오늘날 다양한 산업의 발전은 매우 빠르며 제품이 지속적으로 업데이트되고 제품 품질 및 생태 환경에 대한 요구 사항이 높아집니다. 이는 다양한 산업에서도 클린룸 설계에 대한 요구 사항이 더 높아질 것임을 나타냅니다.
클린룸 설계 기준
중국의 클린룸 설계 코드는 GB50073-2013 표준입니다. 클린룸 및 클린 구역의 공기 청정도 정수 수준은 다음 표에 따라 결정되어야 합니다.
| 수업 | 최대 입자/m3 | FED STD 209E동등 | |||||
| >=0.1μm | >=0.2μm | >=0.3μm | >=0.5μm | >=1μm | >=5μm | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1등급 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | 클래스 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 클래스 100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 클래스 1,000 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | 클래스 10,000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 클래스 100,000 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 룸에어 | |||
클린룸 내 공기 흐름 패턴 및 공급 공기량
1. 기류 패턴의 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 크린룸(면적)의 기류 패턴 및 공급 공기량은 요구 사항을 충족해야 합니다. 공기 청정도 수준 요구 사항이 ISO 4보다 엄격한 경우 단방향 흐름을 사용해야 합니다. 공기 청정도가 ISO 4와 ISO 5 사이인 경우 단방향 흐름을 사용해야 합니다. 공기 청정도가 ISO 6-9인 경우 비단방향 흐름을 사용해야 합니다.
(2) 클린룸 작업 공간의 기류 분포는 균일해야 합니다.
(3) 클린룸 작업 공간의 기류 속도는 생산 공정 요구 사항을 충족해야 합니다.
2. 클린룸의 급기량은 다음 3가지 항목 중 최대값을 취해야 합니다.
(1) 공기 청정도 요구 사항을 충족하는 공급 공기량.
(2) 열 및 습도 부하 계산에 따라 결정되는 공기 공급량.
(3) 실내 배기량을 보충하고 실내 양압을 유지하는 데 필요한 신선한 공기량의 합. 클린룸 내 각 사람에게 공급되는 신선한 공기는 시간당 40m 이상이어야 합니다.
3. 클린룸 내 각종 시설의 배치는 기류 패턴 및 공기 청정도에 미치는 영향을 고려하여 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 클린 작업대는 단방향 흐름 클린룸에 배치해서는 안 되며, 비단방향 흐름 클린룸의 환기 공기 배출구는 클린 작업대에서 멀리 떨어져 있어야 합니다.
(2) 환기가 필요한 공정 장비는 클린룸의 풍하측에 배치되어야 합니다.
(3) 난방 장비가 있는 경우, 뜨거운 공기 흐름이 기류 분포에 미치는 영향을 줄이기 위한 조치를 취해야 합니다.
(4) 잔압 밸브는 깨끗한 공기 흐름의 풍하측에 배치되어야 합니다.
공기 정화 처리
1. 공기 필터의 선택, 배치 및 설치는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 공기청정처리는 공기청정도에 따라 공기필터를 합리적으로 선택해야 한다.
(2) 에어 필터의 처리 공기량은 정격 공기량 이하로 해 주십시오.
(3) 중간 또는 헤파 공기 필터는 에어컨 상자의 양압 섹션에 집중되어야 합니다.
(4) 서브헤파필터와 헤파필터를 엔드필터로 사용할 경우에는 정화공조시스템의 끝단에 설치해야 합니다. 울트라 헤파 필터는 정화 공조 시스템의 끝부분에 설치되어야 합니다.
(5) 동일한 클린룸에 설치된 헤파(서브헤파, 울트라헤파) 에어필터의 저항효율은 유사해야 합니다.
(6) 헤파(서브헤파, 울트라헤파) 에어필터의 설치방법은 견고하고, 단순하며, 신뢰성이 있고, 누출감지 및 교체가 용이해야 한다.
2. 대규모 청정 공장의 정화 공조 시스템의 신선한 공기는 공기 정화를 위해 중앙에서 처리되어야 합니다.
3. 정화 공조 시스템의 설계는 환기를 합리적으로 활용해야 합니다.
4. 정화 공기조화 시스템의 팬은 주파수 변환 조치를 채택해야 합니다.
- 극한 지역 및 한랭 지역의 전용 실외 공기 시스템에 대한 동결 방지 조치를 취해야 합니다.
난방, 환기 및 연기 제어
1. ISO 8 이상의 공기 청정도를 갖춘 클린룸에서는 난방용 라디에이터를 사용할 수 없습니다.
2. 클린룸 내에서 분진 및 유해가스를 발생시키는 공정설비에는 국소배기장치를 설치하여야 한다.
3. 다음과 같은 경우에는 국소배기장치를 별도로 설치해야 합니다.
(1) 혼합 배기 매체는 부식성, 독성, 연소 및 폭발 위험, 교차 오염을 생성하거나 악화시킬 수 있습니다.
(2) 배기 매체에는 독성 가스가 포함되어 있습니다.
(3) 배기 매체에는 가연성 및 폭발성 가스가 포함되어 있습니다.
4. 클린룸의 배기 시스템 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 실외기류의 역류를 방지하여야 한다.
(2) 가연성 및 폭발성 물질을 포함하는 국소 배기 시스템은 물리적, 화학적 특성에 따라 상응하는 화재 및 폭발 방지 조치를 취해야 합니다.
(3) 배기 매체 내 유해 물질의 농도 및 배출 속도가 유해 물질 배출 농도 및 배출 속도에 대한 국가 또는 지역 규정을 초과하는 경우 무해한 처리를 수행해야 합니다.
(4) 수증기 및 응축성 물질을 포함하는 배기 시스템의 경우 경사면 및 배출구를 설치해야 합니다.
5. 보조생산실은 신발갈아입기, 의복보관, 세탁실, 화장실, 샤워실 등 환기조치를 하여야 하며, 실내정압값은 청정구역보다 낮아야 한다.
6. 생산 공정 요구 사항에 따라 사고 배기 시스템을 설치해야 합니다. 사고 배기장치에는 자동 및 수동 제어 스위치를 갖추어야 하며, 수동 제어 스위치는 클린룸 내부와 외부에 별도로 설치하여 조작이 용이하도록 하여야 한다.
7. 청정작업장의 배연시설 설치는 다음 규정을 준수해야 한다.
(1) 청정작업장의 대피복도에는 기계식 배연시설을 설치하여야 한다.
(2) 청정 작업장에 설치된 연기 배출 시설은 현행 국가 표준의 관련 규정을 준수해야 합니다.
클린룸 설계를 위한 기타 조치
1. 청정작업장에는 인원정화, 물질정화를 위한 공간과 시설을 갖추어야 하며 필요에 따라 거실과 기타 공간을 갖추어야 한다.
2. 개인 정화실 및 거실의 설치는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 비옷 보관, 신발 및 코트 갈아입기, 깨끗한 작업복 갈아입기 등 개인 정화를 위한 공간을 마련해야 한다.
(2) 화장실, 욕실, 샤워실, 휴게실, 기타 거실은 물론 에어샤워실, 에어록, 작업복 세탁실, 건조실 등을 필요에 따라 설치 가능합니다.
3. 개인 정화실 및 거실의 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 개인정화실 입구에는 신발을 청소할 수 있는 장치를 설치하여야 한다.
(2) 외투를 보관하는 공간과 깨끗한 작업복을 갈아입는 공간은 별도로 마련해야 한다.
(3) 겉옷 보관장은 1인당 1개의 캐비닛으로 설계해야 하며, 깨끗한 작업복은 공기를 불어넣고 샤워를 하면서 깨끗한 캐비닛에 걸어야 합니다.
(4) 화장실에는 손을 씻고 건조할 수 있는 시설을 갖추어야 한다.
(5) 에어샤워실은 청정구역의 직원 입구와 청정 작업복 탈의실과 인접해 있어야 한다. 최대 교대근무 인원수 30명당 1인 에어샤워실이 설치되어 있습니다. 청정구역에 직원이 5명 이상 있을 경우에는 에어샤워실 한쪽에 우회문을 설치해야 합니다.
(6) ISO 5보다 엄격한 수직 단방향 흐름 클린룸에는 에어록이 있어야 합니다.
(7) 깨끗한 공간에서는 화장실을 사용할 수 없습니다. 인사 정화실 내부의 화장실은 전실을 갖추어야 한다.
4. 보행자 동선은 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 보행자 동선은 왕복 교차로를 피해야 한다.
(2) 개인 정화실과 거실의 배치는 개인 정화 절차에 따라야 한다.
5. 다양한 공기 청정도와 직원 수에 따라 청정 작업장의 개인 정화실과 거실의 건축 면적을 합리적으로 결정하고 청정 구역의 평균 인원수를 기준으로 계산해야 합니다. 1인당 2㎡에서 4㎡까지 다양한 디자인을 제공합니다.
6. 깨끗한 작업복 탈의실 및 세탁실의 공기 정화 요구 사항은 제품 공정 요구 사항 및 인접한 클린 룸(구역)의 공기 청정도 수준에 따라 결정되어야 합니다.
7. 클린룸 장비 및 자재 출입구에는 장비 및 자재의 특성, 형상, 기타 특성에 따른 자재 정제실 및 시설을 갖추어야 한다. 물질 정제실의 배치는 전송 중 정제된 물질의 오염을 방지해야 합니다.
게시 시간: 2023년 7월 17일