등 깨끗한 생산환경을 충족시키기 위해 필요한 공기정화시설은 많은 에너지를 소모합니다.공기청정도 요구사항이 엄격할 경우 청정공기 공급량과 신선공기량이 많아 에너지 소모가 크고 연중 거의 매일 주야간 연속 운전됩니다.
③다양한 에너지를 소비하는 설비의 계속 사용.다양한 클린룸의 공기 청정도 수준의 일관성, 다양한 실내 기능 매개변수의 안정성 및 제품 생산 공정의 요구 사항을 보장하기 위해 많은 클린룸은 일반적으로 밤낮 24시간 온라인으로 운영됩니다.클린룸의 지속적인 운영으로 인해 클린룸 내 제품 생산 공정 요구 사항이나 생산 계획 배치에 따라 전원 공급, 냉각, 가열 등이 일정화되어야 하며 다양한 에너지원을 적시에 공급할 수 있습니다.각종 클린룸의 에너지 소비량에 있어서는 제품생산설비 및 냉각수의 에너지공급, 제품다양성과 밀접한 고순도 물질, 화학약품, 특수가스 외에 클린룸 내 에너지공급이 변화됩니다. 제품의 다양성과 생산과정을 통해전체 에너지 소비의 큰 부분은 냉동 기계 및 정화 공조 시스템의 전기 및 냉각(열) 에너지 소비입니다.
④ 제품 생산 공정 요구 사항 및 클린룸의 환경 관리 요구 사항에 따라 겨울, 전환기 또는 여름을 막론하고 온도가 60℃ 이하인 소위 "저준위 열에너지"에 대한 수요가 있습니다.예를 들어, 정화 공조 시스템은 겨울과 전환기 계절에 실외의 신선한 공기를 가열하기 위해 다양한 온도의 온수 공급이 필요하지만 열 공급은 계절에 따라 다릅니다.전자제품 생산을 위한 클린룸에서는 다량의 순수가 주로 사용됩니다.집적회로 칩 제조 및 TFT-LCD 패널 제조 공정에서 시간당 순수 물 소비량은 수백 톤에 이릅니다.필요한 품질의 순수한 물을 얻기 위해 일반적으로 RO 역삼투 기술이 사용됩니다.RO 장비는 수온이 25°C 내외를 유지해야 하며, 특정 온도의 온수를 공급해야 하는 경우가 많다.일부 기업에 대한 연구에 따르면 최근에는 냉동기의 응축열과 같은 클린룸의 낮은 열 에너지가 점차적으로 40°C 정도의 저온 온수를 제공하는 데 사용되어 원래의 낮은 열 에너지 사용을 대체하고 있는 것으로 나타났습니다. -가열/예열을 위한 압력 증기 또는 고온 온수로 에너지 절약 및 경제적 이점을 명백히 달성했습니다.따라서 클린룸에는 낮은 수준의 열원이라는 "자원"과 낮은 수준의 열 에너지에 대한 수요가 모두 있습니다.이는 저열에너지를 집적, 활용하여 에너지 소비를 줄이는 클린룸의 중요한 특징 중 하나입니다.
게시 시간: 2023년 11월 14일