오늘날 다양한 산업 분야의 발전 속도는 매우 빠르며, 제품은 끊임없이 업데이트되고 제품 품질 및 환경적 요구 사항도 높아지고 있습니다. 이는 다양한 산업 분야에서 클린룸 설계에 대한 요구 사항 또한 더욱 높아질 것임을 시사합니다.
클린룸 설계 표준
중국의 클린룸 설계 기준은 GB50073-2013 표준입니다. 클린룸 및 클린 구역의 공기 청정도 등급은 다음 표에 따라 결정해야 합니다.
| 수업 | 최대 입자 수/m³ | FED STD 209E 동등 | |||||
| >=0.1 µm | >=0.2 µm | >=0.3 µm | >=0.5 µm | >=1 µm | >=5 µm | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1반 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | 10학년 | |
| ISO 5 | 10만 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 100반 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 1000번째 클래스 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | 10,000번째 클래스 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 10만 번째 클래스 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 실내 공기 | |||
클린룸의 공기 흐름 패턴 및 공급 공기량
1. 공기 흐름 패턴 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 클린룸(구역)의 공기 흐름 패턴 및 공급 공기량은 요구 사항을 충족해야 합니다. 공기 청정도 수준 요구 사항이 ISO 4보다 엄격한 경우 단방향 흐름을 사용해야 합니다. 공기 청정도가 ISO 4와 ISO 5 사이인 경우 단방향 흐름을 사용해야 합니다. 공기 청정도가 ISO 6-9인 경우 비단방향 흐름을 사용해야 합니다.
(2) 클린룸 작업 영역의 공기 흐름 분포는 균일해야 합니다.
(3) 클린룸 작업 영역의 공기 흐름 속도는 생산 공정 요구 사항을 충족해야 합니다.
2. 클린룸의 공기 공급량은 다음 세 가지 항목 중 최대값을 취해야 합니다.
(1) 공기청정수준의 요구사항을 충족하는 공급 공기량.
(2) 열 및 습도 부하 계산에 따라 결정된 공기 공급량.
(3) 실내 배기량을 보상하고 실내 양압을 유지하는 데 필요한 신선 공기량의 합; 클린룸 내 각 사람에게 공급되는 신선 공기량이 시간당 40m³ 이상이 되도록 보장한다.
3. 클린룸 내 각종 설비의 배치는 공기 흐름 패턴 및 공기 청정도에 미치는 영향을 고려해야 하며, 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 클린 작업대는 단방향 흐름 클린룸에 배치해서는 안 되며, 비단방향 흐름 클린룸의 환기구는 클린 작업대에서 멀리 떨어져 있어야 합니다.
(2) 환기가 필요한 공정 장비는 클린룸의 풍하측에 배치해야 합니다.
(3) 난방 장비가 있는 경우, 뜨거운 공기 흐름이 공기 흐름 분포에 미치는 영향을 줄이기 위한 조치를 취해야 합니다.
(4) 잔류 압력 밸브는 깨끗한 공기 흐름의 하류측에 배치되어야 합니다.
공기 정화 처리
1. 공기 필터의 선택, 배치 및 설치는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 공기 정화 처리는 공기 청결도 수준에 따라 공기 필터를 합리적으로 선택해야 합니다.
(2) 공기 필터의 처리 공기량은 정격 공기량 이하이어야 합니다.
(3) 중형 또는 HEPA 공기 필터는 에어컨 박스의 양압부에 집중적으로 설치해야 합니다.
(4) 서브헤파필터와 헤파필터를 최종필터로 사용할 경우 정화공기 시스템의 끝부분에 설치해야 합니다. 울트라헤파필터는 정화공기 시스템의 끝부분에 설치해야 합니다.
(5) 동일한 클린룸에 설치된 HEPA(sub HEPA, ultra HEPA) 공기 필터의 저항 효율은 유사해야 합니다.
(6) HEPA(sub HEPA, ultra HEPA) 공기 필터의 설치 방법은 밀폐되고, 간단하고, 신뢰할 수 있으며, 누출 감지 및 교체가 용이해야 합니다.
2. 대규모 청정 공장의 공기 정화 시스템에서 나오는 신선한 공기는 중앙에서 공기 정화 처리를 거쳐야 합니다.
3. 공기 정화 시스템 설계 시 환기 공기를 합리적으로 활용해야 합니다.
4. 공기 정화 시스템의 팬은 주파수 변환 방식을 채택해야 합니다.
- 극한 추위 및 한랭 지역에서는 전용 실외기 시스템에 대해 동결 방지 조치를 취해야 합니다.
난방, 환기 및 연기 제어
1. ISO 8 이상의 공기 청정도를 유지하는 클린룸에서는 난방용으로 라디에이터를 사용할 수 없습니다.
2. 클린룸에서 분진 및 유해 가스를 발생시키는 공정 장비에는 국소 배기 장치를 설치해야 합니다.
3. 다음의 경우에는 국소 배기 시스템을 별도로 설치해야 합니다.
(1) 혼합 배기 매체는 부식성, 독성, 연소 및 폭발 위험, 교차 오염을 발생시키거나 악화시킬 수 있습니다.
(2) 배기매질에는 유독가스가 포함되어 있습니다.
(3) 배기매질에는 가연성 및 폭발성 가스가 포함되어 있습니다.
4. 클린룸의 배기 시스템 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 실외 공기 흐름의 역류를 방지해야 합니다.
(2) 가연성 및 폭발성 물질을 포함하는 국소 배기 시스템은 물리적 및 화학적 특성에 따라 상응하는 화재 및 폭발 방지 조치를 채택해야 합니다.
(3) 배기매체의 유해물질 농도 및 배출률이 유해물질 배출 농도 및 배출률에 관한 국가 또는 지역 규정을 초과하는 경우 무해처리를 실시해야 합니다.
(4) 수증기 및 응축성 물질을 포함하는 배기 시스템의 경우 경사면과 배출구를 설치해야 합니다.
5. 신발 탈의실, 의류 보관실, 세탁실, 화장실, 샤워실 등의 보조 생산 공간에는 환기 조치를 취해야 하며, 실내 정압 값은 클린 구역보다 낮아야 합니다.
6. 생산 공정 요구사항에 따라 비상 배기 시스템을 설치해야 합니다. 비상 배기 시스템에는 자동 및 수동 제어 스위치가 장착되어야 하며, 수동 제어 스위치는 조작의 편의를 위해 클린룸 내부와 외부에 별도로 설치해야 합니다.
7. 청정 작업장의 연기 배출 설비 설치는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 청정 작업장의 대피 통로에는 기계식 연기 배출 설비를 설치해야 합니다.
(2) 청정 작업장에 설치된 연기 배출 설비는 현행 국가 표준의 관련 규정을 준수해야 합니다.
클린룸 설계를 위한 기타 조치 사항
1. 청정 작업장은 인력 정화 및 자재 정화를 위한 방과 시설뿐만 아니라 필요에 따라 생활 공간 및 기타 공간을 갖추어야 합니다.
2. 인원 정화실 및 생활관 설치는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 우비 보관, 신발과 외투 갈아입기, 깨끗한 작업복 갈아입기 등 개인 위생을 위한 공간을 마련해야 합니다.
(2) 화장실, 욕실, 샤워실, 휴게실 및 기타 생활 공간은 물론 에어샤워실, 에어록, 작업복 세탁실 및 건조실도 필요에 따라 설치할 수 있습니다.
3. 인원 정화실 및 생활관 설계는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 개인정화실 입구에 신발 세척용 조치가 설치되어 있어야 합니다.
(2) 외투 보관실과 깨끗한 작업복 갈아입을 방은 별도로 마련해야 합니다.
(3) 외투 보관함은 1인당 1개의 보관함으로 설계되어야 하며, 깨끗한 작업복은 송풍 및 샤워가 가능한 깨끗한 보관함에 걸어두어야 합니다.
(4) 화장실에는 손을 씻고 말릴 수 있는 시설이 있어야 합니다.
(5) 에어샤워실은 클린 구역의 인원 입구에 위치하고 클린 작업복 탈의실에 인접하게 설치되어야 한다. 최대 교대 인원 30명당 1인용 에어샤워실을 설치한다. 클린 구역에 5명 이상의 인원이 있는 경우에는 에어샤워실 한쪽에 바이패스 도어를 설치해야 한다.
(6) ISO 5보다 엄격한 수직 단방향 흐름 클린룸에는 에어록이 있어야 합니다.
(7) 청결한 구역에는 화장실을 설치할 수 없습니다. 개인 위생실 내 화장실은 앞방을 갖추어야 합니다.
4. 보행자 통행 경로는 다음 규정을 준수해야 합니다.
(1) 보행자 흐름 경로는 양방향 교차를 피해야 합니다.
(2) 개인정화실과 생활실의 배치는 개인정화절차에 따라 이루어져야 합니다.
5. 청정 작업장의 공기 청정도 수준과 직원 수를 고려하여 개인 정화실 및 생활 공간의 건축 면적을 합리적으로 결정해야 하며, 청정 구역 설계 시 평균 인원수를 기준으로 1인당 2~4제곱미터 범위로 계산해야 합니다.
6. 청정 작업복 탈의실 및 세척실의 공기 정화 요구사항은 제품 공정 요구사항과 인접한 청정실(구역)의 공기 청정도 수준을 기준으로 결정되어야 한다.
7. 클린룸 장비 및 자재의 출입구에는 장비 및 자재의 특성, 형태 및 기타 특징을 고려하여 자재 정화실 및 설비를 설치해야 합니다. 자재 정화실의 배치는 정화된 자재가 이동 중에 오염되지 않도록 설계해야 합니다.
게시 시간: 2023년 7월 17일