클린룸을 설계할 때 주의해야 할 점은 무엇인가?

클린룸의 공기 흐름 패턴 및 공급 공기량

1. 공기 흐름 패턴의 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.

(1) 클린룸(구역)의 기류 패턴 및 공급 공기량은 요구사항을 충족해야 합니다. 공기 청정도 요구사항이 ISO 4보다 엄격한 경우 단방향 흐름을 사용해야 합니다. 공기 청정도가 ISO 4와 ISO 5 사이인 경우 단방향 흐름을 사용해야 합니다. 공기 청정도가 ISO 6~9인 경우 비단방향 흐름을 사용해야 합니다.

(2) 청정실 작업구역 내의 공기흐름 분포는 균일해야 한다.

(3) 청정실 작업구역의 공기흐름 속도는 생산공정 요구사항을 충족해야 한다.

2. 청정실의 공기 공급량은 다음 세 가지 항목 중 최대값을 가져야 합니다.

(1) 공기청정수준의 요구사항을 충족하는 공급공기량.

(2) 열 및 습도 부하 계산을 통해 결정되는 공기 공급량.

(3) 실내 배기풍량을 보상하고 실내 양압을 유지하기 위해 필요한 신선공기량의 합계; 청정실 내 1인당 신선공기 공급량은 시간당 40m³ 이상이어야 한다.

3. 청정실 내 각종 시설의 배치는 공기 흐름 패턴과 공기 청정도에 미치는 영향을 고려하여야 하며, 다음 규정을 준수해야 합니다.

(1) 단방향 흐름의 청정실에는 청정작업대를 배치하지 않아야 하며, 비단방향 흐름의 청정실의 환기구는 청정작업대에서 멀리 떨어져 있어야 한다.

(2) 환기가 필요한 공정장비는 청정실의 하풍측에 배치하여야 한다.

(3) 난방설비가 있는 경우 뜨거운 공기의 흐름이 공기흐름 분포에 미치는 영향을 줄이기 위한 조치를 취해야 합니다.

(4) 잔류압력밸브는 청정기류의 하풍측에 설치하여야 한다.

공기 정화 처리

1. 공기 필터의 선택, 배열 및 설치는 다음 규정을 준수해야 합니다.

(1) 공기정화처리는 공기청정수준에 따라 공기여과기를 합리적으로 선정하여야 한다.

(2) 에어필터의 처리풍량은 정격풍량 이하이어야 한다.

(3) 에어컨 박스의 양압 부분에는 중형 또는 HEPA형 공기필터를 집중적으로 설치하여야 한다.

(4) 서브헤파필터와 헤파필터를 엔드필터로 사용하는 경우, 정화형 에어컨 시스템의 마지막에 설치해야 하며, 울트라헤파필터는 정화형 에어컨 시스템의 마지막에 설치해야 합니다.

(5) 동일 청정실에 설치된 HEPA(Sub HEPA, Ultra HEPA) 공기필터의 저항효율은 유사해야 한다.

(6) HEPA(서브헤파, 울트라헤파) 공기필터의 설치방법은 견고하고 간단하며 신뢰성이 있어야 하며 누출을 쉽게 발견하고 교체할 수 있어야 합니다.

2. 대규모 청정공장의 정화형 공조시스템의 신선한 공기는 중앙에서 처리하여 공기를 정화해야 합니다.

3. 정화용 공조 시스템의 설계는 반환 공기를 합리적으로 활용해야 합니다.

4. 공기청정 시스템의 팬은 주파수 변환 조치를 취해야 합니다.

1. 극한의 추위와 한랭지에서는 전용 실외 공기 시스템에 대한 동결 방지 조치를 취해야 합니다.

난방, 환기 및 연기 제어

1. 공기 청정도가 ISO 8보다 높은 청정실에서는 난방을 위해 라디에이터를 사용할 수 없습니다.

2. 청정실 내에서 먼지나 유해가스를 발생시키는 공정장비에는 국소배기장치를 설치하여야 한다.

3. 다음과 같은 경우에는 국소배기 시스템을 별도로 설치해야 합니다.

(1) 혼합 배기 매체는 부식성, 독성, 연소 및 폭발 위험, 교차 오염을 발생시키거나 악화시킬 수 있습니다.

(2) 배기매체에는 유독가스가 포함되어 있습니다.

(3) 배기매체에는 가연성 및 폭발성 가스가 포함되어 있습니다.

4. 청정실의 배기 시스템 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.

(1) 외부 공기의 역류를 방지해야 합니다.

(2) 가연성 및 폭발성 물질을 함유하는 국소배기장치는 그 물리적·화학적 특성에 따라 그에 상응하는 화재·폭발 방지 대책을 취하여야 한다.

(3) 배기매체 중 유해물질의 농도 및 배출량이 국가 또는 지역의 유해물질 배출농도 및 배출량 규정을 초과하는 경우에는 무해화 처리를 실시하여야 한다.

(4) 수증기 및 응축성 물질이 포함된 배기장치의 경우 경사로 및 ​​배출구를 설치하여야 한다.

5. 신발 갈아신기, 옷 보관, 세면, 화장실, 샤워 등 보조 생산실은 환기 조치를 취해야 하며, 실내 정압값은 청정구역보다 낮아야 합니다.

6. 생산 공정 요건에 따라 사고 발생 시 배기 시스템을 설치해야 합니다. 사고 발생 시 배기 시스템에는 자동 및 수동 제어 스위치가 장착되어 있어야 하며, 수동 제어 스위치는 클린룸 내부와 외부에 각각 설치하여 조작이 용이해야 합니다.

7. 청정 작업장에 연기 배출 시설을 설치할 경우 다음 규정을 준수해야 합니다.

(1) 청정작업장의 피난통로에는 기계식 연기배출설비를 설치하여야 한다.

(2) 청정작업장에 설치하는 연기배출시설은 현행 국가기준의 관련 규정을 준수하여야 한다.

클린룸 설계를 위한 기타 조치

1. 청정작업장에는 인원정화, 자재정화를 위한 방과 시설이 갖추어져야 하며, 필요에 따라 생활실 및 기타 공간도 갖추어져야 한다.

2. 인원정화실 및 휴게실의 설치는 다음 규정을 준수해야 합니다.

(1) 우비 보관, 신발 및 외투 교체, 깨끗한 작업복 교체 등 인원정화를 위한 공간을 마련하여야 한다.

(2) 화장실, 욕실, 샤워실, 휴게실 및 기타 생활실과 에어샤워실, 에어락, 작업복세탁실, 건조실 등을 필요에 따라 설치할 수 있다.

3. 인원정화실 및 생활실의 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.

(1) 인원정화실 입구에는 신발 세척을 위한 시설을 설치하여야 한다.

(2) 작업복 보관실과 깨끗한 작업복 갈아입을 공간을 별도로 마련하여야 한다.

(3) 외부 의류 보관장은 1인 1개로 설계하고, 깨끗한 작업복은 통풍 및 샤워가 가능한 깨끗한 보관장에 걸어 보관한다.

(4) 욕실에는 손을 씻고 말릴 수 있는 시설이 있어야 합니다.

(5) 에어샤워실은 청정구역 내 작업인원 출입구와 청정작업복 탈의실 옆에 설치하여야 하며, 최대 근무조 30명당 1인용 에어샤워실을 설치하여야 한다. 청정구역 내 작업인원이 5명을 초과하는 경우, 에어샤워실 한쪽에 바이패스 도어를 설치하여야 한다.

(6) ISO 5보다 엄격한 수직 단방향 흐름 클린룸에는 공기 잠금 장치가 있어야 합니다.

(7) 청결구역에는 화장실을 설치하지 아니하며, 인원정화실 내의 화장실은 전실을 설치하여야 한다.

4. 보행자 동선은 다음 규정을 준수해야 합니다.

(1) 보행자 동선은 왕복교차로를 피하여 설치하여야 한다.

(2) 인원정화실 및 생활실의 배치는 인원정화절차에 따라야 한다.

5. 청정작업장 내 인원정화실과 거실의 건축면적은 공기청정수준과 직원수에 따라 합리적으로 결정되어야 하며, 청정구역 설계인원 평균을 기준으로 산정되어야 하며, 1인당 2~4㎡의 범위로 한다.

6. 청정작업복 탈의실 및 세탁실의 공기 정화 요구 사항은 제품 공정 요구 사항과 인접한 청정실(구역)의 공기 청정도 수준을 기준으로 결정되어야 합니다.

7. 클린룸 장비 및 재료의 출입에는 장비 및 재료의 특성, 형태 및 기타 특성에 따라 재료 정제실 및 시설을 갖추어야 합니다. 재료 정제실의 배치는 정제된 재료가 이송 중 오염되지 않도록 해야 합니다.